Шлюзовое устройство
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<и> 490872
Свае Советских
Социалистических
Республик л,»"
».
1»» (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.04.73 (21) 1914809/26-21 (51) М. 1хл. С 23с 13/08 с присоединением заявки №
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УД1 621.793.14.002. .52 (088.8) Опубликовано 05.11.75. Бюллетень ¹ 41
Дата опубликования описания 05.02.76 (72) Авторы изобретения
В, А. Пупко, В. В. Одиноков, В. Е. Минайчев и В. А. Михневич (71) Заявитель (54) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО
ГосУдаРственный комитет (23) Приор»итет
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме.
Известно шлюзовое устройство, содержащее вакуумплотный корпус с боковыми откачиваемыми полостями, ротор с гнездами для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки по периметру корпуса. Однако это устройство сложно в изготовлении, так как оно снабжено системой патрубков, с помощью которых изменяется давление в камере промежуточной откачки.
В предлагаемом шлюзовом устройстве с целью упрощения конструкции и уменьшения натекания воздуха во внутренней стенке корпуса выполнены продольные каналы, сообщающиеся с боковыми откачиваемымп полостям п.
На фиг. 1 представлено данное устройство, поперечный разрез; на фиг. 2 — разрез по
А — А.
Устройство состоит из вакуумного корпуса
1 с торцовыми крышками 2 и 3, ротора 4 с гнездами 5 для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки в виде продольных каналов 6 и 7 во внутренней стенке корпуса камеры, сообщающихся с боковыми откачиваемыми полостями, патрубка для откачки 8, уплотнительного устройства 9.
Ротор с продольными каналами 10 образует с корпусом щелевой зазор, а в верхней части корпуса находятся окно 11 загрузки транспортируемых изделий и окно 12 выгрузки их в
5 вакуумную камеру 13 (показана пунктиром).
Устройство работает следующим образом.
Из окна загрузки 11 изделия попадают в гнездо 5 ротора. Прп вращении ротора загрузочное гнездо с изделием подводится к про10 дольному каналу 6 или 7 камеры промежуточной откачки, где происходит откачка воздуха в гнездах ротора, а затем при очередном повороте на 90 изделие подается в вакуумную камеру. Освободившееся от изделий гнездо в
15 обратной последовательности проходит мимо каналов промежуточной откачки и. подойдя к окну 11, загружается снова.
Через патрубок для откачки 8 постоянно удаляется часть воздуха, поступающего в бо20 ковые полости, соединенные продольными каналами 6 и 7 и каналами 10 в роторе 4.
Предмет изобретения
Шлюзовое устройство, содержащее вакуум25 плотный корпус с боковыми откачиваемыми полостямн, ротор с гнездами для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и уменьшения нате490872 дольные каналы, сообщающиеся с боковыми откачиваемыми полостями. г о у
i /
A-A
Составитель Д. Белый
Техред И. Семенов
Редактор Б, Федотов
Корректор Л. Денискина
Заказ 32/17 Изд. № 92 Тираж 966 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Я-35, Раушская наб., д, 4/5
Типография, гр. Сапунова, " кания воздуха через шлюзовое устройство, во внутренней стенке корпуса выполнены про.J
-а.д г
::3