Устройство для нанесения пленок методом разлива

Устройство для нанесения пленок методом разлива

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

,, :„ „;„„";-,„ „,"„ „ "„ О П И С А Й И Е

ИЗОБРаГЕН Ия

R етВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61} Дополнительное K авт. свид-By 431909

{22} Заявлено 23.07 73{21} 1951327 23 26 (5т) М. Кл2 В 05С 5/02

Н 01С 17/06 с присоединением заявки №вЂ” (23} Приоритет (43} Опубликовано05.03.76 Бюллетень № 9

{45} Дата опубликования описания 01.10.76

Гасударственный ионин т

Совета Иинистраа СССР оа делам нзооретений н открытий

Pa) УДК 621.317. ,732 (088. 8) A. И. Кришюнас (72) Автор изобретении

{71} Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТОДОМ РАЗЛИВА

Изобретение относится к устройствам для нанесения реэистивных пленок на твердую подложку, оно может быть использовано, например, в радиотехнической промышленности. 5

Известное устройство для нанесения резистивных пленок методом разлива по авт. св.. 431909 содержит разливочныйсосуд, в нижней части которого имеется продольная щель, образуемая стенкой разли- т0 вочного сосуда и его днищем. Для получения более равномерчой по толщине плотности пленки стенка днища, образующая кель„ срезана от середины к ее краям. Однако известное устройство не обеспечивает точ- та ного регулирования толщины получаемой пленки.

С целью устранения этого недостатка и обеспечения более точного регулирования предложено в стенке, образующей щель 20 с днищем сосуда, выполнять прорези, делеииие стенку на верхнюю неподвижную часть, прикрепленную к смежным стенкам сосуда, и нижнюю подвижную часть, а для соединения частей и контроля их положения пред-И ложено устройство снабжать регулировоч : ными винтами а микронными индикаторами, установленными на верхней части.

На фиг. 1 изображено предложенное усчройство, общий вид; на фиг. 2 - разрез

:TIo А-А на фиг, 1. ! .Устройство содержит корпус 1 сосуда

;для исходной суспензии. Передняя стенка 2

:.сосуда, образующая щель с днищем сосу« да, выполнена с, прорезами 3, которые делят ее на верхнюю-"неподвижную часть 4 и нижнюю .ттодвижную, часть 5 Последняя с помощью регулировочных винтов 6 имеет возможность передвигаться в направлении по стрелке Б. Верхняя часть 4 передней стенки прикреплена винтами 7 к смежным стенкам корпуса, а по бокам этой стенки установлены микронные индикаторы 8.

Ус тройс тво раб о тает следующим образомм.

В сосуд заливают исходную сусиензию.

Чтобы она не проникала в прорези, между" передней стенкой 2 и корпусом атея.и.L прокладка 9. Винтами 6 изме:-.,яют плошадь сечения отверстия а, через которое суспенния выливается на подложку 10.

При движении подложки в направлении по стрелке Ь на подложке образуется резистив- 5 ный слой - 1 1. Для получения равномерного

1 по.толщине слоя при помощи двух винтов 6 добиваются одинаковых показаний индикато- ров 8.- Для данного состава суспензии прежде всего определяют зависимость удельного 10 сопротивления резистивного слоя от его толщины, регистрируемой по покананиям микронного индикатора. Из графика полученной зависимости с высокой точностью можно получить заданное удельное сопротивчение резиставного слоя.

Предложенное устройство снижает брак при производстве резисторов до 57 против.30-35% в cJT тчае применения известного устройства.

Формула изобретения

Устройство для нанесения пленои методом разлива по авт, св. 431909, о т л и— =- а ю щ е е с я тем, что, е целью более точного регулирования толщины получаемой пленки, в стенке, образующей щель с днищем сосуда, выполнены прорези, делящие стенку на верхнюю неподвижную часть, прикрепленную к смежным стенкам сосуда, и нижнюю подвижную часть, а для соединения частей и контроля их положения устройстВо снабжено регулировочными винтами и, микронными индикаторами, установленнымй: на верхней части стенки.