Способ фотографического получения изображения

Способ фотографического получения изображения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 00506826

ИЗОБРЕТЕНИЯ l

Союз Советских

СоUиопи"."Ичеcких

Респуолин (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.11.72 (21) 1846563/28-12 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.03.76. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 2б.05.7б (51) М. Кл. 6 03G 13/00

G 03C 5 00

Государственный комитет

Совета тАиннстров СССР (53) УДК 772.93(088.8) ро далай изобретений и цткрытиК (72) Авторы изобретения

Г. И. Алкин, Э. Н. Костров, В, Л. Ройтер и В. Н. Макарцев (71) Заявитель (54) СПОСОБ ФОТОГРАФИЧЕСКОГО ПОЛУЧЕНИЯ

ИЗОБРАЖЕН ИЯ

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к способам фотографического получения изображения при изготовлении прецизионных оптических и индуктивных линеек, шкал, датчиков и т. д.

Известен способ фотографического переноса изображения с фотошаблона на фоточувствительный слой, путем экспонирования фотошаблона и подложки с фоточувствительным слоем параллельными лучами света через щелевидную диафрагму, Недостатком известного способа является погрешности линейных размеров вследствие, например, неточности изготовления фотошаблона или изменения размеров изображения при фотохимической обработке фоторезистра.

Произвести коррекцию размеров получаемого изображения путем внесения изменений в размеры фотошаблона бывает весьма сложно, особенно при необходимости получения высокой точности изображения и трудоемкости изготовлния фотошаблона.

Целью настоящего изобретения является осуществление коррекции изображения.

Поставленная цель достигается тем, что в процессе экспонирования изменяют угол падения лучей к экспонируемой поверхности.

Данное изменение угла падения лучей можно осуществить путем одновременного перемещения фотошаблона и подложки относительно диафрагмы или путем направления лучей света к экспонируемой поверхности под углом, отличающимся от прямого и регулированием величины зазора между фотошаблоном и диафрагмой в различных экспонируемых участках.

Способ заключается в следующем.

Фотошаблон и подложку устанавливают с зазором между ними, перед фотошаблоном

10 помещают щелевую диафрагму, а экспонирование производят параллельпыми лучами света, которые пропускают через диафрагму и направляют к экспонируемой поверхности под углом падения, отличным от нуля. При

15 этом (в качестве одного из возможных вариантов) в процессе движения осуществляют изменение величины указанного угла.

Формула изобретения

20 1. Способ фотографического получения изображения путем экспонирования фотошаблона и подложки с фоточувствительным слоем параллельными лучами света через щелевую диафрагму, отличающийся тем, что, с

25 целью осуществления коррекции изображения, в процессе экспонирования изменяют угол падения лучей к экспонируемой поверхности.

2. Способ по п. 1, отлич а ю щи и с я тем, 30 что изменение угла падения лучей производят

506826

Составитель О. Волощенко

Техред Г. Андреева

Корректор М. Лейзермаи

Редактор Э. Шибаева

Заказ 1124/17 Изд. Мз 1186 Тираж 593 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 путем одновременного перемещения фотошаблона и подложки относительно диафрагмы.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что изменение угла падения лучей производят путем направления лучей света к экспонируемой поверхности под углом, отличающимся от прямого и регулированием величины зазоза между фотошаблоном и диафрагмой в

5 различных экспонируемых участках.