Способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом чохральского

Способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом чохральского

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(ii) 485763

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

М (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.01.73 (21) 1868068/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.09.75. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 24.12.75 (51) М. Кл. В Olj 17/18

G 056 27/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 66.012-52 (088.8) Ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

С. М. Вишневский, В. Д. Ципугин и А. Ф. Лавров (71) Заявитель (54) СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ

ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО

Изобретение относится к способам автоматического управления процессом выращивания малоконтрастных монокристаллов методом Чохральского и может быть применено для выращивания монокристаллов полупро- 5 водниковых материалов.

Известен способ автоматического управления процессом выращивания монокристаллов методом Чохральского путем измерения диаметра растущего оптического монокристалла 10 с низкой контрастностью зоны расплав-кристалл телевизионным автоматом.

Однако такой способ при малой контрастности зоны расплав-кристалл не позволяет с уверенностью управлять процессом роста по t5 ди а м е тру.

С целью повышения точности измерения диаметра монокристалла по предлагаемому способу осуществляют подсветку параллельным пучком лучей в тело растущего монокри- 20 сталла от источника монохроматического излучения, На чертеже представлена схема реализации предлагаемого способа управления процессом выращивания монокристаллов. 25

В тигле 1 находится расплав 2, из которого вытягивается монокристалл 3. Блок подсветкп 4 освещает торец монокрпсталла, выполненный в виде сферы для рассеивания узкого пучка лучей лазерного источника. Оптический блок 5 передает изображение на телевизионный блок 6. Телевизионный блок синхронизирован с блоком подсветкп и вращеш;ем кристалла. Вычислительный блок 7 обрабатывает электрический сигнал и передает его на блок управления мощностью установки 8. Изменение мощности нагрева приводит к измененпю температуры расплава до восстановления заданного значения диаметра монокристалла.

Предмет изобретения

Способ автоматического управления процессом выращивания монокрпсталлов методом

Чохральского путем измерения диаметра растущего оптического монокрпсталла с низкой контрастностью зоны расплав-кристалл телевизионным автоматом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения диаметра мопокристалла, осуществляют подсветку параллельным пучком лучей в тело растущего монокрпсталла от источника монохроматпческого излучения.

485763

Составитель В. Шушков

Техред Т. Курилко

Корректор Е. Хмелева

Редактор Н. Спиридонова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3172/9 Изд. № 1828 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 475