Устройство для травления автоэмиттеров

Устройство для травления автоэмиттеров

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

IIц 5I25O5

Союз Советских

Соннелнстнческнх

Ресоублнк

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.04.74 (21) 2019420/26-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 30.04.76. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 02.06.76 (51) 1Ч. Кл. - Н 01J 9 02

Н 01J 1/30

Государственный комнтет

Совета Мнннстров СССР по делам изобретений н отнрытнй (53) УДК 621.385.212 (088.8) (72) Авторы изобретения

Д. M. Паутов и А. В. Кочерыженков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АВТОЭМИТТЕРОВ

Изобретение относится к технологии изготовления автоэмиттеров. Такие эмиттеры, выполненные в виде иголки из тугоплавкого металла, радиус закругления вершины которой составляет доли микрона, используются в автоэлектронных и автоионных проекторах при исследовании различных физических процессов на поверхности твердых тел, а также использую-. ся в качестве катодов некоторых электровакуумных приборов.

Известны устройства для травления автоэмиттеров, содержащие первый электрод с отверстием для помещения в него электролита и заготовки а .тоэмиттера, служащей вторым электродом.

В процессе работы устройства происходит перетравливание заготовки в том месте, где она находится в травящей капле электролита, до тех пор, пока не происходит отделения нижней ее части, которая падает в электролитическую ванну. Верхняя часть заготовки представляет собой автоэмиттер. В момент отделения нижней части заготовки цепь тока размыкается и процесс травления прекращается.

Недостатком такого устройства является то, что длина конусной части, которая является важнейшим параметром игольчатого эмиттера, получается большой. Это является результатом того, что травление происходит во всей массе капли электролита, с наибольшим псpeTpBB,1èÂÿн1гем В цс11 pc капли, где и происходит разделение заготовки на две части. Чем тоньше капля, тем короче конусная часть и, следовательно, лучше параметры будущсго автоэмиттера. Уменьшснис травящей капли может привсстп к преждевременному прекращению гроцесса травле:1;1я из-за испарения электролита и браку изделия. Наилучшие параметры "-:,IIITTåðà б,дут получены, если травление

10 Вести B танко: и: енкс электролита. Однако нзr0cTl.0å, стройстзо д,.я этого нс пригодно.

Кр0 1с того, В таком l cTpOIIcTII полу 1 аpTcH плох:.я зоспроизводимость формы острия (т. е.

В коне Iiloibl сче-,е Boc ° IpOèçÂoäèìOÑTü парамст15 рОВ эм ттера при ссpiiiiiioм пр011з1годс зе), так !

Оак нсВОЗ Можно Создавать КВПЛ11 Элс1 ТРО,1ИТа одинаковой ьел I «III I с достаточной то1ностью при каждом новом травлении и поддерживать требуемое количество электролита, так как Ilo20 следний расходуется в процессе травления.

Целью изобретения является уменьшение толщины травящей пленки, а также на основе регулирования толщи11ы пленки получение возможности управления процессом травления

25 для улучшения воспроизводимости изготовления автоэмиттеров.

Поставленная цель достигается выполнением первого электрода в виде параллельных пластин, между которыми имеется зазор для

30 заливки электролита. Каждая пластина имеет

512505

Формула изобретения

Составитель Г. Кудинцева

Техред Е. Подурушина

Корректор М. Малкина

Редактор Н. Коляда

Заказ 1215, 10 Изд. № 1280 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2 отверстие; отверстия идентичны, центры их расположены на одной вертикальной оси.

На чертеже схематически показано предлагаемое устройство.

Оно имеет первый электрод, выполненный в виде двух пластин 1 с отверстиями, источник тока 2, электролитическую ванну 3 с электродом 4, подсоединенным к указанному источнику тока. Пластины 1 электрода имеют между собой зазор, в который заливают электролит, предназначенный для перетравливания заготовки автоэмиттера. В электролитическую ванну 3 заливают электропроводящую жидкость 5. Заготовку автоэмиттера 6 вставляют в отверстия пластин 1, верхний конец ее закрепляют в устройство (на чертеже не показан), а нижний находится в электропроводящей жидкости 5, Зазор между пластинами регулируется в зависимости от толщины травящей пленки, которую нужно получить. Для регулировки зазора между пластинами могут быть предусмотрены средства, содержащие, например, элементы с микрометрической резьбой. При данной величине отверстий в пластинах зазор между ними может быть отрегулирован на минимально возможную толщину травящей пленки. Этот зазор может составлять величину порядка десятых миллиметра.

Пленка электролита получается стабильной, разрыв ее исключен, так как электролита между пластинами достаточно для компенсации

его расхода в процессе травления, при этом при заливке электролита не требуется точность, необходимая в известном устройстве, 5 ибо толщина пленки зависит только от диаметра отверстий пластин и расстояния между последними.

Таким образом, в предлагаемом устройстве толщина травящей пленки не зависит от коли10 чества введенного электролита, а может регулироваться в процессе работы путем изменения зазора между пластинами электрода и, следовательно, так как длина конуса игольчатого автоэмиттера прямо связана с толщиной

Г5 травящей пленки, появляется возможность управлять процессом изготовления автоэмиттером.

Устройство для травления автоэмиттеров, содержащее первый электрод с отверстием для помещения в него электролита и заготовки автоэмиттера, служащей вторым электродом, 25 отл ич а ющееся тем, что, с целью уменьшения толщины пленки и повышения воспроизводимости процесса травления, первый электрод выполнен в виде двух параллельных пластин с соосными отверстиями, между которыми

33 имеется зазор для заливки электролита.