Способ улавливания паров щелочных металлов

Способ улавливания паров щелочных металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Фавна: а=,ы

ОПИСАНИЕ „„5н542о

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 28.11.72 (21) 1851682/23-26 (51) М. Кл. В 012 53/00 с присоединением заявки №(23) Приоритет (43) Опубликовано05.03.76.Бюллетень № 9 (45) Дата опубликования описания 18.10.76

Гооударстеенный комитет

Соната Инннотраа СССР оо делам изобретений н открытий (53) УДК 66.074,3 (088.8) A. Г. Нестеренко, E. Н. Мартинсон, М. П. Ермакова, В. И. Данилкин и Г. Н. Шнитко (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ УЛАВЛИВАНИЯ ПАРОВ ШЕЛОЧНЫХ

МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к вакуумной технике, оно может быть применено для улавливания паров щелочных металлов в системах напыления тонких пленок, Известен способ улавливания паров щелочных металлов в системах напыления тонких пленок путем конденсации в ловушке, охлаждаемой жидким азотом. Недостатком указанного способа является необходимость глубокого охлаждения до температу- 10 ры кипения жидкого азота. Кроме того, в охлаждаемой ловушке конденсируются также и водяные пары, что может привести к их химическому взаимодействию со щелочным металлом. 16

Бель изобретения — создание такого способа улавливания паров щелочных металлов, который позволил бы упростить процесс за счет исключения глубокого охлаждения. С этой целью улавливание осуществ- 2о ляют пиролитическим графитом при 150350оС

Пиролитический графит в интервале температур 150-350 С эффективно взаимодейо ствует с парами щелочных металлов с образованием так называемых соединений включения, в которых атомы щелочного металла располагаются между слоями атомов углерода кристаллической решетки графита.

Пример. Между откачиваемым объемом и системой откачки помешают ловушку, схема которой представлена на чертеже.

Ловушка состоит из корпуса 1, патрубков

2, насадки 3 из пиролитического графита, крышки 4 и электронагревателя 5. В процессе откачки в ловушке с помощью электронагревателя поддерживают температуру 1 50о

350 С. При весе насадки 100 г ловушка обеспечивает улавливание паров щелочного металла в течение 10 000 рабочих циклов установки напыления тонких пленок. Емкость поглотителя 100-130 вес.%.

Формула изобретения

Способ улавливания паров щелочных металлов в системах напыления тонких пленок, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, улавливание осуществляют пиролитическим графитом при

150-350оС

5 05429

Составитель g.разсь4уксзь

Редактор,Л.Ушаковц текред Н. Xa leeae корректор Т.rPeBDoB&

Загаз g/litß Изд. МД/5 Тираж

Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета Cooera Министров СССР ло делам изобретений и открытий

Москва, l l3035, Раушская наб., 4

Филиал fllIFI "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4