Центрифуга для нанесения покрытий

Центрифуга для нанесения покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

O A Й С А И Й Е (.) @9897

ЙЗОБРЕТЕЙ ЙЯ

СОюз СОВ87сиих

Сбцмаймстицвсимя

Респубпнн

М АВТОРСКОМУ СВИДЕ7ЕЛЬС7ВУ (И) Допслиительи е ж . ы д- у—

2 (51) К. Кл.

В 04В 5/Оо

В 05В 5/08 (22) Заявлено 15.10.74 (21) 2070385/23-5, с присоединением заявки Рй

Гаоудоротееиный комитет

Совета Ииииотроо СССР по делам иэаоретеиий и открытий (23) Ивиоритет (43) Опубликовано25.01,76.6 оллетень Ие 3 (45) Дата опубликования описания22.03.76

I (53) УДК 678.026.34 (088.8) А. И. Зимин, H. Г. Зимина, М, Е. Закс, К, И, Карасев и B. H. Таиров (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ЦЕНТРИФУГА ДЛЯ НАНЕСЕНИ Я ПОКРЫТИЙ

НА ТОКОПРОВОДЯЩИЕ И ПОЮ ПРОВОДНИКОВЫЕ

ППАСТИНЬ

Изобретение предназначено для нанесения светочувствительного или другого покрытия на токопроводящие или полупроводниковые пластины с помощью центрифуги, Известна центрифуга для нанесения покрытий на токопроводящие или полупроводниковые пластины, содержащая укрепленный на вертикальной оси привода, вращв1ощийся на шарикоподшипнике съемный столик и элементы крепления пластины к столику, !О

Однако из-за малой надежности закрепления пластины получается неравномерное распределение покрытия на поверхности пластины, Цель изобретения — повышение качест- Б ва покрытия.

Для достижения этой цели между наружной и внутренней металлическими поверхностями столика заключен полупроводящий электрический ток материал с удельным 20 электрическим сопротивлением 10 -10 ом м, при этом наружная поверхность столика снабжена жестко закрепленным металлическим электродом, соединенным через разъемную контактную пару с одним из полюсов источника постоянного напряжения, второй полюс которого подключен к внутренней поверхности столика через шарикоподшипник.

На фиг„ 1 изображена центрифуга, общий вид; на фиг. 2 вид сверху на полупроводящий электрический слой покрытия вращающегося столика, например, из СВЧкерамики, Устройство содержит металлическое основание 1, выполненное, например, из стали, которое закреплено на оси привода

2. На внутренний электрод 3, например латунный, съемного столика установлен полупроводящий диск 4 толщиной 2-4 мм с удельным электрическим сопротивлением

5 8

10 — 10 ом ° м. Для соединения внешнего электрода 5, например из алюминия, с основанием 1 в диске 4 сделан надрез 6, Соединение осуществляется с помощью привода 7 и контактной разъемной пары 8, Электроды 1 и 3 изолированы друг от друга диэлектриками 9 и 10 (например, фторопласто м-4 ), 499897

Составитель БЛовожнлов редактор Q.Kóçíåöoâà техред И Карандашова Корректор Е.Рожкова

Изд. 1т Тираж 7 ч Подписное з- .55ог

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4