Материал испарителя
Иллюстрации
Показать всеРеферат
I l »
Aa;;. ч Ф» II6l3llit —,GHd N;.
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик (1Ц. 485175
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.11.72(21) 1844935/22-1
I с присоединением заявки №(51) М. Кл.
С 23с 13/00
С 04 6 35/48
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР по делам ивоорвтвннй и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 25 09 753юллетень № 35 (45) Дата опубликования описания О9 12 75 (63) УДК 621.793..14.06 (088.8) (72) А»оР Г. М. Федорова, В. М. FporrsHoa, А. Н. Жунда, А. Г. Зеберин, изобретения
Л. К. Климова и М. И. Веретин
Ленинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический (71) Заявители институт им. Ленсовета и Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий (54) МАТЕРИАЛ ИСПАРИТЕЛЯ
Соединение титана 2-10
Кроме того, в качестве соединения титана используются карбид титана или диборид титана.
Испарители изготавливают прессованием увлажненной шихты под давлением
1000 кг/см2 с последующей сушкой в ваЕт. 0
10-20! Изобретение относится к нанесению по- крытий в вакууме, в частности к материалам испарителей (тиглей) для испарения активных тугоплавких материалов.
Известны высокотемпературные матери- 5 алы, используемые в качестве тиглей для испарения активных тугоплавких металлов на основе двуокиси циркония и соединения титана.
Однако такие тигли неустойчивы к пе- 10 регретому (выше 1750 С) расплаву и кроме того, активные тугоплавкие металлы взаимодействуют с материалом тигля за время испарения.
11ель изобретения — повышение термо- 15 стойкости материала испарителей в условиях вакуума и повышение чистоты испаряемого металла.
Йля этого в материал испарителя дополнительно вводят окись иттрия при сле- 20 дующем соотношении компонентов, вес. %: .
70-85 куумном сушильном шкафу. Обжиг также проводят в вакууме.
После обжига в вакууме материал испарителя имеет следующие характеристики: усадка - 10%; кажущаяся плотность — 4,17
3 г/см; открытая пористость 1,5%; потери в весе - 2,42%.
Материал испарителя характеризуется повышенной термической стойкостью в условиях вакуума, а при исследовании металлизационного покрытия после испарения титана в испарителях предлагаемого состава
:загрязнения покрытия посторонними примесями не обнаруживают.
485175
Предмет изобретения
1. Материал испарителя для испарения активных тугоплавких металлов на основе двуокиси циркония и соединения титана, о т л и ч а ю ш и и с s тем, чтор с целью повышения его термостойкости в условиях вакуума и повышения чистоты испаряемого металла, он дополнительно со держит окись иттрия при следуюшем соотношении компонентов, вес,%:
70-85
10-20
2-10
Соединение титана
3. Матеоиал испарителя по п;.1, о тл и ч а ю шийся тем, что в качест- ве соединении титана используют диборид титана (Ti В ).
2. Материал испарителя по п. 1, о т— л и ч а ю шийся тем, что в качестве соединения титана используется карбид: титана (Т . С).