Нагреватель для подложек

Нагреватель для подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз С:ветских

Социалистических

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 20.11.73 (21) 1974086/26-21 с присоединением заявки № (51) М. Кл. H 05Ь 3, 14

С 23с 13, 12

Совета Министров СССР пв делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.10.75. Бюллетень № 40

Дата опубликования описания 29.01.76 (53) УДК 621.396 049 (088,8) (72) Авторы изобретения

А. С. Седых, В. А. Сидоров и В. М. Строганов (71) Заявитель (54) НАГРЕВАТЕЛЪ ДЛЯ ПОДЛОЖЕК

ОПИСА

Государственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для нагревания подложек микросхем.

Известен нагреватель для подложек, содержащий графитовую пластину, соединенную 5 торцами с токовводами.

Однако известное устройство может быть использовано в узком диапазоне температур, определяемом величиной пропускаемого через пластину электрического тока. Только лишь 10 при одном зна ении тока будет наблюдаться изотермичность рабочей зоны нагревателя.

Цель изобретения — обеспечение изотермичности рабочей зоны нагревателя при различных температурах нагрева. 15

Это достигается тем, что, в пластине на участках, расположенных между рабочей зоной и токовводами, выполнены отверстия, в которых размещены пробки из токопроводящего материала с возможностью их осевого перемеще- 20 ния.

Описываемое устройство изображено на чертеже и состоит из графитовой пластины 1, соединенной торцами с токовводами 2, и пробок 3, ввернутых в резьбовые отверстия, рас- 25 положенные между рабочей зоной и токовводами.

Настройка нагревателя на рабочую температуру обеспечивается изменением глубины размещения пробок в отверстиях. При полностью закрытых отверстиях погонное сопротивление на любом участке пластины будет одинаковым. С уменьшением глубины завинчивания пробок будет увеличиваться погонное сопротивление на торцевых концах пластины, что вызовет повышенное тепловыделение на этих участках, в то время как на участках рабочей зоны количество выделяемого тепла будет оставаться постоянным. Регулируя глубину перекрытия отверстий, можно обеспечивать изотермичность рабочей зоны при любой ее температуре, определяемой током нагревателя.

Предмет изобретения

Нагреватель для подложек, содержащий графитовую пластину, соединенную торцами с токовводами, отличающийся тем, что, с целью обеспечения изотермичности рабочей зоны нагревателя при различных температурах нагрева, в пластине на участках, расположенных между рабочей зоной и токовводами, выполнены отверстия, в которых размещены пробки из токопроводящего материала с возможностью их осевого перемещения.

490273

Составитель Н. Блинкова

Техред Т. Миронова Корректор Л. Денискина

Редактор Г. Яковлева

Заказ 3368/18 Изд. № 1929 Тираж 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам. изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4j5

Типография, пр, Сапунова, 2