Фильтрующий элемент для очистки плазмы

Фильтрующий элемент для очистки плазмы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

i) 4920П

Союз Советских

Соииалистических

Республик

I (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.04.73 (21) 1922189/26-25 ! (51) М. Кл. Н Olj 3/40 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета й1инистров СССР (23) Приоритет

Опубликовано 15.11.75. Бюллетень М 42 !

Дата опубликования описания 06.02.76 (53) УДК 621,2.032 (088.8) по делам изобретений н открытий (72) Автор изобретения

H. Ф. Лазарев (71) Заявитель (54) ФИЛЬТРУК)ЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ ОЧИСТКИ ПЛАЗМЫ

Формула изобретения

Изобретение относится к области физической электроники и может быть использовано в газоразрядных приборах для очистки плазмы от продуктов распыления катода.

Известны устройства для очистки плазмы, в которых между катодами и анодом установлен охлаждаемый полый металлический цилиндр, через который пропускается газовьш разряд.

Продукты распыления катода осаждаются на внутренней стенке этого цилиндра.

Однако эффективность очистки этого устройства недостаточна в связи с тем, что прп малых давлениях газа частицы пролетают. не взаимодействуя с поверхностью цилиндра.

Это вызвано тем, что цилиндр установлен соосно с катодом и анодом и образует прямой просвет.

Для увеличения эффективности очистки плазмы в этой конструкции необходимо увеличение длины цилиндра, что приведет к усложнению установки.

Целью изобретения является увеличение эф рективности очистки плазмы от примесей.

Это достигается тем, что в предлагаемом фильтрующем элементе установлены диафрагмы с отверстиями, просветы которых перекрываются каким-либо телом, например телом другой диафрагмы. Для улучшения теплоотвода от диафрагмы и упрощения ко|струкции, диафрагмы электрически не изолированы от корпуса и одна от другой.

На чертеже показан предлагаемый фильтрующий элемент.

В корпусе 1 из теплопроводяшего материала расположены диафрагмы 2 с отверстиями

3. На внешней части корпуса выполнены две трубки 4 для выхода и входа теплоносителя, проходящего через рубашку 5. На боковых сторонах корпуса расположены патрубки 6 для соединения с газоразрядцым прибором.

Фильтрующий элемент работает следующим образом.

Корпус 1 с помощью патрубков 6 соединен с газоразрядным прибором, так что разряд может протекать только через отверстия 3, частицы попадают на стенки диафрагмы или корпуса, где они оседают и таким образам происходит очищение плазмы от примесей.

Выделенное плазмой тепло на поверхности диафрагмы 2 и внутрснней поверхности корпуса 1 отводится теплоносителем, которьш проходит через трубки 4, заполняя рубашку 5.

1. Фильтрующий элемент для очистки плазмы, состоящий из охлаждаемого корпуса и одной или нескольких диафрагм с отверстиями, 30 установленных в корпусе, отличающийся

492011 бСоставитель Н. Воронин

Техред Е. Митрофанова

Редактор И. Шубина

Корректор 3. Тарасова

Заказ 181/20 И зд. № 1987 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 тем, что, с целью увеличения эффективности очистки плазмы от примесей, диафрагма расположена в корпусе так, что просветы отверстий диафрагм перекрыты каким-либо телом, например телом следующей диафрагмы.

2. Элемент по п. 1, отлич а ющийся тем, что, с целью улучшения теплоотвода от диафрагмы и упрощения конструкции, диафрагмы электрически не изолированы от корпуса и

5 одна от другой.