Способ определения величины газового потока при низких давлениях

Способ определения величины газового потока при низких давлениях

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(11) 562223

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.03.72 (21) 1755834/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.02.76. Бюллетень зч" 5

Дата опубликования описания 14.04.76 (51) М. Кл.- зСт 01Е 11 00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 681.121.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. М. Григорьев, Е. А. Пенчко, А. И, Фурсов и Л. П. Хавкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ГАЗОВОГО

ПОТОКА ПРИ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЯХ

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению газовых потоков при низких давлениях.

Известные способы непрерывного измерения газового потока при откачке газа из камеры при своих достоинствах имеют один существенный недостаток: выделение газа или откачка газа из измерительной камеры, в которой установлен манометрический преобразователь, выдающий сигнал о величине потока, будут вносить ошибку в величину измеряемого потока, изменяя давление в рабочей камере.

Целью настоящего изобретения является повышение точности измерения. Это может быть достигнуто, если модулирующее устройство— элемент переменного сечения — установить не между измерительной камерой известного объема и патрубком откачки, а между измерительной камерой и камерой с источником потока. Иными словами, если модулировать не эффективную скорость откачки газа из измерительнои камеры, а сделать пульсирующим поток газа, входящий в измерительную камеру, т. е. модулировать поток газа перед входом в измерительную камеру постоянного объема.

Принципиальная схема реализации способа показана на чертеже, где приняты следующие обозначения: 1 — камера с объемом 1 — источник газового потока Q, величину которого необходимо определить; 2 — измерительная камера известного постоянного объема V>, 3— манометрический преобразователь, Q„— газовый поток пз манометрического преобразователя 3; 4 — трубопровод (штенгель), соеди5 няющий камеру 1 с камерой 2; 5 — заслонка, модулирующая поток на входе в измерительную камеру 2.

Поток газа из камеры 1, проходя через вращающуюся заслонку 5, становится пульси10 рующим, Переменная составляющая давления

Лр в измерительной камере 2 пропорциональна величине измеряемого газового потока Q, равного

Q — К 1 2 t p

15 где f(— постоянный коэффициент, f — частота вращения заслонки. Постоянный поток

Q„, из манометрического преобразователя 3 приводит к увеличению или уменьшешпо постоянной составляющей да вления в пзмерп20 тельной камере 2 и не .влияет 1а переменllylo составляющую давления.

Данный способ полного пскл1оченпя влияния у течек, выделения Газа или отк11 1кп Газа в измерительной камере 2, в которой устапов25 лен манометрический преобразователь 3, позволяет применять более надежнь|е, чем конизационные, электроразрядные манометры. Это увеличивает надежность прибора, делает его аварийностойким, в частности при повышении

30 давления до атмосферного.

502223

Формула изобретения

,Ц,. 0m аюа Г

Составитель О. Полев

Техред 3. Тараненко

Корректоры. Е. Хмелева и 3. Тарасова

Редактор Т, Зенбинкая

Заказ 651/9 Изд. ¹ 221 Тираж 864 Подписное

ЦНИИПИ Государственного ко :итога Совета Министров СССР

lIo делам изобпегс:пй li откпыти1 :

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, ир. С

Для данного способа измерения потока разреженного газа характерна меньшая чувствительность полезного сигнала по потоку (dn/dQ), чем при измерении потока путем модуляци и скорости откачки. Однако меньшую чувствительность полезного сигнала можно скомпенсировать применением селективного усилителя, настроенного на двойную частоту вращения заслонки 5.

Способ определения всл1гчины газового потока при низких давлениях путем измерения

II(Pмен11ои C0CTBB;IIIIOIIIeH J;IB;ICFIFIFI B камере постоянного объема, отличающийся тем, что, с целью повышения точности .измерений, поток г,3а модулируют перед входом в камеру посто11пного объема.