Способ ультразвуковой сварки

Способ ультразвуковой сварки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

00 502729

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.08.74 (21) 2063857/25-27 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.02.76. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 27.04.76 (51) М. Кл, В 2ЗК 19/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.791.16 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. М. Колешко, Л. И. Гурский и А. В. Гулай

Физико-технический институт АН Белорусской ССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ СВАРКИ

Изобретение относится к области ультразвуковой сварки и может быть использовано при сварке полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известен способ ультразвуковой сварки, при котором на каждую из свариваемых деталей подают упругие колебания.

Недостатком известного .способа является относительно малая эффективность ввода ультразвуковых колебаний, что снижает качество и надежность сварных соединений.

Повышение качества сварного соединения обеспечивается за счет того, что по предлагаемому способу на присоединяемый вывод подают продольно-поперечные колебания, а в подложке возбуждают волны Лэмба с пучностью стоячей волны в середине зоны сварки.

На чертеже показана схема устройства, реализующего предлагаемый способ.

От генератора 1 ультразвуковые колебания передают на электроакустический преобразователь 2, а затем через концентратор 3 и инструмент 4 подают продольно-поперечные ультразвуковые колебания на присоединяемый вывод 5. В подложке 6, находящейся на опоре 7, возбуждают, например, методом клина, волны Лэмба с помощью призмы 8, имеющей вдоль одной своей грани скользящий акустический контакт с поверхностью подложки и преобразующей плоские продольные волны, излучаемые пьезокерамической пластинкой 9, в волны Лэмба, распространяющиеся в подложке 6 в направлении к точке сварки. Продольные волны в пьезокерамической пластинке возбуждают с помощью генератора ультразвуковых колебаний 10. Частоту ультразвуковых колебаний генератора 10 выбирают так, л чтобы выполнялось условие d=n —, где d—

10 толщина подложки 6, Л вЂ” длина продольной волны в подложке 6, n=l, 2, 3... При этом волна Лэмба будет представлять собой продольную стоячую волну.

Призма 8 накладывается на подло>кку 6 та15 ким образом, чтобы ее ребра проходили перпендикулярно направлению к точке сварки, наклонной гранью от зоны сварки. При этом расстояние от призмы до зоны сварки дол>кно быть таким, чтобы пучность стоячей волны

20 находилась в середине зоны сварки.

При сборке интегральных схем с помощью устройства для сварки, рабочая частота которого равна 75 кгц, и при возбуждении в подложке волн Лэмба частотой 12,5 мгц воспро25 изводимость качества сварных соединений повышается на 40 — 65%.

Формула изобретения

30 Способ ультразвуковой сварки, преимущественно вывода с подложкой, при котором на