Способ изготовления холодильных катодов

Способ изготовления холодильных катодов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 5093.65 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.07. 74 (21) 2043968/26-25 с присоединением заявки №(23) Приоритет (43) Опубликовано 25.02.77рюллетень № 7 (45) Дата опубликования описания 25.05.77 (51) М. Кл.е

Н 01,) 9/02

Н 01 3 1/30

Государственный квинтет

Саввтв Мнннотров СССР по делам изобретений и открытнй (53) УДК621.385.

032.212 (088.8) В. С. Ананьин, А. A. Бабурин, В. А. Беляев, Г. И. Есарев, М. A. Савичева, Л. Н. Покосовский и Q. Н. Харитонов (72) Лвторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ

Изобретение относится к области элект» роники и может быть использовано при изготовлении холодных катодов для газоразрядных приборов, например для катодов ОКГ, Известен способ изготовления холодных катодов из сплавов, содержащих элемент с повышенным сродством к кислороду, путем избирательного окисления сплавов в атмосфере кислорода. Однако катоды, изготовленные этим способом, обладают ма- 10 лой устойчивостью пленок к катодному раапылению.

Цель изобретения — повышение устойчивости окисных пленок к катодному распылению и, таким образом, его долговечности.

Эта цель достигается тем, что катод нагревают до температуры начала фазовых превращений в материале катода и выдерживают при этой температуре от 3 до 16 часов. Потом поднимают температуру на

50-200 С и выдерживают при данной температуре 5-120 мин. На поверхности ма- териалов, обрабатываемых по предлагаемому способу, образуется устойчивая к ионной бомбардировке двухслойная окисная пленка, внешний слой которой состоит из окиси элемента с высоким сродством к кислороду, а подслой представлен смесью окислов компонентов и шпинелей соответствующего типа.

Используя предлагаемый способ окисления, можно получать катоды с устойчивой к тлеющему разряду пленкой из любого материала, содержащего металл с высоким сродством к кислороду. Так, например, катоды из сплава алюминия с 6% магния обрабатывают до частоты 8-14 класса и окисляют в кислороде при давлении

1-100мм рт.ст. при температуре 250оС в течение 3 часов. Затем производят подьем температуры до 400 С, при которой выдерживают 15 мин, В результате такого окисления на поверхности катодов образуются устойчивые к ионной бомбардировке двухслойные окисные пленки, внешний слой которых состоит из кристаллической окиси магния, с размерами кристаллов окиси (100-300 А), соизмеримыми с его

509165

Составитель Г. Жукова

РедактоР Г. Яковлева ТехРед H. Андрейчук Корректор С. олдижар

Заказ 698/115 Тираж 1002 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, -Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 толщиной, а подслой представлен аморрной пленкой, по составу близкой кМ М ф долговечность катодов из сплава алюминия с 6% магния, обработанных вышеописанным способом, составляет величину почти на порядок большую, чем для катодов из того же сплава, окисленных другими способами.

Формула изобретения

Способ изготовления холодных катодов из сплавов, содержащих элемент с повышен- 1ô

4 ным сродством к кислороду, путем избирательного окисления нагревом в атмосфере кислорода, отличающийся тем, что, с целью повышения устойчивости окисных пленок к катодному распылению, катоды нагревают до температуры начала фазовых превращений, выдерживают при этой температуре от 3 до 16 часов, затем под о нимают температуру на 50-200 С и выдерживают от 5 до 120 минут.