Микрозондовое устройство
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н И Е rii)5!4459
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ е1О До, <» «анg
0оциайвотанесанх
Рспп::блнк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.12.73 (21) 1977446/21 (51) М. Кл. - Н 05К 13108
Н ОоК 170Г с присоединением заявки ¹
foсударстеенне1й квинтет
Совета Министров СССР по делам изобретен. и и откргнтий (23) Приоритет
Опубликовано 15.05.76. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 22.06.76 (53) УДК 621.396.6-181.48 (088.8) (54) МИКРОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в устройствах контроля на предприятиях, изготавливающих гибридные пленочные микросхемы.
Известны микрозондовые устройства, содержащие закрепленное B корпусе диэлектрическое основание, выполненное в виде эластичной мембраны, на которой закреплены контактные элементы.
Однако эти устройства не обсспсчива1от надежного контактирования из-за недостаточно пружинящих контактных элементов.
С целью повышения надежности контактирования в предлагаемом устройстве каждый контактный элемент выполнен в виде разме1ценного в отверстии мембраны Г-образного отрезка проволоки, один конец которого закреплен в корпусе, а другой, расположенный на поверхности мембраны,— на ее внутренней стороне.
На фиг. 1 показано предлагаемое устройство в разрезе; на фиг. 2 — вид по стр лке А на фиг. 1; на фиг. 3 — поперечный разрез мембраны с контактными элементами; на фиг. 4— устройство в рабочем положении.
Микрозондовое устройство содержит корпус 1, на котором при помощи кольца 2 закреплена эластичная мембрана 3 из диэлектрической, например майларовой, пленки или мелкоячеистой ткани. Мембрана 3 имеет группу отверстий 4, диаметр которых равен
0,08 мм, топологическп соответствующих расположению контактов проверяемой микросхемы.
В отверстиях 4 находятся расположенные в плоскости мембраны 3 Г-образные отрезки проволоки элемента 5, одни концы которых
1Q закреплеHû на внутренней стороне мембраны при помощи приклеек 6. а другие проходят через отверстия 7 в мембране 3, далее через отвсрстия 8 B QII3;lel TplrческоЙ IITi л1 .е 9 li rlpllпалны к находящимся на ней контактным ле15 песткам 10
Собранными в жгут 11 монтажными проводами 12 лепестки 10 соединены с измерительной аппаратурой.
В механическом контаl .тс с мемор апой 3 IIH20 ходится состоящий из мягкой резины прижим
13, над которым расположены прижимная планка 14, шарик 15 и винт 16.
Корпус 1 закреплен в подъемном механизме 17 любой стойки 18 извсстного зондового
25 устройства, например, типов «ЭМ-617», «ЭМ-624» и т. д., содержащего регхлировочный столик 19 для закрепления и перемещения микросхемы, микроскоп 20 и дополнительно снабженного полупрозрачным зеркаЗО лом 21.
514459
74 мд А
9 иг. 2
Микрозондовое устройство работает следующим образом.
При помощи подъемного механизма 17 корпус 1 микрозондового устройства поднимают в положение, показанное на чертеже. Микросхему закрепляют на столике 19 и, перемещая последний, достигают совмещения наблюдаемых в микроскоп 20 через полупрозрачное зеркало 21 изображений контактов микросхем и контактных элементов 5 в областях их выхода из отверстий 4. Корпус 1 микрозондового устройства опускают, при этом контактные элементы 5 в области отверстий 4 контактируют с контактами микросхемы.
Имеющийся разброс IIQ высоте контактов микросхемы, достигающей +0,030 мм, компенсируется локальными изгибами контактных элементов 5 мембраны 3 и деформациями прижима 13.
Формула изобретения
Микрозондовое устройство, содержащее закрепленное в корпусе диэлектрическое основание, выполненное в виде эластичной мембра ны, на которой закреплены контактные
10 элементы, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности контактирования, каждый контактный элемент выполнен в виде размещенного в отверстии мембраны Г-образного отрезка проволоки, один конец которого
15 закреплен в корпусе, а другой, расположенный на поверхности мембраны,— на ее внутренней стороне.
514459
3azsI
У?
Составитель Н. Блинкова
Техред T. Курилко
Корректор Т, Гревцова
Редактор Т. Янова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1359/7 Изд. ¹ 1375 Тираж 1029 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Ра шская наб., д. 4/5