Индуктор для подогрева растущего монокристалла

Индуктор для подогрева растущего монокристалла

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (ii) 485762

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.06.73 (21) 1945206/23-26 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 30.09.75. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 24.12.75 (51) М. Кл. В 01j 17/10

Н 05Ь 5/18

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 669.046-172:

:621.315.592 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения Ф. Д. Самелюк, Г. В. Кокойло, К. Н. Неймарк и А. Г. Брюхацкий (71) Заявитель (54) ИНДУКТОР ДЛЯ ПОДОГРЕВА

РАСТУЩЕГО МОНОКРИСТАЛЛА

Изобретение относится к металлургии полупроводников и может быть использовано при бестигельной зонной плавке кремния и других полупроводниковых материалов.

Известны индукторы для подогрева растущего монокристалла в процессе бестигельной зонной плавки, состоящие из нескольких плоских витков.

Однако такие индукторы неравномерно нагревают монокристалл по длине зоны нагрева. Кроме того, индуктор с одним витком из волнообразно изогнутого токопровода создает неравномерный нагрев по окружности.

Цель изобретения — повысить равномерность нагрева по длине и окружности монокристалла.

Для этого индуктор выполнен из нескольких витков, последовательно расположенных по его оси так, что расстояние между токопроводами соседних витков меньше амплитуд волн.

На чертеже изображена схема процесса бестигельной зонной плавки с подогревом растущего монокристалла прп помощи предлагаемого индуктора.

Индуктор 1 для подогрева растущего монокристалла 2 расположен под плавильным индуктором 3, создающим расплавленную зону

4, и выполнен из нескольких витков 5, после5 довательно расположенных по его оси так, что расстояние h между токопроводами соседних витков меньше амплитуд S волн. Количество витков при этом должно обеспечивать требуемую высоту зоны нагрева до тем10 пературы пластичности выращиваемого монокристалла.

Согласное направление тока в токопроводах волн, идущих последовательно по оси монокристалла, повышает равномерность нагре15 ва его поверхности.

Предмет изобретения

Индуктор для подогрева растущего монокрпсталла в процессе бестигельной зонной 0 плавки с волнообразно изогнутым по окружности токопроводом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности нагрева, он выполнен из нескольких витков, последовательно расположенных до его оси так, 25 что расстояние между токопроводами соседних витков меньше амплитуд волн.

485762

Сосавитель Г. Кокойло

Текред Т. Курилко

Редактор М. Дмитриева

Корректор Е. Хмелева

Типография, нр. Сапунова, 2

Заказ 3172l8 Изд. № 1828 Тираж 782 Подписное

Ц11ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4i5