Способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента

Способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(II) 5!6002

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Colo Соаетсиих

Социалиатических

Реапублик (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 31.12.71 (21) 1731954/26-9 (51) М. Кл. С 01k 29/22

Н ОЗН 3/02 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 30.05.76. Бюллетень М 20

Дата опубликования описания 21.06.76

Гааударотванный комитат

Оооаи ГАнннстров GCP

ll0 далем изобретений и отарытий (53) УДК 621.372.54 (088.8) (72) Авторы изобретеш1я

А. Г. Гаврилов, В. Н. Банков, В. И. Бирюков и И. М. Федотов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ АМПЛИТУДЫ КОЛЕБАНИЙ

ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТА

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при разработке пьсзоэлектричсских устройств.

Известны спосооы исследования картины колебаний пьезоэлементов с помощью зондирования поверхности пьезоэлемента электронным лучом (1 — 3J. Г1ри этом по характеру отражения от колеблющейся поверхности можно косвенно судить об амплитуде колебаний пьезоэлемента. Эти способы не позволяют непосредственно измерять амплитуду колебаний.

Известен способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента, основанный на фотографировании колеблющегося пьезоэлемента в проходящих лучах света и измерении на фотографии проекции смещений интересующих точек пьезоэлеMåíòа (4).

Однако этот способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента обладает недостаточно высокой разрешающей способностью— малой точностью измерения амплитуды колебаний.

Цель изобретения — повышение точности измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу до фотографирования пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальной плоскости об.ьективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересу1ощпй

) часток пьезоэ.lсмснта, зятем прОекти1) 10т на фотопластинку теневое изображение этого участка с увеличением заданной кратности.

Практическая реализация способа обусловлена возможностью получения теневого электронного рисунка непрозрачного тела, помещенного в вакуумный канал электронного микроскопа. Возбужденный пьезоэлемент, совершая колебания, дает на фотопластинке четкую тень от колеблющихся границ, величшта которой соответствует амплитуде колебаний данного участка пьезоэлемента с учетом увсличени» заданной кратности.

15 Фотографирование в электронных лучах электрОнвого мик1)оскоп;1 Н031>0..1»cò дост11 1ь больших кратностей увеличения. Точность намерения амплитуды колебаний т ll;Hil сНособом на несколько порядков превышает точ20 ность измерений В проходящих 1х чах свет<1.

Современные электронныс микроскопы позволяют располагать в вакуумно;I канале пьсзоэлсменты сравнительно больших размеров 11 осуществлять токос ьем с электродов пьезо25 элемента при помощи встроенных в вакуумный канал электрических контактов.

Формула изобретения

Способ измерения амплитуды колебаш1н

30 пьезоэлемента, прп котором фотограф &руют

516002

Составитель И. Черняк

Техред М. Семенов редактор E. Караулова

Корректор Е. Хмелева

Заказ 1324/18 Изд. ¹ 1374 Тираж 1029 Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1!3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 колеблющийся пьезоэлемент и измеряют на фотографии проекцию смещений интересующих точек пьезоэлемента, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения амплитуды колебаний, до фотографирования пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальной плоскости объективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересующий участок пьезоэлемента, затем проектируют на фотопластинку теневое изображение этого участка с увеличением заданной кратности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

5 l. Лвт. св. № 243937, Н 42К 45/01, 1966.

2. Лвт. сь. № 356753, Н 03Н 3/02, 1970.

3. Лвт. св. № 361510, Н ОЗН 3/04, 1970.

4. Л. Г. Смагин, М. И. Ярославский. Пьезоэлектричество кварца и кварцевые резонато10 ры, М,, «Энергия», 1970, стр. 288.