Устройство для контактной печати

Устройство для контактной печати

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

00 493756

Союз Советских

Социалистических

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.12.73 (21) 1982313 26-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.11.75. Вюллетень № 44

Дата опубликования описания 20.04.76 (51) М, Кл. 6 03Ь 27/20

В 41m 3, 08

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений (53) УДК 621.3.049,75:

:774 (088.8) и открытии (72) Авторы изобретения

Ю. В. Романов и Н. H. Кудрявцев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ПЕЧАТИ

Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности, к устройствам для контактной печати, применяемым к технологии изготовления интегральных микросхем.

Известны устройства для контактной печати, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащие корпус, крышку, размещенные между ними фотошаблон с фотопластиной, средства для вакуумной откачки и экспонирования.

Однако, наличие в известных устройствах нескольких вакуумных объемов, уплотняемых резиновыми прокладками, а также переменного объема, снабженного механическим прижатием с сильфонным уплотнением и тягой с рычажно-кулачковым устройством, понижает надежность работы устройства.

IIezrbe изобретения является повышение надежности устройства.

Это достигается тем, что фотопластина размещена в углублении; выполненном в корпусе, в котором также выполнены полости, одна из которых соединена со средствами вакуумной откачки, а в другой, соединенной с системой подачи воздуха, размещена эластичная воздухонепроницаемая диафрагма, причем фотошаблон размещен в углублении, выполненном в крышке, в которой также выполнена полость, соединенная со средствами вакуумной откачки, Устройство изображено на чертеже.

Устройство состоит из корпуса 1 и крышки

2. Фотошаблон 3 расположен в углублении

4 крышки 2 и постоянно прижат к ней. Фотопластина 5 расположена в углублении 6 корпуса 1 и приведена в состояние тесного контакта с фотошаблоном 3 с помощью эластичной воздухонепроницаемой диафрагмы 7, закрепленной в корпусе 1.

10 Уплотнение крышки 2 с корпусом 1 осуществляется вакуумной откачкой из полости

8 чсрез штуцер 9 и двухходовой вакуумный вентиль 10.

Прижатие фотошаблона 3 к крышке 2 осу.

15 ществляется средствами вакуумной откачки из полости 11 через штуцер 12 и двухходовой вакуумный вентиль 13. Прижатие фотопластины 5 к фотошаблону 3 осуществляется вакуумной откачкой пз полости 14 через штуцер

20 15 и двухходовой вакуумный вентиль 16. На диафрагму 7 действует атмосферное давление из полости 17.

Устройство работает следующим образом.

В углубление 6 корпуса 1 укладывается фо.

25 топластина 5 светочувствительным слоем кверху. Крышка 2 повертывается углублением 4 кверху, в которое закладывается фотошаблон 3 эмульсионным слоем кверху.

Включается двухходовой вакуумный вентиль

30 13 на вакуум и через штуцер 12 откачивает493756

Предмет изобретения

А mneme е

4 11 й.му я

15

A! !!ocpepo,4епеерера

Составитель Н. Блинкова

Техред E. Митрофанова

Редактор В. Булдаков

Корректоры: А. Дзесова и И. Позияковская

Заказ 1099/21 Изд. № 1066 Тираж 529 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ся воздух из углубления 4, в результате чего фотошаблон 3 прижимается к крышке 2. После этого крышка 2 поворачивается фотошаблоном 3 книзу, включается двухходовой вакуумный вентиль 10, через штуцер 9 откачивается воздух из полости 8, благодаря чему осуществляется герметичное прижатие крышки 2 к корпусу 1. Включается двухходовой вакуумный вентиль 16, через штуцер 15 откачивается воздух из полости 14 для создания вакуума между рабочими поверхностями фотошаблона 3 и фотопластины 5. При откачке воздуха из полости 14 воздухонепроницаемая диафрагма 7 под действием атмосферного давления в полости 17 деформируется и равномерно прижимает фотопластину

5 к фотошаблону 3, создавая тесный контак между ними.

Источником света фотопластина 5 экспонируется через фотошаблон 3.

Устройство для контактной печати, преимущественно при изготовлении интегральных микросхем, содержащее корпус, крышку, размещенные между ними фотошаблон с фотопластиной, средства для вакуумной откачки и экспонирования, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности устрой10 ства, фотопластина размещена в углублении, выполненном в корпусе, в котором также выполнены полости, одна из которых соединена со средствами вакуумной откачки, а в другой, соединенной с системой подачи воздуха, 15 размещена эластичная воздухонепроницаемая диафрагма, причем фотошаблон размещен в углублении, выполненном в крышке, в которой также выполнена полость, соединенная со средствами вакуумной откачки.