Стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О l II М (ю А гЕ е е Е (ц Яйся

И ОБР 7EH Йя

СОюз Советсиии

Со@мапистммесиии

Республик

I (6I) Дополнительное к авт. свид-ву ! (22) Заявлено 04.03,74 (2j) 2001785/29-33

1 с присоединением заявки №! в (51) М. Кл. С 03С 3/12

2 (1

1

) (53) УДК 666.112 (088,82

Государственный комитет

Соеета Министров СССР по делам изооретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.04.76 Бтоглетень ¹ 13 (4Ь) Дата опубликования описания 3О О4 -;6

У. Я. Седмалис, С, И. Кобзарь, Г. П. Седмале, Р. A. Цимдинь, E. Ю. Кокориш и H. Витола (72) Авторы изобретения (11) Заявитель Рижски пол (54) СТЕКЛО

Х ттО

8 О

Al О

СЫО

О, 1-5

0,1 5

0,1-2

0, 1-10

0,5-5

Р„,, Я

Изобретение относится к легкоплавким химически устойчивым (с высокими диэлектрическими показателями) стеклам, используемым для зашиты поверхности интегральных микросхем.

Известно стекло, включакипее Р Ь О, В O

ZOO, Si O и А1 О . Недостатком известного состава является относительно высокая температура оплавления и повышенная о склонность к кристаллизапии.

Целью изобретения является снижение температуры оплавления и склонности к кристаллизации при сохранении высоких диэлектрических показателей и химической устой- 5 чивости. нит ельне соде;явит 3 О., С.". =:, " ::::...., .МоО

О прн с3тедуыием сост:-Бшении ком- рр

2 5 пои".нтов (B вес. %), иО 0,5-3

ФО 0,5-3

МоО

ИЬ О О, 1-3

Шихта для варки стекла содержит химитеские реактивы марок, и И а (в вес. ч)

РЬО 66,3-85,7; Н ВО 14,2-35,6;

Я@О 0,1-5,1; ЯО 0,1-10,2;, ЯО,, О, -51," А1 О 0121;

Сы O 0,5-=3: Ж О 0,5=5,.1 ., МоС 0,5ЙЬ О О, .1-3, 1.

2 Ф )

Варка стекла производится по обшепринятому способу при 900-i.ÞÎ C без выдег у, " (Стекло .м=-=.ò с г едуюшне характеристики, Ск -;cû-;ос; = к . ;:,рис галл ..ззпнн (выдержка

509548

CcLO 9,8

$1О 2,5

Аl О 05

СиО 1,0

Сы. О

0,5-3

0,5-3

0,5-5

О, 1-3

РЬ О 63,1

НЭВОЭ

Z 1LO 0,2

CdO 9,1

ФО

МоО

МЬО

2 5

Сост ав и те л ь Г,С едмаш

Редактор И.Квачадзе Текред И.Карандашова Корректор Н.Аук

Ф

Подписное за. x//p

Тираж 576

За к аз 5 !9

ППИИШ! Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, l3035, Раушская наб., 4

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 порошка стекла с размером зерен менее

60 мк в интервале температур 300-600 С в течение 4 час) не кристаллизуется о

Температура размягчения, С 280-320

Температура оплавления порошка стекла с размером зерен порядка 0,1 мк в пленку, оС 400-450

Коэффициент линейного терми- lO ческого рйсуирения (KTP) в интервале 203ООоС г д 1 .(70-85) 10

Диэлектрическая проницае-„ о

/ мость при 20 С и частоте

1 кГц 20-30

Тангенс угла диэлектрических потерь при 20 С и частоте 1 кГц 0,0 1-0,03

Химическая устойчйвость (потеря веса в % при кипячении зерен стекла с размером частиц 0,3-0,5 мм в дистиллированной воде в течение 1 час) 0,05-0, Э

Пример. Стекло состава (в вес. %):, РЬО 68,0

В О 10,0

ZпО 0,2

МоО 2,5 ! тЬ О 2,5

5 приготовленное из шихты (в вес. %):

$!О 2,4

Л12О 0,5

СцО 1,0

ОЭ

МоО 2,4

Р! Ь О 2,4

2 5

Стекло имеет следующие характеристики:

Склонность к кристаллизации,не кристал-лизуется в интервале температур Э00-600 С

Температура размягчения, оС - 295

:Температура оплавления порошка стекла с

:размером зерен порядка 0,1 о

В пленку, С 430

КТР,! град - 76 10

-1 -7

Диэлектрическая проницаемость при 20 С о и частоте 1 кГц 25

Тасгенс угла диэлектрических потерь при о 20 С и частоте 1 кГц О, 1

Формуле изобретения

Стекло, включающее РЬ О, В О, ЕяО, 3

Я1О„,А1 О, отличающееся гем. чго, с целью снижения склонности к криста-.лизации и температуры оплавления, он. дополнительно содержит Cd О, Си О, vVО, МоО, gg О при следующем соотношении компонентов (в вес, %):

РЬО 65-85

B О 8-20

Z 6 0,1-5

Я 1 О О, 1-5

Аl О 012

Се(О О, 1-10