Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

$4ICt&

3 Ъу:

Я4 с

О П И C-" À:- :Н И Е

ИЗОБРЕТЕ Н И Я воаоьз

Сева Оееетеких

Секналистнческнх

Реснублик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.06.72 (21) 1803805/22-1 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Оп1 бликовано 05.02.76. Бюллетень № 5 (51) М. Кл.2 С 23С 11/00

Государственный комитет

Сввета Инннстрев СССР в делам нввбретений н етнрытнй (53) УДК 621.793.14 (088.8) Дата опубликования описания 22.04.76 (72) Авторы изобретения

А, А. Бабад-Захряпин и Л. Т. Лысенко (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения покрытий из парогазовых сред на длинномерные изделия.

Известно устройство для нанесения покрытий из газовой фазы на длинномерные изделия, содержащее камеру, внупри которой расположены захваты для крепления изделия, один из которых выполнен подвижным, экраны, токоподвод и систему подачи газа. Однако отмечается невозможность интенсификации процесса.

Цель изобретения — интенсификация процесса путем увеличения диффузионных процессов. Это достигается тем, что устройство снабжено стержнями из электр опроводного материала, укрепленными между захватами электроизолированно от одного из пих и соединенными с токоподводом.

На фиг. 1 и 2 представлено п редложенное устройство.

Устройство состоит из камеры 1 и захватов, верхний из которых содержит крепежную муфту 2, гайку 3, дисковый изолятор 4, кольца 5 и 6, а нижний — болт 7, вуфту 8, изолятор 9 и кольца 10, 11, экраны 12, токоподвад 13 и стержни 14, смотровое окно 15, трубопровод 16 для подачи рабочей смеси и систему подачи газа (на чертеже не показана).

K токовводу 13 и болту 7, а также к кольцам 5 и 10 подводится напряжение от источника элекпроэнергии переменной мощности.

В рабочей камере 1 расположены тепловые экраны 12 и она снабжена смотровым окном

5 15, через которое замеряется температура изделия и стержней 14. Рабочая камера 1 через трубопровод 16 соединена с системой подготовки пара-газовой смеси, а через трубоп|ровод 17 — с улавливающей системой.

10 Для создания симметричных относительно оси изделия деформаций все стержни стержневой системы выполнены таким образом, что онп равнопрочны и расположены на равном расстоянии друг от друга. Несимметричные от15 носительно оси изделия деформации получают при использовании либо не равнопрочпьтх стержней, либо устанавливают их на неодинаковом расстоянии друг от друга.

При пропусканпи тока через стержни они

20 нагреваются и изменяют, соответственна, свою длину. Посколько изделие в захватах закреплено жестко и прочность стержневой системы выше прочности изделия, то изменение длины стержней приводит к деформированию матс25 риала изделия, т. е. к его растяжению. Дефармирование материала сопровождается вози| к новением в нем структурных дефектов дислокаций, являющихся путями легкой диффузии.

В результате периодического нагрева и ох30 лаждения стержней в материале изделия с та

502063

12

10 кой же периодичностью возникают пути легкой диффузии.

В результате увеличивается интенсивность диффузионных процессов, а тем самым и интенсивность процесса нанесения покрытия. Таким образом, деформи рование изделия приводит к возникновению путем легкой диффузии, а последние — к интенсификации процесса нанесения покрытия.

Для получения в изделии деформаций кручения стержни между захватами располагают под углом к оси изделия в плоскостях, параллельных образующим изделия (см. фиг. 2).

Захваты выполнены таким же образом, как и в устройстве на фиг. 1. Стержни 14 расположены под углом к оси изделия, причем наклон всех стержней направлен в одну сторону п ри обходе захвата по периметру. Для нанесения покрытия на изделие в рабочую камеру 1 через трубопровод 16 подается паро-газовая смесь из системы ее подготовки. Далее изделие нагревают до заданной температуры, после чего включают программный нагрев и охлаждение стержней 14 от источника переменной

5 мощности, Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий из газо10 вой фазы на длинномерные изделия, содержащее камеру, внутри которой расположены захваты для крепления изделия, один из которых выполнен подвижным, экраны, токоподвод и систему подачи газа, отличающееся тем, 15 что, с целью интенсификации процесса путем активизации диффузионных процессов, оно снабжено стержнями из электропроводного материала, укрепленными между захватами элект роизолированно от одного из них и соединен20 ными с токоподводом.

502063 иг Z

Составитель Л. Анисимова

Редактор О. Филиппова Техред А. Камышникова Корректор М. Лейзерман

Заказ 1100/8 Изд. № 245 Тираж 1068 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2