Материал испарителя

Материал испарителя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

I l »

Aa;;. ч Ф» II6l3llit —,GHd N;.

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (1Ц. 485175

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.11.72(21) 1844935/22-1

I с присоединением заявки №(51) М. Кл.

С 23с 13/00

С 04 6 35/48

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам ивоорвтвннй и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 25 09 753юллетень № 35 (45) Дата опубликования описания О9 12 75 (63) УДК 621.793..14.06 (088.8) (72) А»оР Г. М. Федорова, В. М. FporrsHoa, А. Н. Жунда, А. Г. Зеберин, изобретения

Л. К. Климова и М. И. Веретин

Ленинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический (71) Заявители институт им. Ленсовета и Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий (54) МАТЕРИАЛ ИСПАРИТЕЛЯ

Соединение титана 2-10

Кроме того, в качестве соединения титана используются карбид титана или диборид титана.

Испарители изготавливают прессованием увлажненной шихты под давлением

1000 кг/см2 с последующей сушкой в ваЕт. 0

10-20! Изобретение относится к нанесению по- крытий в вакууме, в частности к материалам испарителей (тиглей) для испарения активных тугоплавких материалов.

Известны высокотемпературные матери- 5 алы, используемые в качестве тиглей для испарения активных тугоплавких металлов на основе двуокиси циркония и соединения титана.

Однако такие тигли неустойчивы к пе- 10 регретому (выше 1750 С) расплаву и кроме того, активные тугоплавкие металлы взаимодействуют с материалом тигля за время испарения.

11ель изобретения — повышение термо- 15 стойкости материала испарителей в условиях вакуума и повышение чистоты испаряемого металла.

Йля этого в материал испарителя дополнительно вводят окись иттрия при сле- 20 дующем соотношении компонентов, вес. %: .

70-85 куумном сушильном шкафу. Обжиг также проводят в вакууме.

После обжига в вакууме материал испарителя имеет следующие характеристики: усадка - 10%; кажущаяся плотность — 4,17

3 г/см; открытая пористость 1,5%; потери в весе - 2,42%.

Материал испарителя характеризуется повышенной термической стойкостью в условиях вакуума, а при исследовании металлизационного покрытия после испарения титана в испарителях предлагаемого состава

:загрязнения покрытия посторонними примесями не обнаруживают.

485175

Предмет изобретения

1. Материал испарителя для испарения активных тугоплавких металлов на основе двуокиси циркония и соединения титана, о т л и ч а ю ш и и с s тем, чтор с целью повышения его термостойкости в условиях вакуума и повышения чистоты испаряемого металла, он дополнительно со держит окись иттрия при следуюшем соотношении компонентов, вес,%:

70-85

10-20

2-10

Соединение титана

3. Матеоиал испарителя по п;.1, о тл и ч а ю шийся тем, что в качест- ве соединении титана используют диборид титана (Ti В ).

2. Материал испарителя по п. 1, о т— л и ч а ю шийся тем, что в качестве соединения титана используется карбид: титана (Т . С).