Дозатор жидкости
Иллюстрации
Реферат
«»498770
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Со1оз Советских
Социалистических
Респубики (61) Дополнительное к авт. свид-ву—
122) Заявлено 26.03.74 (21) 20:.::3335,26-21 (51) 1 K,o H 05 K 3 18
G 01 31,, ОЬ с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.01.76. Бюллетень М 1 (45) Дата опубликования описания 17.06.76
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) Ут!К 621 193 2
:66.028 (088.8) (72) Автор
H. В. Яловега
Московский институт электронной техники изоб рете.1 11ÿ (71) Заявитель (54) ДОЗАТОР ЖИДКОСТИ
Изооретение относится к производству микроэлектронных схем, в частности к устройствам для точного дозирования мпкрорасходов жидкости.
Известен, дозатор жидкости, содержащий контейнер для жидкости и сообщающийся с ним через пористую перегородку испаритель с патрубками для газа-носителя.
Однако известное устройство дозирует жидкость с невысокой точностью из-за не|возможности управления расходом жидкости.
Цель изобретения — повышение точности дозирования — достигается тем, что предлагаемьш дозатор снабжен находящимися на противоположных плоскостях пористой перегородки сетчатыми электродами, соединенными с источником напряжения.
Дозатор изображен на чертеже.
Тонкостенный из пластичного материала контейнер 1 герметично соединен с пробкой
2, в которой выполнена горловина для заправки жидкостью в исходный момент и подачи жидкости при работе. Контейнер с пробкой герметично закреплен |в корпусе 3 через прокладки 4 с помощью гайки 5. Горловина пробки перекрыта пористой 1перегородкой б, разделяющей крышку 7 на две камеры, в одну из которых вмонтированы входной 8 и выходной 9 патрубки для инертного газа-носителя. Полость корпуса 3 сообщается с магистралью сжатого газа или жидкости . ерез патрубок 10 для подачи сжимающего газа.
На противоположных плоских поверхностях перегородки 6 впаяны сетчатые электроды, соединяемые с источн1тком напряжения постоянного тока контактами 11.
Устройство работает следующим образом.
После заправки жидкостью и соединения патрубков 8 и 9 с магистралью инертного газа контакты 11 соединяют с источником постоянного тока. Полярнзсть контактов выбирают так, чтобы создать «запирающее» электрическое поле междy сетчатым11 электрода:.1и.
Затем по патрубку 10 в зазор между контейнером 1 и внутренней поверхностью корпуса
3 подают сжатый газ под избыточным давлением. Контейнер сжимается, но жидкость не проникает сквозь «запертую» пористую перегородку 6 в магистраль инертного газа-носителя. Напряжение на контактах снижают до нуля. При этом, в зависимости от давления газа, сжимающего контейнер, и размеров каналов в перегородке. 6 создается начальный расход жидкости из контейнера. Изменяя полярность,контактов и повышая напряжение на них от нуля до максимума, изменяют расход жидкости. Ее расход соответствует напряжению, приложенному к контактам 11.
Если расход газа-носителя через патрубки
8 и 9 постоянный, изменению расхода жид498770
Составитель H. Блинкова
Техред 3. Тараненко
Редактор Б. Федотов
Корректор И. Симкина
Заказ 229/698 Изд. № 20i Тираж 1029
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Подписное
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» кости сквозь перегородку 6 соответствуют изменения концентрации паров жидкости в газовой смеси, поступающей в рабочую зону технологического оборудования.
Формула изобретения
Дозатор жидкости, содержащий контейнер для жидко ти и сообщающийся с ним через пористую перегородку испаритгль с патрубками для газа-носителя, отлпиающийся тем, что, с целью повышения точности дозирова5 нпя, он снабжен находящимися на противоположных плоскостях пористой перегородки сетчатыми электродами, соединенными с источником напряжения.