Устройство для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы

Устройство для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

тпт 486497

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 23.02.65 (21) 944446/26-9 (51) М. Кл. Н 051 3/14 с присоединением заявки Ло

Государственный номитет .Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (32) Приоритет

Опубликовано 30.09.75. Ьюллетень ЛЪ 36

Дата опуоликования описания 05.01.76 (53) УДК 539.239.002.5 (088.8) (72) Автор изобретения

Л. В. Лобиков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ МАСКИ С ПОДЛОЖКОЙ

НАПЫЛЯЕМОЙ ПЛЕНОЧНОЙ СХЕМЫ

Предмет изобретения

Известные устройства для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы, содержащие держатель подложки, выполненный из материала, обладающего высокой теплопроводностью, узел крепления маски, 5 выполненный из материала с коэффициентом теплового линейного расширения, равным тепловому коэффициенту линейного расширения материала подложки, и приспособление для нагрева подложки и маски, не обеспечивают 10

Ф вьгсокой точности совмещения маски с подложкой.

В описываемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что держатель подложки снабжен базовыми пальцами, ьт к которым при помощи пружинных фиксаторов прижата подложка, и выполнением узла крепления маски в виде охватывающих ее двух рамок, одна из которых снабжена шариковыми толкателями, установленными с внешней сто- 20 роны рамки против базовых пальцев и расположенными по ее внутреннему контуру выступами, опирающимися на базовые пальцы со стороны, противоположной участку соприкосновения базовых пальцев с подложкой. 25

Конструкция описываемого устройства приведена на чертеже.

Приспособление для нагрева подложки и маски снабжено двумя рамками 1 и 2, между которыми размещена маска 3. Рамка 2 шари- 39 ковыми толкателями 4 прижимается к установленным на держателе 5 подложки 6 базовым пальцам 7. К базовым пальцам 7 с противоположной стороны прижимается подпружиненными фиксаторами 8 подложка 6.

Таким образом, подложка 6 и маска 3 базируются беззазорно одними и теми же базовыми пальцами 7; при этом только тепловое расширение пальцев будет влиять на точность совмещения, которым практически можно пренебречь вследствие малой величины»х диаметра.

Устройство для совмещения маски с подложкой напыляемой пленочной схемы, содержащее держатель подложки, изготовленный из материала, обладающего высокой теплопроводностью, узел крепления маски, выполненный из материала с коэффициентом теплового линейного расширения, равным тепловому коэффициенту линейного расширения материала подложки, и приспособление для нагрева подложки и маски, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности совмещения, держатель подложки снабжен базовыми пальцами, к которым при помощи пружинных фиксаторов прижата подложка, а узел крепления маски выполнен в виде охватыва486497 у б

Составитель Г. Фридолин

Texpeä T. Миронова

Корректор 3. Тарасова

Редактор Т. Сорокин

Заказ 3201/18 Изд. ¹ 1854 Тираж 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Мини."тров СССР

Ilo c7d. i H,обвстеииЙ H о гкрь гиЙ

Москва, К-35, Раугнскан иаб., д. 4/5

Типографии, и11. Сапмиаиа, 2 ющих с обеих сторон маску двух рамок, одна из которых снабжена шариковыми толкателями, установленными с внешней стороны рамки против базовых пальцев и расположенными по ее внутреннему контуру выступами, опирающимися на базовые пальцы со стороны., противоположной участку соприкосновения базовых пальцев с подложкой.

А 1