Способ получения сферических гранулна основе карбида бора

Способ получения сферических гранулна основе карбида бора

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

OllMCAHИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (((! 5О8473

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заяглено 05.10.72 21) 1836396/23-26 с присоединением заявки № (51) М. Кл.- С 01В 31/30

С OIB 35/00

Совета а1инистров СССР ло делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 15.06.7б (53) УДК 661,665(088.8) (72) Авторы изобретения

К. Г. Марин, Д. Л. Федорова и Г. H. Королева (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СФЕРИЧЕСКИХ ГРАНУЛ

НА ОСНОВЕ КАРБИДА БОРА

Государственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к способу получения сферических гранул на основе карбида бора и может найти применение в процессах обработки полупроводниковых материалов, сплавов, а также при изготовлении связанных абразивовв.

Известен способ получения сферических гранул на основе карбида бора, включающий плавление исходного порошкового материала в потоке безэлектродной низкотемпер атурной плазмы.

Цель изобретения — повышение абразивной способности готового продукта.

Для этого в исходный материал вводят борсодержащую добавку и расплавление ведут при поддержании скорости потока 1О+

+-15 м/сек.

В качестве борсодержащей добавки используют аморфный бор.

Способ позволяет повысить твердость и однородность гранулометрического состава сферического порошка карбида бора и ооеспечивает повышение удельного съема при полировке полупроводниковых пластин в 2—

3 раза.

Пример. Промышленный порошок карбида бора с размером зерен 100 — !25 мкм в количестве 500 г смешивают с порошком аморфного бора в количестве 50 r и с помощью шнекового питателя в среде транспортируюгцего аргона направляют через водоохлаждаемую питающую трубку в кварцевый реактор

Я б0 мм, где индуцируют безэлектродный

5 плазменный разряд, стабилизированный инертным газом (аргоно-гелиевая смесь).

Плазмообразующий газ подают через шестиканальное распределительное устройство по траектории, близкой к спирали

10 Архимеда. Расход газа 50 л/мин, 1 — плазмы

10 м/сек. Процесс ведут в течение 1 час.

Сферический упрочненный порошок оседает на степках водоохлаждаемого конденсатора и стеклотканевого фильтра.

Формула изобретения

1. Способ получения сферических гранул на основе карбида бора, включающий плавление исходного порошкового материала в по20 токе безэлектродной низкотемпературной плазмы, отличающийся тем, что, с целью повышения абразивной способности готового продукта, в исходный материал вводят борсодержащую добавку и расплавление ве25 дут при поддержании скорости потока 10++-1,5 м/сек.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве борсодержащей добавки использу(от аморфный бор.