Устройство для ориентации круглых пластин с боковым проемом

Устройство для ориентации круглых пластин с боковым проемом

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1Ц1 485930

ОПИСАНИЕ

ИЗОБР ЕТЕ Р М Я

Союз Советских

Социалистических

-Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 21.05.73 (21) 1930689/27-11 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.09.75. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 12.01.76 (51) ?Ч. Кл. В 65g 51/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.867.87 (088.8) (72) Авторы изобретения

Э. Б. Сигалов и С. А. Тяпкин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ КРУГЛЫХ ПЛАСТИН

С БОКОВЫМ ПРОЕМОМ

Изобретение может быть использовано в технологическом оборудовании полупроводlпl кового производства для транспортировки и переноса изделий.

Известные устройства для ориентации круглых пластин с боковым проемом содержат обращенную к плоскости пластины плиту с наклонными отверстиями для подачи сжатого газа, сообщающего пластине вращательное и поступательное движения, боковые стенки и упор, взаимодействующие с боковыми гранями пластины.

Однако имеющийся в таких устройствах упор вызывает слом хрупких монокристаллических пластин и препятствует фиксации изделий с боковым проемом в вндс сегмента.

Цель изобретения — увеличение падеж;10сти фиксации сориентирова?шой пластины, я также ориентация пластин различны., диаметров и с различными проемами.

Эта цель достигается тем, НТо Ооковыс сТ011ки выполнены прямолинейными и pHcIIOло I сны под утлом одна к другой с сужением н сторону поступательного дви>ке?ия пластины, а упор располо>кен между боковыми сте;?ками со стороны их сужения на расстоянии, допускающем контакт боковых граней пластины одновременно с обеими стенками только Ilри расположении проема пластины напротив упора; упор выполнен с возможностью рсгу.Iн РОВ Я? 1 И)1 Е1 0 ПО 1ОЖС1?Н и.

EIa фпг. 1 показано предложенное устройство, сечение; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Устройство состоит из транспортного лотка

1, рабочая плоскость 2 которого выполнена с отверстиями для создания газовой подушки под пластиной 3 и ограничена боковыми стенками 4, 5 и регулируемым упором 6. 1эоковыс

l0 стенки образуют сужение в направлении перемещения пластины. Отверстия 7. 8 создают усилие поджатия к упору и вращающий момент.

Работа устройства происходит следующим

15 образом.

Перемещаемая ?га газовой подушке по лот«у 1 плясти??а 3 под>кимается струей газа из отверстия 7 к упору 6 и вращается под действием вращающего момента, создаваемого

20 струями из отверстий 8. Упор 6 отрегулирован .-яким образом, ITo, когда проем пластины параллелен упору 6. пластина псреме1цястс?1 на

Л!1 и фиксп)>уcTcii Ооковь!мп гранями в и "IHlloГI p II Ic II фиксяцн я IIpoHcxo,lHT

25 в том сл чяе, сслп в фиксированном положении меж;1у упором 6 и проемом пластины 3 остается зазор.

Г1рсдмст изобретения

30 1. Устройство для ориентации круглых плясТН11 с боковым проемом, содержащее обра485930

1 1

Ф е 8 l 8

Фиг.2

1 2

Составитель В. Васин

Редактор А. Купрякова Техред М. Семенов Корректор О. Тюрина

Заказ 3265/13 Изд. № 1837 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушскан наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 щенную к плоскости пластины плиту с наклонными отверстиями для подачи сжатого газа, сообщающего пластине вращательное и поступательное движения, боковые стенки и упор, взаимодействующие с боковыми гранями пластины, отличающееся тем, что, с целью увеличения надежности фиксации сориентированной пластины, боковые стенки выполнены прямолинейными и расположены под углом одна к другой с сужением в сторону поступательного движения пластины, а упор расположен между боковыми стенками со стороны их сужения на расстоянии, допускающем контакт боковых граней пластины одновременно с обеими стенками только при рас5 положении проема пластины напротив упора.

2. Устройство по п. 1, отлич а ющеес я тем, что, с целью ориентации пластин различных диаметров и с различными проемами, упор установлен с возможностью регулирова10 ния его положения.