Замещенные 2,6-бис/4-азидобензилиден/циклогексанона как светочувствительная добавка для фоторезистов и светокопировальных слоев

Патент 503855

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сбюз Советских

Социалистических

Республик (») 50385$ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.09.73. (21) 1962280/23-4 с присоединением заявки (23) Приоритет (43) Опубликовано 250276 Бюллетень % 7 (45) Дата опубликования описания13.04.76 (51) М. Кл.

С 07 С 117/00

G 03 С 1/70

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий (53) УДК 547.171.8.0, :771.5 (088.1<1 (72) Авторы изобретения

А. В. Ельцов, 1. А. Юрре, Т, 10. Кульчицкая и С. П. Пушкин

Ленинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический институт им. Ленсовета (71) Заявитель (54) ЗАМЕШЕННЫЕ 2,6- БИС- (4-АЗИДОБЕНЗИЛИДЕН)

ЦИКЛОГЕКСАНОНА .

Изобретение относится к новым замешенным

2,6-бис(азидобензилиден)-циклогексанона для фо-! торезистов и светокопировальных слоев и способу их

:получения.

Известны светочувствительные незамещенные

2,6- бис (4- азидобензилиден) -циклогексаноны, которые могут быть использованы в качестве светочувствительной добавки для фоторезистов и светокопиро::вальных слоев.

Однако разрешающая способность их составляет

50-100 линий/мм, воспроизводимая ширина линии

10-20 ммк, что недостаточно при их использовании в радиоэлектронике, микроэлектронике и полиграфии.

Наряду с этим известные бисазиды в фоторезис- 15 тах не обладают высокой адгезией к подножке и кислотостойкостью.

Последнее зависит от преимущественного образования в результате фотохимической реакпии продуктов фотолиза бисазидов с полимерами, со20 держащими-СН и-С-С- связи мостиковых торичноаминных структур, например

2 эа счет внедрения в С-Н связи полимера. В связи с

I этим кислотная обработка фоторсзиста вызьпьзс I подтравливание края рельефа и<йоэтому глубииию< травление, например кремния, возможно лишь иа

50 ммк, а разрушение слоя происходит через 8 мии (К подобным веществам предъявляются вьюоки требования по набухаемости в растворителях. 11ол имерные слои с незаметценными известными бисазиа дами при обработке оксилолом набухают на 100- ОО к весу полимера, и последнее естественно ограпичи. вает возможности их широкого использования. 11îýтому изыскание новых светочувствительных ве цес<и не имеющих указанных недостатков, приобретает в настоящее время большое практическое и георстическое значение.

Авторы изобретения впервые обнаружили. < к весу исходного полимера}.

Зал1ещеииые -.6-бис(4-«зил<<беиэияия<и<1-иил < |ексаиоиа общей формулы

503855

1ванной НСI. Перемешивают в течение 2 час при 5560оС. Осадок отфильтровывают, промывают водой, Сушат иа воздухе в темноте. Выход 2,5 r (60% от теории) .

Тпл. 138-140оС.

Найдено,%: С 63,1; Н4 62;Н19,95, M 20 б 3"",, Вычислено,%: С 63,5; Н l4,81;ß20,20.

Л g:368 йм;, 5,020.

Пример 3. Получение 2,6-бис- (3-нитро- 4-азидобензилиден)-циклогексанона.

К раствору 2,92 г (0,02 моль) 3-нитро-4-азидобензальдегида и 0,98 (0,01 моль) циклогексанона в 20 мл этанола добавляют 7,5 мл концентриро, ваннэй НСI. Перемешивают 2 час при 55 вЂ” 60оС. Охлаждают до комнатной температуры, осадок отфильтровывяют, промывают водой, сушат на воэ.

: духе в темноте.

Выход 1,8 r (40% от теории), т.пл. 220оС (с разлажением).

Найдено,%:j С 52,1; Н 3,03. .ВО Ь 8 5

Вычислено,%: С 53,8; Н3,14.

„328 нм; 1,1э Е 4>514.

СН

П р ч м е р 4. Получение 2,б-бис- (2-хлор-4-ази добензилиден) -цнклогексанона.

К раствору 3,62 r „(К02 моль) 2-хлор-4-азидобена-. альдегида и 0,98 (0,01 моль) циклогексанона в 20 мл спирта добавляют 7,5 мл концентрированной НС1.

Перемешивают 5 час при 55-60оС. Осадок отфильтровывают, промывают водой, сушат на воздухе в темноте.

Выход 2,3 r (56% от теории), т.пл. 113 С (с разложением) ..

Найдено,%: С56,1; НЗ,I2;_#_19,10;Ñ1 16,70, саОН1486С1 R

Вычислено, %: С 56,5; Н 3,30; Я 19,8; С4 16,8. тпах 340 нм Ьд E 4 587

ЦНИИПИ. Заказ 1662 Тираж 5 "6

Подписное

Филиал ППП „Патент", г. Ужгород,ул. Гагарина, 101

6 и >-СЯ,3 gO ; 3 "OCH ; 2 - .; как светочувствительные вещества могут быть использованы для фоторезистов и светокопировальных, слоев. 10

Эти вещества в процессе фотосшивки в основ ном образуют пространственные структуры за счет возникновения мостиковых этилениминовых струк- . тур типа:

Я д у у)4Н15

СН СН

Ре с полймером, содержащим двойные связи.

В результате образованйя этилениминовых струк-тур фотохимический слой полимера не разрушается в кислых средах даже в течение 20 мин, при этом глубина протравливания достигает 80-100 мк при. воспроизводимой ширине линии 5 мк и разрешающей способности l200 линий/мм.

Вещества формулы (1) получают конденсацией оя цик%огексанона с соответствующйм замешенным

4-азидобедзальдегидом в среде алифатического спирта в присутствии минеральной кислоты при температуре 50 вЂ” 60оС в течение Ч,5 вЂ” 3 час. о

Пр и мер 1. Получение 2,6-бис(З метил-4-ази добензилиден) циклогексана.

К раствору 3,22 г (0,02 моль) 3-метил-4-азидобензальдегида и 40,98 г (0,04 моль) циклогексанона в

20 мл этанола добавляют 7,5 мл концентрированной о соляной кислоты. Перемешивают 3 час при 55-60 С, . 115 охлаждают до комнатной температуры, осадок отфильтровывают, промывают водой, сушат на возду- хе в темноте. Выход продукта 2 8 r(72,,5 % от теории), т.пл. 146-148оС.

Найдено,%:020,46; С 68 36; Н 5,11. 40

С22НЫОК

Вычислено,%: Н21,80; С 68,80; Н 5,22.

1362 eM;QE,4,68.

Л „показывает способность к поглощению света, 45

1 1р6 логарифм икстинкции. показывает актив ность вещества в процессе фотораэложения, причем

hg Е должен быть 4,2-4,5.

Пример 2.

В ИК-спектре интенсивная полоСа при 2120 см . Й

Получение 2,б-бис (3-метокси-4- азидобензилиден)циклогексанона.

К раствору ),54 г (0,02 моль) 3-метил-4-азидобенэальд".гиди, и 0,98 г (0,01 моль) циклогексанона в 20 мл этанола добавляют 7,5 мл концентриоо-, Формула изобретения

Замещенные 2,6-бис- (4-азьдобензилиден) -циклогексанона общей формулы: где К 3-СН; 3-КО2 З-ОСНЗ, 2-СI, кж светочувствительйая добавка для фоторезисто1в и

;светокопировальных слоев .