Способ затупления острийных катодов

Способ затупления острийных катодов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пц 493834

Союз Советскнх

Социалистических

Республик

1

В

1 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.04.73 (21) 1910427/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

О! убликов",íî 30.11.75. Бюллетень № 44 ,Чита онубликования описания 24.02.76 (51) М. Кл. Н Olj 9/02

Н 01j 1/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР по левам нзабретеннй (53) УДК 621.385.032, .212 (088.8) ч вткрытнй

А (72) Авторы изобретения

В. Г. Павлов, А. А. Рабинович, В. П. Савченко и В. Н. Шредник

Ордена Ленина физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (71) Заявитель (54) СПОСОБ ЗАТУПЛЕНИЯ ОСТРИЙНЫХ КАТОДОВ

Изобретение относится к производству и эксплуатации острийных эмиттеров, .например автоэмиссионных катодов, и может применяться в автоионной и автоэлектронной микроскопии, в производстве электронно-лучевых и рентгеновских приборов, в масс-спектрометрии.

Известен способ затупления острийпых автокатодов, заключающийся в создании па поверхности острия микронарушснпй прогревом в электрическом поле и послсдующем нагревании до высоких температур, актцвирующем процесс поверхностной миграции. Однако по такому способу невозможно получить многоострийный катод с выравненным фактором поля, а также необходимо многократно повторять этот двухступенчатый цикл обработки для получения большого радиуса острия.

Цель изобретения — сокращение продолжительности технологического процесса и выравнивание фактора поля многоострийных автокатодов.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу острия прогревают в присутствии электрического поля при таких напряженности и температуре, которые обеспечивают превышение испарения материала с рабочей поверхности острия над диффузией материала на рабочую поверхность.

Сущность этого процесса состоит в том, что атомы, находящиеся на поверхности, а также атомы, приходящие на поверхность, ионизуются за счет механизма поверхностной ионизации, усиленной электрическим полем, и испаряются в виде положительных ионов.

Скорость этого процесса сильно зависит от температуры и поля. Последнее обстоятельство позволяет управлять обработкой, а также выравнивать факторы поля многоострийных

10 эмиттеров.

Поверхность после такой обработки может оказаться шероховатой и термически нестабильной. При необходимости поверхность можно сгладить, например, прогревом в от15 сутствие поля.

По мере затупления поле у поверхности острия снижается, поэтому обрабатывающее напряжение нужно повышать.

Например, вольфрамовое острие радиусом

20 1,1 мкм после обработки при температур

2700 К и электрическом поле 6,6 10 в/см в течение 1 мин затупилось до радиуса 1,8 мкм.

Предмет изобретения

25 1. Способ затупления острийных катодов путем прогрева, отличающийся тем, что, с целью сокращения продолжительности технологического процесса и выравнивания фактора поля многоострийных автокатодов, на30 грев остриев ведут в электрическом поле при

493834

Составитель Г, Жукова

Текред Е. Подурушина

Корректор М. Лейзерман

Редактор Е. Караулова

Заказ 177/10 Изд. Мз 2043 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 таких напряженности и температуре, которые обеспечивают превышение испарения материала с рабочей поверхности острия над диффузией материала на рабочую поверхность.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что электрическое напряжение, создающее поле у поверхности острия, повышают по мере увеличения его радиуса.