Способ получения карбида тантала

Способ получения карбида тантала

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1, 1

ОПИС Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

I <

АНИ (,i) 50856l

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.10.72 (21) 1836593/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 21.05.76 (51) М. Кл." С 23С 13/02

С 01В 31/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 661.665(088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения В. П. Горда, Е. А. Кузнецов, В. П. Петровская и М. П. Шуров (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КАРБИДА ТАНТАЛА

Формула изобретения

Изобретение относится к технологии изготовления тугоплавких керамических материалов, используемых в качестве защитных покрытий рабочих частей высокотемпературных устройств, аппаратов и МГД-генераторов.

Известен способ получения пиролитического карбида тантала из парогазовой смеси, содержащей пары хлорида, углеводород и инертный газ на графитовой подложке при высокой температуре. По этому способу получают крупнокристаллический и пористый карбид тантала.

Цель изобретения — повышение однородности получаемого продукта по составу и размеру зерен.

Для этого подложку нагревают до 1220—

1380 С, а в состав парогазовой смеси дополнительно вводят водород при следующем соотношении компонентов, об. %: ТаС1з 2,5—

11,0; СН4 1,0 — 7,0; Нз 2,5 — 26 и Не остальное.

В качестве подложки может быть использован любой материал, имеющий температуру плавления значительно выше температуры процесса.

При указанных условиях получают мелкокристаллический (размер зерна 1 — 10 мкм), 2 плотный, однородный и бездсфектный пирока р бид тантал а.

П р и мер. Подложку нагревают до температуры 1300 С и на поверхности рабочей части осаждают пирокарбид тангала из газовой фазы, содержащий, об. %: ТаС1з 2,5; СН4 1;

Нз 2,5; Не остальное. Полученное покрытие является мелкокристаллическим с размером зерна, не превышающим 5 мкм, однородным

10 по структуре и не имеющим пор.

Способ получения карбида тантала путем

15 осаждения на нагретой подложке из парогазовой смеси, содержащей хлорид, углеводород и инертный газ, отлич а ющийся тем,что, с целью повышения однородности полученного продукта по составу и размеру зерен, под20 ложку нагревают до 1220 — 1380 С, а в состав парогазовой смеси дополнительно вводят водород при следующем соотношении компонентов, об. %:

ТаС1;

СН

Н2

Не