Стекло
Иллюстрации
Реферат
О l II М (ю А гЕ е е Е (ц Яйся
И ОБР 7EH Йя
СОюз Советсиии
Со@мапистммесиии
Республик
I (6I) Дополнительное к авт. свид-ву ! (22) Заявлено 04.03,74 (2j) 2001785/29-33
1 с присоединением заявки №! в (51) М. Кл. С 03С 3/12
2 (1
1
) (53) УДК 666.112 (088,82
Государственный комитет
Соеета Министров СССР по делам изооретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.04.76 Бтоглетень ¹ 13 (4Ь) Дата опубликования описания 3О О4 -;6
У. Я. Седмалис, С, И. Кобзарь, Г. П. Седмале, Р. A. Цимдинь, E. Ю. Кокориш и H. Витола (72) Авторы изобретения (11) Заявитель Рижски пол (54) СТЕКЛО
Х ттО
8 О
Al О
СЫО
О, 1-5
0,1 5
0,1-2
0, 1-10
0,5-5
Р„,, Я
Изобретение относится к легкоплавким химически устойчивым (с высокими диэлектрическими показателями) стеклам, используемым для зашиты поверхности интегральных микросхем.
Известно стекло, включакипее Р Ь О, В O
ZOO, Si O и А1 О . Недостатком известного состава является относительно высокая температура оплавления и повышенная о склонность к кристаллизапии.
Целью изобретения является снижение температуры оплавления и склонности к кристаллизации при сохранении высоких диэлектрических показателей и химической устой- 5 чивости. нит ельне соде;явит 3 О., С.". =:, " ::::...., .МоО
О прн с3тедуыием сост:-Бшении ком- рр
2 5 пои".нтов (B вес. %), иО 0,5-3
ФО 0,5-3
МоО
ИЬ О О, 1-3
Шихта для варки стекла содержит химитеские реактивы марок, и И а (в вес. ч)
РЬО 66,3-85,7; Н ВО 14,2-35,6;
Я@О 0,1-5,1; ЯО 0,1-10,2;, ЯО,, О, -51," А1 О 0121;
Сы O 0,5-=3: Ж О 0,5=5,.1 ., МоС 0,5ЙЬ О О, .1-3, 1.
2 Ф )
Варка стекла производится по обшепринятому способу при 900-i.ÞÎ C без выдег у, " (Стекло .м=-=.ò с г едуюшне характеристики, Ск -;cû-;ос; = к . ;:,рис галл ..ззпнн (выдержка
509548
CcLO 9,8
$1О 2,5
Аl О 05
СиО 1,0
Сы. О
0,5-3
0,5-3
0,5-5
О, 1-3
РЬ О 63,1
НЭВОЭ
Z 1LO 0,2
CdO 9,1
ФО
МоО
МЬО
2 5
Сост ав и те л ь Г,С едмаш
Редактор И.Квачадзе Текред И.Карандашова Корректор Н.Аук
Ф
Подписное за. x//p
Тираж 576
За к аз 5 !9
ППИИШ! Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, l3035, Раушская наб., 4
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
3 порошка стекла с размером зерен менее
60 мк в интервале температур 300-600 С в течение 4 час) не кристаллизуется о
Температура размягчения, С 280-320
Температура оплавления порошка стекла с размером зерен порядка 0,1 мк в пленку, оС 400-450
Коэффициент линейного терми- lO ческого рйсуирения (KTP) в интервале 203ООоС г д 1 .(70-85) 10
Диэлектрическая проницае-„ о
/ мость при 20 С и частоте
1 кГц 20-30
Тангенс угла диэлектрических потерь при 20 С и частоте 1 кГц 0,0 1-0,03
Химическая устойчйвость (потеря веса в % при кипячении зерен стекла с размером частиц 0,3-0,5 мм в дистиллированной воде в течение 1 час) 0,05-0, Э
Пример. Стекло состава (в вес. %):, РЬО 68,0
В О 10,0
ZпО 0,2
МоО 2,5 ! тЬ О 2,5
5 приготовленное из шихты (в вес. %):
$!О 2,4
Л12О 0,5
СцО 1,0
ОЭ
МоО 2,4
Р! Ь О 2,4
2 5
Стекло имеет следующие характеристики:
Склонность к кристаллизации,не кристал-лизуется в интервале температур Э00-600 С
Температура размягчения, оС - 295
:Температура оплавления порошка стекла с
:размером зерен порядка 0,1 о
В пленку, С 430
КТР,! град - 76 10
-1 -7
Диэлектрическая проницаемость при 20 С о и частоте 1 кГц 25
Тасгенс угла диэлектрических потерь при о 20 С и частоте 1 кГц О, 1
Формуле изобретения
Стекло, включающее РЬ О, В О, ЕяО, 3
Я1О„,А1 О, отличающееся гем. чго, с целью снижения склонности к криста-.лизации и температуры оплавления, он. дополнительно содержит Cd О, Си О, vVО, МоО, gg О при следующем соотношении компонентов (в вес, %):
РЬО 65-85
B О 8-20
Z 6 0,1-5
Я 1 О О, 1-5
Аl О 012
Се(О О, 1-10