Устройство для укладки и выдачи ориентированных кристаллов в производстве полупроводниковых приборов

Устройство для укладки и выдачи ориентированных кристаллов в производстве полупроводниковых приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СЬИДЕТЕЛЬСТЬУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлеио20.04,72 (21) 1776183/26 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05.06.76.Бюллетень № 21 (45) Дата опубликования описания 25.06.77

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 51 7087 (51) М. Кл.е

Н 01 Ь 23/00

301 У 17/00

Государственный комитет

Совета Мнннстроа СССР

llD делам нэооретеннй и открытнй (53) УДК 621.315.

592 (088 8) (72) Автор изобретения

IO. И. Шукин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УКЛАДКИ И ВЫДАЧИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ

КРИСТАЛЛОВ В ПРОИЗВОДСТВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к производству полупроводниковых и электровакуумных приборов и может быть использовано в установках для укладки кристаллов на держатель корпуса. 5

Известно устройство для укладки и выдачи ориентированных кристаллов, включающее корпус, съемную кассету с ячейками под кристаллы, установленную на вертикальном валу, привод шагового перемешения и тор- 10 мозные колодки.

Недостатками такого устройства являются выпадение кристаллов из ячеек и нарушение их ориентации, а также недостаточная емкость кассеты, что приводит к частым ос-И тановкам для замены кассеты и тем самым к снижению производительности труда.

С целью предохранения кристаллов от выпадения и нарушения их ориентации кассета предлагаемого устройства снабжена крышкой 20 с отверстием для загрузки и выгрузки кристаллов, установленной подвижно относительно кассеты и фиксируемой закрепленными на корпусе упорами, входящими в пазы крышки, выполненные в ее боковой стенке. 25

С целью увеличения производительности устройства в кассете ячейки под кристаллы могут быть выполнены по концентрическим окружностям.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, вид спереди, поперечный разрез; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3— разрез по А-А на фиг. 2.

Устройство включает съемную кассету 1, выполненную в виде диска с ячейками под кристаллы и установленную на вертикальном валу 2 с поводком 3, крановое колесо 4, неподвижно закрепленное на другом конце этого вала и предназначенное для шагового перемещения кассеты. Вертикальный вал установлен во втулках корлуса 5. На кассете подвижно относительно нее установленакрышка 6 с отверстием для загрузки и выгрузки кристаллов, которая предохраняет кристаллы от выпадения и нарушения их ориентации. В боковой стенке крышки выполнены пазы для фиксации ее относительно кассеты с помощью штифта 7, который закреплен в кассете, и относительно корпуса устройства с помощью упоров 8, закрепленных на корпусе посредст517087

aoIi In 15-тнKa 9. Упооь. 8 поедназначены для создания зазорQ ..-.аж;,5 крышкой б и кассетой и предотврящя1от поворот крышки при шяг=ьол1 перемеше}1ии кассеты. -. =- :-— дил", и вязop между коышкой 11 ха -, б <: . енее толщины кристалла) ус-.анавливя-от л- емещением хомутика на корпусе.

11ля установки упоре: 8 ь Одной плоскостИ СЛужат рЕГулироВОЧН-:e I:pÎKËàäÊ}i О, а дЛя ПЕрЕдаЧИ ШЯ..-ОВОГО ПО1}ЕМЕщЕНИя Хр ПОВО- 10 му колесу — собачка 11, поджатая пружиной 12 к зубьям этого колеса и закрепленная на поворачивающемся под действием пружины 13 относительно корпуса устройства рычаге 14. Пов рот рычага осушествля- 16

I ется От „;:}ячкоього приводя;н Ь,,игурях не показа-:5 и Ограничивается Оегулируемым упоро л:. Л.

Н1 ьеатикяльном валу установлены гор-!

Г р мозные ко. едки 16 для предотвращения гроска п-.зь ьяния кассеты. Кристялль1 - 7 Ояз— мешены ь ячейках кяссеть:, выполнен}IL:K по концентрическим Окружностям.

Устройство работает следу}ошим образам.

Операция укладки кристаллов.

Кассету с пустыми ячейкали, с Надетой и зя ик созванной, например, с помощью штифта крыл"кг" у танявливают ня вертикя11ьный ва.! с иове. ком, при этом упогы 8 заходят в б ло; .:Ie.: язы крышки и 5дер}кивают

ЕЕ От даЧьней..}Е1О ПЕрсмЕщЕння внИЗ вМЕСтЕ с 11яссето1 .,: .-.с.:адняя Опускяе.;.-я ниже и у}."иргется в: . 1 !. е и вяля. Штифт ьь1ходит из

П ЯЗ и КРЫШКИ,,11 .и Ь,.3 ЕДО ХРЯН ЕНИЯ VK JI r:gbIB cl e—

35 л11-,:, кристялло;.: От выпадения из ячеек и няОуш ния их .}рис .тгци}1 зазор межчу крышкой и касс етой долже11 }ь!ть уст янОВлен менее тол,лины кристалла. (;Дистялл, сод}}ентппова}}ны111 ня поедмет46 нем столике K,L: д I}IKB> захваты= иется вяку— умной присоск Й:1 укладывается в ячейку кассеты (сто.II!K ." :.ëi}÷èêà 11 вакуумная присос1 я HB фиг> егх i!e Iic кязячы,.

После уклядк, кристалла рь1 яг 3 4 с ПОЯ мощью кулачка приводя (на фигурах не пскязан) поворачивается, собачка ьь:ходит из зацепления с зубом хряпоього когеся, згпадает

=.я последующий зуб и под дейстьием пружины 13 поворачивает хоаповое к-.:,-.есо на шгг до соприкосновения рь:чагя 14 с упором 15.

При этом вместе с храповым колесом поьо— рачивается ьертикальнь1й ьал, который поводком поворачивает ня шяг кассету, я упоры 8, неподвижно зякрепленнь е на корпусе и входя—

Я щие в боковые пязь1 крышки, удерживают ее

От поворота вместа с кассетой % "îõðàíÿют зазор между кассетой и крышкой посте:;иным. Отверстие ь кассете для загрузки и выгрузки;.-i}и}сcтяллов остается непсдьижн:-,-, i

6 5 относительно позиции загрузки кристалллов вакуумной присоской.

После заполнения всех ячеек кассеты кристаллами она снимается с вертикального агля ь. .Осте с крышкой, при этом от прикладываемого усилия крышка перемещается относительно кассеты, Выбирается зазор, крышка соприкасается с кристаллал}и, выравнивает и фиксирует их в ячейках.

Кассета с зафиксированными -:рьш кой кристаллами переноси}ся 11 монтчруе ся на установке для присоединения крчстяллов к держателю корпуса.

Операция присоединения кристаллов.

Работа устройства ча установке для присоединения кристаллов аналог}}чна работе укладчика кристаллов, разница лишь в том, что при ус-.àíoâêå заполненной кассеты на вертикяльлый вял с поводком упоры 8 заходя-, ь боковые пазы крышки и удержива-ют ее от дальнейшег черемэщения Вниз

:-месте с кассетой, а пос.-.едняя опускается

ЛО .пооя Во фланец вала, при этом кристгл.и. Освобождаются и между ними и крышкой образуется зазор.

Вакуумная присоска (на фигурах не пока" заня) захватывает кристалл из касс -:-;. гереносит er!I и присоединяет " -,ержятел О корпуса. Зятем кассета позор >чиь- а:.с . на

Uiar }1 ".Io ae I следующий крис цию выгрузки.

Устройство Обесчеч}}вгет ..: кное ;ре,дохранение кристаллов от ьы:.:;-,":11 я и нарушения их ориентации.

Фор1лула изобретения

1 . с . Ройство для ук}»адки }I выдачи сриентировянных кристаллов в иро»:зьодс}ве IIoЛУП}}ОВОДНИКОВЬ".Х IimgO}3Ì, ЬКЛЮН ЯЮЩЕЕ KOP-!

5c. съелгную кассету, с ячейкам. . под крисТЯЛЛЫ, уСТЯНОВЛЕННуIО НЯ ЬЕрТ11кг11ЬНОМ Валу привод шагового II- ðåмещения и тормозные колодки, О тли яюшаe" я ",ем. что, с целью прецОхрячения кристгл чоь От ьыпадеки и няруше}}ия их Ооиентяци:,=, кассета снабжена крышкой с отверс-1;:е;л для загр зкн и въ:г;узки коистяллов, установленной подвижно Относительно кяссеть1 и фиксируемой:1акоепльч:ными ня корпусе упорами,входящими в пазы крышки, ьь}нолненные в ее боковой стенке.

2. Уст ОЙГтьо Iin и. 1, с т л и -. =. ю ц е е;-. я;ем, что, с»e;! io увеличения про,.зводительности, .в кассет. ячейки ьод кристялль1 выполне:.ы по концентр ческим

О1",: ужностям., 517087

А-А

Составитель В. Безбородова

Редактор 3. Горбунова Техред М. Левицкая Корректор A. Власенко

Заказ 952/166 Тираж 977 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4