Микроманипулятор

Микроманипулятор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

({11) 5I) )®

ОП ИСАНКЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено03. 01. 74 {21} 1990533/08

{51) М. Кл. В 25 J 7/00 с присоединением заявки МГосударственный номнтет

Совета Мнннстров СССР по делам нэаоретеннй и открытий (23) Приоритет(43) Опубликовано 25.04.76.Бюллетень ¹ 15 {5З) УД1 621.86.076 ,088.8) (45) Дата опубликования описания

М. П. Шеходанов, H. А. Аристархов, H. А, Холстова, В. Л. Спирин и 3. М. Славинский (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) М ИКРОМ АНИПУЛЯТОР

Предлагаемый микроманипулятор отли чавтся тем, что система передачи переме-. щений выполнена в виде качающегося T-образной стойки, верхняя часть которой шарнирно соединена с. плоской карегкой двумя параллельными тягами равной длины, а поводок связан со средней опорой рычага управления и с плоской кареткой.

На фиг. 1 и 2 показаны осноЬные виды микроманипулятора; на фиг., 3 - вид по стрелке А на фиг. 1. 25

Изобретение касается производства полупроводниковых приборов, и может быть использовано в прецизионном оборудовании для совмещения рисунка кристалла с базовым шаблоном при точной монтаже кристал - 5

ADB в корпусе интегральных схем.

Известен микроманипулятор, содержащий двухк оординатный стол, пере мешаюшийся от рукоятки с рычагом управления, причем ры1б чаг управления имеет в средней части плавающую опору. Однако известный микрс манипулятор не обеспечивает быстрые координатные пеоемешения.

Микроманипулятор содержит плиту 1, рычаг 2 управления с неподвижной опорой3, двухкоординатный стол, выполненный в виде, плоской каретки 4, перемещающийся на шариковых опорах 5 относительно:неподвижной плиты 6, а также предметный стол 7.

Каретка установлена на трех шариковых опорах на стойках 8, сверху поджата пружинами 9 через толкатели 10 и шарики 11.

Каретка манипулятора соединена с качающейся в центрах стойках 12 двумя тягами

13 равной длины. Соединение тяг с кареткой и качающейся стойкой выполнено на шарнирных подшипниках. Йля устранения люфтов в шарнирных подшипниках тяги соединены между собой пружиной 14.

Микроманипулятор работает следующим образом, При перемещении рукоятки 15 по фиксирующей плите 16 рычан 2 качается относительно неподвижной опоры 3, установленной на шарнирном подшипнике, и перемещает каретку через поводок 17. Соединение поводка с кареткой и рычагом выполнено на центрах 18. Передаточное чис— ло определяется отношением длин плеч - .

Г)) 1 1(1() 17

Рукоятка l5 (10cne сов((е)це((ия фиксипуется вакуу)о)(, попавае()(-1((в и:)лостт, Б плиT):I 16 I(те((са. (1.)(1 фиксирует каретку микро),(анииу((ятора.

Ф ор) 1(у ла из обре те н ия

Мнкро((анивулято!) содеf)1(lаi(I)((двукк00р»динатнь()»(сто)1, в):(полнен)п-.)11 в виде плоской каретки, рукоятку с р).(гаго»(угI!JQ()()0í (ÿ н (Q си . (I,(у и (и дачи пе!)0((Р(пе()((I()(!)ук .)я 1 к ) к двухк() .)рди((а) но((у ст )(1) . i )) j(i )11)уv)

И()() ЩК ) I, 0 t Л И Ч а )0 Ill И I! 1 и т))(( IT .). С ЦЕ(ГЬЮ 0()С. 1-.)1С"1 :.1(ИЯ 1)ЫС i (>,), () i(i 1 (11(Я

),(ик!)0)(а)(ипуля (0!)Q, c(ic T()(а пе!к:дачи пе-. !

)0),IijIIIã. .)(ÈÉ ()(-.I П) Лl)r Иа В В(IДЕ . аЧЗ)()))(ЕЙСЯ ! -l)()!)а ")НО(1 СТ0)()(I)r ()i)() "()(и((ЧаСТ): К0ТО()0()

)IJQ())(()(r)r ) с 0))))11))ен)) Г п1(осv ",l() каретке(1 дР() (я )(ар)()ие(11,1((.п,(и (лг((к(и, а поводок с((яааl(с0 c;")ел(ней 0TI )Рой Р) 0(QI Q Yl(f)RFrtQ((I((), (.с>ставитесь B.Жигалов

1>.Каратс1>аи ооо % . Доброгнм ьс к с> тл Ге Рею Корректир гт

Т >> 1.> в >к амид. 1

l Inn>>»c»,»

Заквч »;>; 1>с>>си;> с I11>I I " 1»тс сст", r. У»сгцс>с>д, vl>>, l11>ог кс сс:>ц, ! lIIÒIII1113 Гс>съ »ярвтвеииого комитета Согетв Минястрс>в с. Л,1> пи делам ссаос>ретесссссс и открьстсс>с

M!>r>;»g, 11., 1(Ц5, ау>с><касс ссат>, 4