Тензоакселерометр

Тензоакселерометр

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(i i) 504978

ОПИСАНИЕ

ИЗОВРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.10.74 (21) 2065868/18-10 с присоединением заявки № (51) М. Кл. - G 01Р 15/12

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.768(088.8) Опубликовано 28.02.76. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 26.04.76 (72) Авторы изобретения

В. Д. Сапрыгин и М. Л. Тарасов (71) Заявитель (54) ТЕНЗОАКСЕЛЕРОМЕТР

Изобретение относится к области измерительной техники.

Известны тензоакселерометры, содержащие корпус с расположенными в нем консольно защемленной кремниевой балкой с инерционной массой на конце, тензорезисторами, включенными по мостовой схеме, и стабилизирующим температуру элементом.

Цель изобретения — уменьшение времени на подготовку тензоакселерометра к работе, его габаритов, веса и снижение потребляемой мощности.

Это достигается тем, что в нем стабилизирующий температуру элемент выполнен в виде диффузионного резистора, расположенного на балке вокруг тензорезисторов.

На фиг. 1 представлена конструктивная схема тензоакселерометра, на фиг. 2 показано расположение на балке тензорезисторов и диффузионного резистора.

Полупроводниковый тензоакселерометр содержит (фиг. 1) корпус 1 с расположенными в нем консольно защемленной в основании 2 кремниевой балкой 3 с инерционной массой 4 на конце, с каждой стороны которой укреплены (фиг. 2) по два тензорезистора 5 и одному стабилизирующему температ г диффузионному резистору 6. Последние электрически связаны через выводы 7 с б -скорпусным полевым транзистором 8, колодкой 9 и каме осУдаРствеиный комитет (23) П,орит рой 10, заполненной демпфирующей жидкостью. Тензорезисторы 5 и полевой транзистор

8 подсоединены к колодке 9. Электронная схема стабилизатора температуры располбжена внутри корпуса (на чертеже не показана),.

Выполнение стабилизирующего температуру элемента в виде диффузионного резистора

6, расположенного на балке 3 вокруг тензорезисторов 5, позволяет уменьшить время подготовки к работе, поскольку при этом не тратится время на перенос тепла от стабилизирующего к тензочувствительным элементам, снизить потребляемую мощность, так как нет необходимости нагревать все пространство внутри корпуса, и значительно уменьшить объем и вес тензоакселерометра.

При воздействии линейного ускорения происходит перемещение инерционной массы 4, 20 вызывающее деформацию кремниевой балки

3 и, следовательно, тензорезисторов 5, что приводит к изменению величины их сопротивления, которое регистрируется, При этом постоянство зависимости изменения сопротив25 ления тензорезисторов 5 от деформации при изменении температуры окружающей среды обеспечивается поддержанием постоянной температуры путем регулирования с помощьк полевого транзистора 8 напряжения, подава30 емого на диффузионный резистор 6.

504978

Формула изобретения

Составитель А. Климов

Техред М. Семенов

Корректор А. Галахова

Редактор И. Грузова

Заказ 901/18 Изд. № 1137 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 475

Типография, пр. Сапунова, 2

Тензоакселерометр, содержащий корпус с расположенными в нем консольно защемленной кремниевой балкой с инерционной массой на конце, тензорезисторами, включенными по мостовой схеме, и стабилизирующим температуру элементом, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени подготовки тензоакселерометра к работе, уменьшения его габаритов, веса и потребляемой мощности, в нем стабилизирующий температуру элемент выполнен в виде диффузионного резистора, расположенного на балке вокруг тензорезисторов.