Вакуумный стенд

Вакуумный стенд

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (11) 4974!2

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.12.73 (21) 1975759/24-6 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.12.75. Бюллетень № 48

Дата опубликования описания 16.03.75 (51) М, Кл. F 04Ь 37/14

G 01п 7/14

Гасударственный комитет

Совета. Министров СССР

ll0 делам изобретени и открытий (53) УДК 533.59 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. М. Макаров, Н. Н. Тарасов и Н. В. Филин (71) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ СТЕНД

ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ И СОСТАВА

ГАЗО ВЫДЕЛ ЕН ИЯ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известны стенды для определения величины и состава газовыделения, содержащие рабочую и вспомогательную камеры, соединенные с системой откачки, датчики давления и масспектрометры.

При определении состава газовыделения в камере масспектрометра должно быть обеспечено давление не выше 1 10- тор, однако на известных стендах указанное давление получить невозможно, вследствие чего определение величины и состава газовыделения осложняется,рядом дополнительных операций.

Целью изобретения является обеспечение одновременного определения величины и состава газовыделения при больших удельных величинах последнего.

Это достигается тем, что рабочая и вспомогательная камеры стенда соединены между собой при помощи регулируемого микронатекателя.

На чертеже изображена схема описываемого стенда.

Стенд содержит рабочую камеру 1, соединенную со вспомогательной камерой 2 при помощи микронатекателя 3, датчиков давления

4 и масспектрометра 5.

Система откачки стенда .включает форвакуумные насосы 6, высоковакуумные насосы 7 и 8 и коммутирующую арматуру 9.

Стенд работает следующим образом. В рабочую камеру 1 помещается образец, а вспо5 могательная камера 2 откачивается до давления 1.10- тор, В рабочей камере 1 определяется величина газовыделения образца.

При давлении в рабочей камере выше

1 10-в тор газ из нее перепускается во вспо10 могательную камеру 2 через регулируемый микронатекатель 3. Во вспомогательной камере 2 с помощью микронатекателя 3 и высоковакуумного насоса 8 устанавливают давление

1.10 — тор и определяют состав газовыделе15 ния образца.

Вакуумный стенд для определения величи20 ны и состава газовыделения, содержащий рабочую и вспомогательную камеры, соединенные с системой откачки, датчика давления и масспектрометры, отличающийся тем, что, с целью обеспечения одновременного оп25 ределения величины и состава газовыделения при больших удельных величинах последнего, рабочая и вспомогательная камеры соединены при .помощи регулируемого микронатекателя.

497412

Составитель Г. Григорова

Техред 3. Тараненко Корректор Е. Рожкова

Редактор Е. Дайч

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 397/10 Изд. № 2125 Тираж 740 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5