Автомат для термической обработки изделий

Автомат для термической обработки изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е! (11 5(fr!)9jj

ИЗОБРЕТЕКИл!

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свцд-ву (22) Заявлено 27.09.74 (21) 2063171 22-2 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 30.01.76. Б)оллстсц! М -1

Дата опубликования описания ()9.(>4.76

Гасударственный ко)иитет

Совета Министров СССР по де))ам изобретений и открытий! (33) УДХ 621.783.223. .004 ;0SS.3) (») Авторы изобретения

В. Н. Баранов. В. И. Иванов, ) :, М, Мытарсн. <т1 8. С»:. ..1;(): о.,п и В. H. Щемлева (71) Заявитель (54) АВТОМАТ ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕ.(1ИЙ

Изобретение относится к печам для тор)(!ообработки плоских круглых изделий, перемещаемых на газовой подушке, которые, в частности, могут быть использованы в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем для процессов диффузии и пиролитического осаждения, проводимых в среде, агрессивной по отношению к материалам реактора и транспортирующего устройства.

Известен авто)!ат для термической обработки изделий, содержащий термическую камеру с размещенных! В неи peal(тором, В i(OTopoj

Обр »TIIO OC< 11< ÑÑÒÂ;15ICTC;1 г<)3»CTp > il):1>1. (1

В >)ЕСТС > СТ»НОВК I )(f! CCC) ): С . >!i !(! CC Тl 3 )в

КЛIО !ЕНЫ В ООССПЫ.зец)IЫ КОЦ

О. I, 1<» ê» T»i(0)i » :» .i;1! !! мСС ;: )Зi(!О ., ) l Жi(OCT(> 1 )((ООТЫ В > С, 0 >Ц5> Х В(.,3 1(. :, (. ".", . 5!»: (.>

СЦВ. 101i Г»30130й CО С.,.>1 )i

Воз)lцl(новения п1)с:1ятс )".) Пй пр .1 и )) с:",) зкс li; !I

10 Вр»щс и цздс, !!)il

ЦС. (ЫО 11300PCTC!i::и )>.">,15:С C.!1 > С!",,, IПСП::С К 13;l:I:10 О НЕ.ПОСТ(!Тl l. ..)ТО;(ОСТ)13!)СТС5. Т<".1.:IТО 1;» ",.)»l; !;,);;Т:; .(!;)ЩСС > CTPOIICTI СТ(i)iов;)С:!1>) . <"..<.<..",Ц:;0:.::

15 С TЬ!-:(а ".IТСЛП ill»ЛОГ;1 :>::), ":С<)Х.!515) li, j:,)C)(»Cj(, КОТ»;)ЫХ ПЕ С!(,;)> .1:l Пеlij)Cj<11" . ..:. i Я Д,:!

Лпй ll С»ВП;)Д()С(С ПЛ(;К» т. !» 0 Ц: )Г<) ):,; Цс,,) —

1 )) 3»L)111>I:(. ОТI )):. );:(Сц», j»ÆC» .:i»,:) f. ji»" В ,(В 5)Р С<1 !10 1)?????????? 11 ????!>1". СС.>IЬГХ . . )СЖ.", > CO20 б»!! Под шжнымц 510(l(»м;1, и;lздcл!!!»Iц!.мп 00 1>С51 каи(1 ого !13 Ш, li» 3()В ii» (, l:.(),1)>l()) г;!3<> )1)х

30II, > П,IОТ)IЯСХI)>1Х 110:(311>КП)>)>()),— )дт;IМ 1:1 CВЯ3 аlпl ы ми с )i ц )(и уп, 1(тпяl»)ii)! м)i кр !>11)! к,".. 1! !.

Н» ())))1!. 1 цок»з»)! прс.(,"!:1!!.»Oìl>:!i » >);»!(1T.

25 Bff,< сверх><, ) Ф):f . .- j)j! )i)(1<0 . <. 11;l (1)ill-. 1; ) (п.". 3- !» рсз )1 Б -l и»,цг.. 7..

Автомат для Tcj):)!00()pi.о»3»пl i(,)5 г,)1>)х ii, (><.—

I(II (ЦЗДЕ, I l ill C» lP!ОЖ)l .:!;l: j)C)>, CЛ;> i (),; " .. >:(Р >

1, 3 I(OTÎpOII СТ»l:» >ЛС)1 ))001".1 »:, . ) (0 >м )1

30 ным в цем тр<)нсп»рт)1)7 ) )0();!)м cl p»j;cтнынм 3, 501091

50 выполненным в виде трубы непрямоугольного профиля, имеющей под 4 с отверстиями для перемещения изделия 5 на газовой подушке.

В полу 4 по всей длине транспортирующего устройства 3 размещен непрерывный ряд кру лых кассет-носителей 6 с отзерстиямп, имеющими одинаковый диаметр с изделиями 5, В транспортирующее устройство 3 подается газноситель, а подача памиро-газовой смеси производится непосредственно в реактор 2. Реактор

2 и транспортирующее устройство 3 уплотнены в шлюзах загрузки 7 и выгрузки 8, в которых установлены з два яруса по высоте перегрузочные лотки 9 и 10.

Стыковка лотков осуществляется подвижными лотками 11, горизонтальная плоскость которых имеет отверстия 12 для подачи газа.

Перемещен11е подвижных лотков 11 на требуемую величину и в т ребуемой последовательности производится с помощью кулачкового механизма привода 13, причем пружины 14 н 15 обеспечивают опускание лотков 11 и уплотняющих крышек 16 вниз. В газовый объем между подвижными лотками 11 через штуцер 17 подается инертный газ. IIB участке разгрузочного лотка 1О, выступающего за пределы шлюзов загрузки 7 и выгрузки 8, размещены кассета-питатель 18 и кассета-накопитель 19.

Плоскость перегрузочных лотков 10 и верхняя плоскость кассет-носителей б совпадают, поэтому устройство управления ско ростью перемещения изделий 5 выполнено в шлюзе зыгрузк 8 в виде манипулятора 20 с подвижными упорами 21 и соплом сдува 22. Перемещение изделий 5 происходит за счет уклона трапспортиру1оп1е-о устройства 3 и перегрузочных лотков 9 и 10. Кассета-носитель зак..почепа в пылезащитный кожух 23.

Работа автомата производится и следующей

ПОСЛСДОЗ BTC;IbIIOCTH.

После предвар 1тельной загрузки изделий 5 в кассету-питатель 18 и на транспо ртирующее устройство 3 включается автоматический режим обработки, в процессе которого происходит управление раоотой xBHIIHyIIEITopB и работающих синхронно механизмов привода 13.

При этом через равные интервалы времени производится поштучная Bi lr рузк11 изделия 5 с последней к 1ссеты-носителя 6 EiB перегрузсчный лоток 10 н далее па iio;IHI;>i ll лоток

11 шлюза выгрузки 8. Включаются меха11нзмы привода 13, в результате чего подзи>к11ые лотки 11 последовательно приходят в крайнее

Зо

35 нижне". по iomcHHС, а образовавшийся объем уп ioTHHCTcsr крышкам:.r 16. Изделие 5 проходит через перегрузочный лоток 9 с одного подвижного лотка 11 на другой, а после воззращения их в исходное положение оно достигает кассеты-накопителя 19. Одновременно с этим происходит перемещение изделия 5 из кассеты-питателя 18 на т ранспортирующее устройство 3.

В описываемом автомате герметизация рабочего объема достигается за счет мпогокамерности выполнения шлюзовых устройств и установки уплотня1ощих прокладок 24 и сильфонов 25. Так как на пути перемещения изделий 5 над кассетами-носителями б отсутствуют участки поверхности, на которых может осаждаться вещество из паро-газовой смеси или посторонние частицы, это обеспечивает условия надежности транспортирования. Использование неподвижных кассет-носителей б, кроме того, позволяет отказаться от необходимости иметь замкнутый транспортирующий контур для их перемещения, что зна:1ительно упрощает конструкцию, снихкает расходы газа на транспортирование, сокр агцает время разогрева изделий в печи за счет уменьшения вносимой массы. При использовании инфракрасного нагрева и выполнении кассет-носителей из того же материала, что и изделие, резко сокращается переходный процесс разогрева изделия, ITQ улучшает условия термообработки.

В ряде случаев целесообразо выполнять касccTs!-носители б непосредственно на транспортнру1ощем устройстве 3 путем вытравливания с соответствуioIHHx учс1стков поверхности псда

4, нс перекрываемых изделиями 5.

Формула нзобрете,i:я автоAI p T для термической обработки изделий, содер>кащ1гй термпческу о камеру, реактор с уплотнеш 1ям в нем с помощью шлюзов транспортиру1ощнм ус-. ройством на газовой подушке, ка соту-питатель и кассету-накопитель с перегрузочными лотками, о т;I и ч а ющп и ся тем. что, с целью повышения надежности работы, транспорт:IpyioHIee устройство сна би ено ф.lкс11розанн1,1м11 HB Hell подставкам:. с Отверстиями, LLëioçH! снабжены углотпя1О11.,нмп крышками II лотками, установленными

С нозх.ожнОСГ1ио HcpclrcIIICEIk!Sl 11О выСОТС, а IIP.регрузоч ыс лоски размещены поярусно з шлюзах.

12 1Ю

Фиг. 8

Составитель О. Михайлова

Редактор Т. Пилипенко Техред 3. Тараненко 1(орректор Т. Добровольская

Заказ 568/13 Изд. № 1050 Тираж 653 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2