Сверхвысоковакуумный затвор

Сверхвысоковакуумный затвор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ (»> 487268

Союз Советских

Социалистических

Республик

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 22.10.73 (21) 1967042/25-8 (51) М. Кл. F 16k 41/10 с присоединением заявки №

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

Опубликовано 05.10.75. Бюллетень ¹ 37

Дата опубликования описания 04.01.76 (53) УДК 621.646(088.8) (72) Авторы изобретения

А. Е. Янов, Ю. П. Коротов и T. Е. Захарова

Физико-технический институт низких температур

АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) СВЕРХВЪ|СОКОВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР "д Р ""ы" ком"тот (23) Приоритет

Устройство предназначено для использования в вакуумной технике, Известны вакуумные затворы с двухстенным корпусом и сильфонной герметизацией штока.

К недостаткам известных устройств относится неудовлетворительная герметичносгь при сверхвысоком вакууме, вызванная собственным «газовым фоном» устройства.

Предложенный затвор отличается от известных тем, что в его конструкцию введена дополнительная крышка с сильфоном, который прикреплен к запорному элементу. Образующаяся при этом полость соединена с межстенным пространством корпуса.

Этим достигается улучшение герметичности затвора.

На фиг. 1 представлен затвор, продольный разрез; на фиг. 2 показана стыковка затвора со сверхвысоковакуумной камерой и откачивающим устройством. .Затвор содержит двухстенный корпус 1, содержащий наружную 2 и внутреннюю 3 стенки, оканчивающиеся фланцами 4 и 5. На корпусе 1 устанавливается крышка 6, корпус 7 и сильфонный узел, состоящий из штока 8, крышки 9 и сильфона 10.

Крышка 6 и тарель клапана 11, являющаяся запорным элементом, соединены сильфоном

12 посредством сварки. Между этими деталями образуется промежуточная полость А.

3апирание осуществляется вдавливанием медного клапана 13, который вместе с тарелью 11 образует запорный элемент, в седло корпуса 1. Перемещение клапана осуществляется поступательным движением штока 8 при вращении гайки 14, установленной на корпусе 7. Для уменьшения трения на буртике гай1о ки 14 установлен упорный подшипник, через который осевое усилие при затяжке затвора передается на крышку 15, прикрепленную болтами к корпусу 7.

Полость A сообщена отверстиями с межстенной полостью корпуса и коаксиально расположенными патрубками 16 и 17. Патрубки

16 и 17 соединены фланцами с трактом откачки 18 (фиг. 2) и полостью откачивающего устройства 19.

Это позволяет производить откачку полостей защитного вакуума затвора, откачивающего тракта и откачивающего устройства единой системой откачки.

25 Соединение затвора со сверхвысоковакуумной камерой 20 осуществляется с помощью фланцев 21 и 22.

В данном устройстве снижено до минимума натекание во внутреннюю полость затвора и

30 в откачивающий тракт.

487268

Предмет изобретения

Сверхвысоковакуумный затвор, в двухстеннам герметизи руемом кор пусе,кото рого размещен запорный элемент, перемещаемый винтовым приводом с сильфонной герметизацией штока, отличающийся тем, что, с целью улучшения герметичности, он снабжен дополнительной крышкой и сильфоном, соединяющим ее с запорным органом, а образованная при этом полость соединена с межстенной полостью корпуса.

487268

Составитель В. Цукерник

Текред Н. Ханеева

Редактор И. Квачадзе

Корректор О. Тюрина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3229/18 Изд. Мз 26 Тираж 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного омптета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5