Устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал

Устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(11) 489970

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сониалистических

Республик

Я P (, В ., 1 Д С .- .ИУЫ (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 23.05.74 (21) 2026549/18-10 с присоединением заявки К (51) M. Кл. G Oll 1/22

Государственный комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 531.781(088.8) Опубликовано 30.10.75. Бюллетень М 40

Дата опубликования описания 28.01.76 (72) Авторы изобретения А. А. Соколов, В. М. Стучебников, А. Г. Харивуло и В. В. Хасиков (71) Заявитель (54) УСТРОЙ СТВО ДЛЯ ПРЕОБРАЗОВАН ИЯ

МЕХАНИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СИГНАЛ

Известные устройства для преобразования механических параметров в электрический сигнал, содержащие корпус, размещенные в корпусе две с утолщенными буртиками мембраны, выполненные из монокристалла полупроводника, и измерители деформаций ме: бран, выполненные за одно целое с мембранами B виде тензочувствительных интегральных схем, не обеспечивают необходимой точности измерений и требуемой надежности.

Для повышения точности и надежности предлагаемое устройство снабжено кольцом из непроводящего твердого материала, например корунда, герметично соединенного с утолщенными буртиками мембран, а тензочувствительные интегральные схемы размещены на внутренних поверхностях мембран.

На чертеже представлено устройство для преобразования механических параметров в электрический сигнал.

Устройство состоит из полупроводниковь|х мембран 1 с утолщенными буртиками, раз»ещенных в корпусе 2 и снабженных измерителями деформаций мембран, выполненными за одно целое с мембранами в виде тензочувствительных интегральных схем, опорного кольца 3, изготовленного из непроводящего твердого материала, например корунда, и фланца 4.

Кольцо 3 герметично соединено с буртиками меморан 1, а тензочувствительные интегральные схемы размещены на внутренних поверхностях мембран.

Воздействие механических параметров (усилий, давлений) вызывает деформации мембран, которые преобразуются тензочувствительными схемами в электрические сигналы, поступающие в измерительную схему.

Введение кольца 3 и размещение тензочувствительных схем на внутренних поверхностях мембран позволяет повысить точность и надежность устройства путем исключения возможности химического воздействия агрессивной среды на параметры тензочувствительных схем.

Предмет изобретения

Устройство для преобразования механичеких параметров в электрический сигнал, содержащее корпус, размещенные в,корпусе две с утолщенными буртиками мембраны, выполненные из монокристалла полупроводника, и измерители деформаций мембраны, выполненные за одно целое с мембранами в виде тензочувствительных интегральных схем, о тл ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и надежности, оно снабжено кольцом из непроводящего твердого материала, например корунда, герметично соединенного с утолщенными буртиками мембран, а тензочувствительные интегральные схемы размещены на внутренней поверхности мембран.

489970

Составитель В, Моргунов

Техред T. Курилко

Корректор Т. Фнсенко

Редактор Г. Яковлева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3339/3 Изд. № 1952 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5