Зондовое устройство

Зондовое устройство

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Я445т

Союз Советских

Социалистических

Ресоублик

N АВТОРСКОМУ СВЙДИТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.04.74 (21) 2011271/21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.76. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 22.06.76 (51) М Кл г Н 05К 1/04

G 01R 1/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.317.752 (088.8) (72) Авторы изобретения

E. Е. Онегин, А. И. Епифанов, В. Ф. Масленков, К. С. Шуклин и А. В, Ярош (71) Заявитель (54) ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО

Формула изобретения

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в устройствах для контроля интегральных схем.

Известны зондовые устройства, преимущественно, для контроля интегральных схем, содержащие диэлектрическое основание с закрепленными в нем капиллярными трубками, в каждой из которых размещен упругий стержневой зонд.

Однако эти устройства не позволя!от осуществить надежный контроль многокристальных интегральных схем с гp ïïo 3ûì p2cllo.70жением контактных площадок, расстояние между которыми составляет до 0,4 мм.

С целью повышения надежности контактирования в предлагаемом зондовом устройстве на цилиндрической поверхности каждой кяпиллярной трубки выполнен паз, а часть зонда, размещенная в пазу, выполнена плоской, причем пазы смещены в радиальном направлении один относительно другого.

На чертеже изображено предлагаемое зондовое устройство.

Устройство содержит диэлектрическое основание 1 с закрепленными в нем капиллярными трубками 2, в каждой из которых размещен стержневой зонд 3. На цилиндрической поверхности капиллярной трубки в средней части расположен паз 4, а часть зонда 3, размещенная в пазу 4, выполнена плоской. Пазы 4 смещены в радиальном направлении один относительно другol о.

Работает зондовое устройство следующим образом.

При контактирован;!и с интегральной схемой нижняя часть зонда 3 перемсщастся

BQO.7b OCH IIQIIH,7лярНОй тр I71IH 2, CpC+IIIIH IICIOCкяя часть зонда 3 Ilзгиояется и с,7ужит пружиной, прижнмающей нижнюю часть зонда к

10 контролируемой интегральной схеме.

При контактированпи плоскость перемещен!:я зонда 3 в момент изп1ба всегда перпендикулярна плоскости его средней части, что исключает произвольное положение зонда в про15 цессе работы и их замыкание при малом расстоянии межд . зондами.

20 Зондовое устройство, преимущественно для контроля интегральных схем, содержащее диэлектрическое основание с закрепленными в нем кяппллярными трубками, в каждой из которых размещен упругий стержневой зонд, 25 о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности контактирования, на цилиндрической поверхности каждон кяппг!лярной трубки выполнен пяз, а часть зонда, размещенная в пазу, выполнена плоской, причем

30 пазы смещены в радиальном направлении один относительно другого.

514457 и з

Составитель Н. Блинкова

Техред T. Курилко

Корректор T. Гревцова

Редактор Т. Янова

Заказ 1359/6 Изд. № 1375 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раугпская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе изобретения: авторское свидетельство № 481546 по кл. Н05К 13/00, заявленное 4.9.1972 г.