Глазурь
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И С А Н И Е ()б1вввв
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 11.03 74 (21) 2003552/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано05.06.76.Бюллетень № 21 (45) Дата опубликования описания17.05.77 (51) М. Кл.
С 03 С 5/00
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) V@K 666.2g5 (088. 8) Н. Д. Урсуляк, Н. Е. Деркач, A. В. Белицкий и М. А. Овчинников (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ГЛАЗУРЬ
Изобретение относится к составам глазурей для покрытия изделий из иттрий-железистого граната, в частности для покрытия подложек микросхем.
Известны глазури для покрытия деталей из керамики, содержащие S i 0„, Sa 0, Ü О эо(0 ., Еп 0 . Однако, эни не обеспечивают высокое качество поверхности покрытий и увеличение механической прочности деталей из иттрий-железистого граната, например подложек микросхем.
Целью изобретения является получение покрытий на иттрий-железистом гранате и повышение механической прочности последнего.
Она достигается тем, что глазурь дополнительно содержит Ч 0 при следующем соотношении компонентов, вес.%:
Si0 35 40,5 ВаО 40-45 В О 8-12
СаО 3-5 Е и О 4-6. V 05 1-3.
Подложки микросхем из иттрий-железистого граната покрытые описываемой глазурью толщиной в 30-80 мкм сохраняют высокое качество поверхности и имеют механическую прочность (1з =2400— иаг
2 — 2600 кг/см ) более, чем на 50% выше по сравнению с неглазурованным изделием из иттрий-железистого граната.
Барку глазури производят в газопламен5 ной печи в тиглях из двуокиси циркония при температуре 1550 « 20 С. о
Изобретение поясняется кэнкретным составом глазури, содержащим (в вес.%):
8i0< -38,6> ВаО- 41,4: В О. -9,6
10 СаО -3,8) Еп0-5,11V О -1,5.
Глазурь наносят на поверхность деталей, например, шлифованных подложек из иттрийжелезистого граната в виде водной суспензии порошка известными способами (окунаlо нием, пульверизацией, намазкой и др.) и оплавляют в окислительнэй среде при темо пературе 1000 + 10 С. Скорость подъема температуры равномерная, нэ не менее о * * э
50 С/час при температурах выше 800 С. О Выдержка при максимальной температуре не более 10 мин. Охлаждение идет со скоо ростью 50-100 С/час. Для обеспечения
13-14-го классов чистоты поверхности и высокой плоскопараллельности детали (подложки) полируют. Температура размягчения
516656
Составитель С Белобокова
Редактор И. Квачадзе Техред М. Ликович Корректор . Власенко
Заказ 737/139 Тираж 576 Подписное цНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 з о глазури 750 С, микротвердость 800 кг/мм
КТР при комнатной температуре 7 10град механическая прочность подложек не менее
2500 кг/см .
Формула из обретения
Глазурь, включающая % О,Ва О, о Оз СаО
Ел О,отличающаяся тем, что, с целью получения покрытий на иттрий-железистом гранате и повышения механической прочности последнего она дополнительно содержит V>0> при следуюшем соотношении компонентов, вес. и @ g -35-40, 5.
Ва0 40-45 В 0 8-12„СаО 3-5
Еп04 6; Ч О 1-3.