Вихретоковый способ измеренияфизико-механических параметровизделий

Вихретоковый способ измеренияфизико-механических параметровизделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1i i1 5О8733

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 15.11.72 (21) 1846530/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 19,05.76 (51) М. Kë. 6 01N 27/86

G 01В 7/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 620.179.142 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Б. Вальдман и В. С. Фастрицкий (71) Заявитель Рижский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт (54) ВИХРЕТОКОВЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ

ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ

Формула изобретения

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может использоваться для неразрушающего контроля физико-механических параметров тонких поверхностных пленок, например, наносимых на конденсаторные диэлектрики.

Известен вихретоковый способ измерения физико-механических параметров изделий, заключающийся в том, что в изделии возбуждают вихревые токи с помощью вихретокового преобразователя и об измеряемых параметрах судят по реакции на этом преобразователе, Однако известный способ не обеспечивает достаточной точности из-за погрешностей, вносимых изменением величины зазора между преобразователем и изделием.

Цель изобретения — повышение точности измерений.

Для этого по предлагаемому способу в изделии с помощью емкостного преобразователя дополнительно возбуждают вихревые токи, сдвинутые по фазе относительно первых вихревых токов на 180 .

Способ осуществляется следующим образом, B изделии с помощью вихретокового датчика возбуждают вихревые токи. Одновременно с помощью емкостного преобразователя, включенного в отдельный резонансный контур, расположенного рядом с вихретоковым преобразователем и выполненного в виде разведенных в одну плоскость пластин, в изделии возбуждают вихревые токи, сдвинутые по фазе на

5 180 относительно поля вихревых токов, возбуждаемых вихретоковым преобразователем.

При изменении величины зазора э, д. с. возбужденных в изделии вихревых токов от обоих преобразователей меняется однозначно, ре10 зультирующее же электромагнитное поле вследствие имеющегося фазового сдвига остается постоянным, а выходное напряжение на вихретоковом преобразователе не зависит от изменения величины зазора.

Вихретоковый способ измерения физико-механических параметров изделий, например

20 тонких поверхностных пленок, заключающийся в том, что в изделии с помощью вихретокового преобразователя возбуждают вихревые токи и об измеряемых параметрах судят по реакции на этом преобразователе, отл и25 ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерений, в изделии с помощью емкостного преобразователя дополнительно возбуждBloT вихревые токи, сдвинутые по фазе относительно первых вихревых токов на 180 .