Высоковакуумный клапан

Высоковакуумный клапан

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

00 499432

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реснублик (61) Дололнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 27.06.74 (21) 2037491/25-8 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.01.76. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 30.03.76 (51) М. Кл. F 16К 3/00

F 16К 31,00

ifîñóäàðñòsåííûé комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.646(088.8) (72) Авторы изобретения

А. Т. Александрова, Е. В. Руднев и В. А. Степанов

Московский институт электронного машиностроения (71) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН

Клапан предназначен для коммутации высоковакуумных и сверхвысоковакуумных систем, например в высоковакуумных шлюзах вакуумно-технологического оборудования.

Известны высоковакуумные клапаны, в которых плоский закрывающий орган перемещается из открытого положения в закрытое и обратно в направлении, поперечном направлению оси закрываемого отверстия, а герметичное поджатие к седлу закрывающего органа осуществляется посредством шарнирно соединенной с ним каретки.

Предложенный клапан отличается от известных тем, что диск, закрывающий магистральное отверстие, подвижно укреплен на опорной раме, продольные стороны которой служат направляющими при его перемещении из открытого положения в закрытое и обратно.

Для перемещения закрывающего диска из одного крайнего положения в другое применена замкнутая система гибкой связи, состоящая из троса, направляющих роликов, расположенных на опорной раме и закрывающем диске, и двух барабанов, жестко закрепленных на валу привода клапана. На этом же валу укреплен эксцентрик, выполненньш в виде шарикоподшипника, который кинематически связан с опорной рамой и служит для герметичного поджатия диска к седлу.

На фиг. 1 показан предложенный клапан, общий вид в плане; на фиг. 2 — то же, продольный разрез и закрепление на седле клапана резиновой или металлической прокладки; на фиг. 3 — кинематическая схема гибкой связи для передвижения закрывающего диска вдоль опорной рамы.

Закрывающий орган клапана, выполненный в виде диска 1, подвижно укреплен на

10 опорной раме 2 посредством осевых шарниров 3 и направляющих втулок 4, при этом продольные стороны опорной рамы выполнены в виде труб 5 и служат направляющими.

Одна из поперечных сторон опорной рамы

15 шарнирно закреплена на базовом фланце 6 посредством сферической опоры 7 около магистрального отверстия а, по контуру которого расположено седло 8 клапана с укрепленной на нем уплотняющей прокладкой 9. Для

20 закрепления уплотняющей прокладки служат профильные полукольца 10 и обжимающее их кольцо 11.

Другая поперечная сторона опорной рамы посредством пружин 12 подпружинена отно25 сительно базового фланца, и вдоль нее расположен вал 13 привода клапана, укрепленный на базовом фланце 6 в опорах 14.

Гибкая связь вала привода с закрывающим диском осуществляется посредством троса

30 15, образующего замкнутый контур, с по499432 мощью направляющих и натяжных роликов

1б, расположенных на закрывающем диске

1, опорной раме 2 и направляющих втулках

4, и ведущих барабанов 17, жестко закрепленных на валу 13. На этом же валу закреплен эксцентрик 18, который кинематически связан с подпружиненным краем опорной рамы. Для компенсации неравномерности и предотвращения избыточного натяжения троса 15 два из четырех укрепленных на закрываюгцем диске роликов подпружинены (фиг. 2).

Предложенный клапан работает следующим образом.

Для закрытия клапана поворачивают вал

13 привода в направлении стрелки А (фиг.3).

В результате этого фрикционные барабаны

17 натягивают трос в левой (по чертежу) части контура и перемещают таким образом закрывающий диск в крайнее левое положение. В конце хода эксцентрик преодолевает действие пружин 12 и прижимает свободный край опорной рамы к базовому фланцу, при этом закрепленная на седле клапана уплотняющая прокладка 9 зажимается между уплотняющими поверхностями седла 8 и закрыв а ю щего диск а 1.

Для открытия клапана вал привода вращают в обратном направлении, пружины 13

5 отжимают свободный край опорной рамы от базового фланца, образуя зазор между уплотняющей прокладкой 9 и закрывающим диском 1. В результате натяжения троса 15 в правом (по чертежу) полуконтуре закры10 вающий диск перемещается в крайнем правое положение.

Формула изобретения

Высоковакуумный клапан с установленным

15 на опорной раме плоским шибером и механизмом его перемещения перпендикулярно оси проходного отверстия, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью повышения надежности, привод выполнен в виде двух фрикционных

20 барабанов с противоположно направленными пиральными канавками, на которые навич упруго натянутый трос, образующий замкнутый контур, охватывающий ролики, установленные на раме и шибере, а рама подпружи25 иена.