Раствор для избирательного травления пленок хрома

Раствор для избирательного травления пленок хрома

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

011 487I67 ОПИСАНИЕ

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтских

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлсно 14.12.73 (21) 1976750/26-21 (51) М. Кл. С 23f 1/02 с присоединением заявки №

r0cyaaPcreeHNblH комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР по делам изобретений Опубликовано 05.10.75. Бюллетень № (53) УДК 621.794.422 (088.8) и открытий

Дата опубликования описания 23.02.76 (72) Авторы изобретения Б. Е. Раснецова, А. М. Сорокина, Г. Я. Колмакова и Г. М. Белевич (71) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ

ПЛЕНОК ХРОМА вора

40 до 1

18 — 20

14

70 до 1

18 — 20

15

20 до 1

18 — 20

25

Изобретение относится к технологии химической обработки пленок хрома, может быть использовано при изготовлении прецизионных хромированных фотошаблонов.

Известен раствор для избирательного травления пленок хрома, содержащий сернокислый церий и окислитель.

Цель изобретения — уменьшение растравливания краев пленки, повышение выхода годных пленок и снижение рабочей температуры раствора.

Предлагаемый раствор отличается тем, что в качестве окислителя использован хромовый ангидрид при следующем количественном соотношении исходных компонентов (г/л):

Церий сернокислый 5 — 160

Хромовый ангидрид 30 — 100.

Сернокислый церий и хромовый ангидрид растворяют в воде при перемешивании. Чтобы улучшить растворение сер нокислого церия, продлить срок хранения раствора без выпадения осадка, в него можно ввести кислоту, например соляную, в количестве 10—

30 г/л, или смесь кислот.

При обработке в растворе не растравлпваются края пленки хрома при использовании фоторезистов с различной кислотостойкостью, не надо нагревать раствор, повышается выход годных фоторезистов.

Характеристика вариантов раст

Церий сернокислый, г

Хромовый ангидрид, г

Вода, л

Температура обработки, С

Время полного стравливания хромовой пленки толщиной

0,08 мкм, мпн

Церий сернокислый, г

Хромовый ангидрид, г

Вода, л

Температура обработки, С

Время полного стравливания хромовой пленки толщиной

0,25 мкм, мин

Церий сернокислый, r

Хромовый ангидрид, г

Кислота соляная, г

Кислота серная, r

Вода, л

Температура обработки, С

Время полного стравливания хромовой пленки толщиной

0,25 мкм, мпп

П реям от изобретения

Раствор для избирательного травления пленок хрома, содержащий сернокисльш церий и

ЗО окислитель, отлпч ающнйся тем, что, с

487167

Составитель Ю. Еркин

Техред T. Миронова

Корректор А. Степанова

Редактор Б. Федотов

Заказ 214/1 Изд. № 131 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 целью уменьшения растравливания краев пленки, повышения выхода годных пленок и снижения .рабочей температуры раствора, в качестве окйслителя использован хромовый ангидрид при следующем количественном соотношении исходных компонентов (г/л):

Церий сернокислый 5 — 160

Хромовый ангидрид 30 — 100.