Проточный реактор
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н--И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Са."оз Советских Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.07.73 (21) 1952588/23-26 с присоединением заявки М (23) Приоритет
Опубликовано 15.10.75. Бюллетень X 38
:!ата опубликования описания 20.01.76 (51) Ч. Кл. В 01j 1 00
Н О! l 11, 00
Государственный номитет j
Совета Министров СССР (53) X>ÄÜ; 660,23.621..929(088.8) тто делам мзооретений и открытий (72) Авторы изобретения
Г. М. Малкин и В. E. Григорьев (71) Заявитель (54) ПРОТОЧНЫЙ РЕАКТОР перегородки 2, штока 3. Реактор имеет зоны источника 4 и осаждения 5 вещества.
В отличие от известного реактора такая конструкция обеспечивает возвращение продуктов реакции из зоны осаждения в зону источника транспортируемого вещества при нулевой скорости газа — носителя в зонах источника и осаждения.
10 Конструкция работает следующим образом.
Перед началом процесса перегородку 2 с помощью штока 3 перемещают в сторону выхода реактора и проводят продувку открытых зон источника и осаждения. Затем нагревают
15 зоны 4 и 5 до заданных температур и возвращают перегородку в исходное положение, после чего вводят в рабочие зоны транспортирующий агент. Перегородка 2 препятствует выходу продуктов реакции из зоны осаждения к
20 выходу из реактора. Поэтому продукты реакции вынуждены диффундировать из зоны 5 в зоны 4, где вследствие обратимости химической реакции продукты реакции, взаимодействуя с источником, вновь превращаются в ис25 ходные газообразные реагенты, которые транспортируют материал источника в зону осаждения.
Таким образом, предлагаемая конструкция реактора проточкой системы обеспечивает
30 осущестгление процессов, которые до QHx и",р
Изобретение относится к области металлургии, занимающейся получением полупроводниковых пленок и монокристаллов.
Известен проточный реактор, содержащий корпус, разделенный перегородками на зоны источника и осаждения вещества. Но принудительный перенос реагентов газом — носителем от зоны источника в зону осаждения позволяет получать пленки и монокристаллы, уступающие по своим электрофизическим характеристикам пленкам и монокристаллам, выращенным в замкнутой системе, причем конструкция реакгора обславливает большие потери исходных реагентов, так как продукты реакции после прохо>кдения зоны осаждения выносятся газом — носителем в «мусорную» зону и больше в реакции не участвуют.
С целью улучшения электрофизических параметров осаждаемого вещества и зкономии исходных реагентов предлагают снабжать реактор Г-образной перегородкой и дополнительной перегородкой, установле зной соосно с корпусом. Г-образная перегородка выполнена подвижной и соединенной с устройством ее перемещения.
На чертеже изобра>кец продольный разрез общего вида реактора, Реактор проточной системы состоит из трубчатого корпуса 1> Г-образной подвижной ш> 487658
487658
Формула изобретения
Составитель А, Тарасов
Редактор 8. Новожилова Техред М. Семенов Корректор Н. Лебедева
Тираж 782 Подписное
Совета Министров СССР открытий наб., д. 4,,5
Заказ 3330/4 Изд. № 1883
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и
Москва, >К-35, Раушская
Типография, пр. Сапунова, 2 могли быть осуществлены только в замкнутой системе.
Реактор также может быть выполнен с плоской перегородкой 2 и дополнительной перегородкой 6. Конструкция с плоской перегородкой работает аналогично конструкции с
Г-образной.
Предлагаемые конструкции реактора проточной системы опробованы при получении пленок германия способом диспропорционироьания дийодида германия.
Реактор изгоговлен из кварцевой трубы диаметром 30 мм и длиной 1000 мм. Общая длина камер источника и осаждения 300 мм. Перегородки изготовлены из кварца и притираются своими торцами к стенкам реактора.
Пленки германия, легированные сурьмой, выращиваются в реакторе предлагаемой конструкции и в реакторе известной конструкции (цилиндрическая труба) в одинаковых технологических режимах.
Получены следующие результаты:
1. Электро«ограммы пленок, полученные в реакторе с подвижной перегородкой, имеют более резкие линии Кикучи, чем пленки, выращенные в реакторе известной конструкции.
Это свидетельствует о более высоком структурном качестве полученных пленок.
2. Расход источника германия уменьшается в 5,5 — 7,2 раза в расчете «а единицу веса выращиваемого вещества, расход йода уме«ьшается в 8 — 9 раз.
3. Коэффициент переноса легирующей примеси примерно в 3,3 раза больше, чем в из10 вестной конструкции реактора.
15 1. Проточный реактор, содержащий трубчатый корпус, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических параметров осаждаемого вещества и экономии исходных веществ, он с«абжен Г-образной перс20 городкой и дополнительной перегородкой, уста«овлен«ой соосно с кор«усом.
2. Проточный реактор по и. 1, о тл и ч а юшийся тем, что Г-образ«ая перегородка вы«ол«е«а подви>кной и соединена с устройст25 вом ес перемещения.