Интерферометр для контроля формы плоских полированных поверхностей

Интерферометр для контроля формы плоских полированных поверхностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ВОЕСОЮВНав!

О Л -Ф"А " М"И Е

И ЗОБРЕТЕ И КЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик () 518622 (б!) Дополнительное к авт, свил-ву (22) Заявлено 22.01.74 (27) 198<3330>.7 6.Б Оллетен<, М 23 (15) Лата опубликования ОиисанияО>.07.7Е>

2 (5!). NJ. Кл.

С> 01 D 1 1/24

Государственный комитет

Саввтв Мнинстров СССР по делам изобретений и открытии (53) УДК

531.7 15.1 (088.8) В, Г. Зубаков и Ж. Е1. Манукчн (72) Авторы изобретения (1»п11нгр<1дски!1 институт то I!Jo! м< хг<>п<ки и оптики (J 7) Заявитель (. 4) 7!7! Г-Е Ф7- f Ох!7.TI гЕ<7Я К!17! Г7>Юг!Я ФОЕ>м7>! 77„1<х.;7,IIX

7IOi! 7Е»т гВА7IIIЬ7X I !OB<;7> 7ltX" Т! .Й

Изобретение относится к 1!гзх<еритег<ьной технике, предназначен<з для контроля J!!Inc костности оптических деталей и может найТИ ПРИК!ЕНЕНИЕ ПРИ 1<ЗГОТОВЛ»1!ИИ В! IСОКОТОЧ ных плоских поверхностей деталей.

Известен интерферометр для контроля форJ,J ПЛОС К ИХ JIOJI ttf >OBQ! Jlt!.! Х ПОПЕ Е>ХИОС ТЕ й, C 0 держаший точечный источ1!1<к света, сферическое зеркало, плоское .зеркало, блок анализа изображения точечного источника света (11.

Наиболее бпизким к данному изобретению являе тся интерферометр для контроля формы плоских поверхностей, содержа!дий источник света, конденсор, диа<7езагму, плоские зеркала, вогнутое зеркало, клиновидную эталонную пластину, гинзовую двухкомпонентную наблюдательную систему (2). В этом интерферометре используются зеркала малых размеров, выполненные B виде призмы, которая наклеивается на клиновидную эта лонную пластину, что усложняет настройку прибора, кроме тото, известный интерферометр не обеспечивает достаточной точности измерений.

Е10111 < изоб! г tr!03131>!<и J(lJ» тО ll!0»т11 к01!ггГ>ог1Я.

Для этот с предлаг аем1 и нит< рф<.ром»тр

01<абжен понско<зой с!<сто<ой, J!Jt<1nii>t»u!Ioff

5 в виде. сферического 1101>ка><а, расно.<ожепного между вогнутым зеркалом и наблюдательлОй с:исто;„<Ой тлк> чтО ОГО B»1>« .нис-".. д!!афрагмьt а между,п 1<зо-! О B bit.>и компонента к<11 1<?????? ??>да тел ь!10 Й с ис т<.— tI>I I!<>M0н1ены дв» Г<71измь<,Цозь>> 1 ак ч10

> их гггав<ты» сечения и отражак><пг<е гра1<и перпендикулярны друг другу, а оси базирования паГ>аллельгп< друг друг.у и 0J!Ttt"tc ской !

5 оси сист,.мъ1.

На фпг. 1 представлена сх»ма предлагаемого интерферометра; на фиг. 2 — н<16людательная система.

Интерферометр содержит источник 1 св<20 ????, ?????????????????????????? ???? ???????? ???????? ?????????????????? ???? ?????? ?? ???????? 2, 3, ????????????????????7?? 4, ??11????7!,>1му 5, плоское зеркало 6, вогнут,. з< рк»по 7 (внеосевой параб>олоид), клJJ!;0!! JIJJJ> л эталонную пластину 8, сферичеС:кое з»рк«25 ло 9, двухкомпонентную набг<юдатеш гг >:

518622 систему 10, матовое стекло 11, две призмы 12, 13 Йове в лулу 14;

Нить источника 1 света проецируют двух 1 комлонентным конденсором, 2, 3 в плоскость диафрагмы 5 с увеличением пять".

В параллельном пучке устанавливают светофильтр 4, свет от диафрагмы 5, находящейся в фокальной плоскости внеосевого параболлоида 7, попадает на плоское зеркало

6, внеосевой параболлоид 7 и далее парал лельным пучком падает на клиновидщю эталонную пластину 8, нижняя поверхность которой является образцовой. Интерференционные пучки (от образцовой поверхности плас тины 8 и контролируемой поверхности детали 15) возвращаются назад на.параболлоид

7 и, вследствие небольшого смешения вход» ной диафрагмы 5 с оптической оси парабол/ лоида (смещаются прибли;.нтельно на 30 несколько в сторо. у) попадая на центральную ю часть сф рического зеркала 9, образуют на ! его поверхности изображение 5 диафрагмы 5, которое снова наблюдательной системой 10. переносится в следуюшую плоскость, давая изображение 5. Вблизи этой плоскости наи ходится глаз наблюдателя.

Сферическая отражающая поверхность зеркала О выполняет роль оптического элемены (коллектива), пригибающего. все отражаю:.:.ис :я от него наклонные лучи к оптической . Ac . . Это намного «-прощает и ускоряет поиск автоколлимационного блика от контролируе,". =:и поверхности детали 15 при настройке прибора. В отличие от известного интерферометра f21 наклон детали 15 даже. на угол в несколько градусов не вносит ника ких ".aòðóäíåíèé в поиск блика и его выведение иа ось. Если же перед выходным зрачком 5 системы поставить матовое стекло 11 с отверстием посередине (как у автоколпимационной трубки Забелина), то начальное положение контролируемой поверхности может быть произвольным, т.к. на матовом стек.-е всегда будет виден блик, указываю» ший направление и величину угла рассогпасль, *,Hÿ сравниваемых поверхностей;

На фиг. 1 показан ход лучей при произвольной установке контролируемой детали.

Г1ри указанном paccorna..oâaíèè (непараллельности) эталонной пластины 8 и контро ф лируемой детали 15, блик 5"находится в стороне от оси и виден на матовом стекле

11.

Наклоняя юстировочными винтами столика контролируемую деталь 15„выводят

It 1 блик 5 на.оптическую. ось 00. Это положение обеспечивает согласование поверхностей эталонной пластины 8 и детали 15, t .е. появляется интерференционная картина первых порядков, которая и оценивается оператором. С целью повышения точности измерения между компонентами проекционной системы 10 помещены две призмы Qoве, делящие попе зрения на две половины.

При установке этях призм в положение, ко да их главные сечения и отражающие грани перпендикулярны друг другу, а визирные оси параллельны друг другу и оптической оси системы, наблюдается наложение друг на друга обоих частей ноля зрения. Это дает возможность удвоить значение прогиба полос.

Ф о р.м у л а и з о б р е To.c и и я

Интерферометр для контроля. форин плоских полированных поверхностей, содержащий расположенные последовательно источник света, конденсор, диафрагму, плоское Е зеркало, вогнутое зеркало, клицовцлило эталонную пластину, линзовую двухкомпонент-. ную иаблюдателъную систему, о т л и ч аю. ш я и с я тем, что, с целью yrpou åíèÿ настройки и повышении точности контроли, еЕ он снабжен поисковой систе. той, выполнен-. ной в виде сферического зеркала расположенного между вогнутым зеркалом и наблюдательной системой так, что его вершинная точка совмещена с автоколлимациеннь:м иэображением диафрагьл4, а ежду г:инзовыми компонентами наблюдательной системы помещены две призмы Довс так, что их главные сечения и отражающие грачи,перпендикулярны друг другу, а оси визиров:иная параллельны друг другу и оптической о и системы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Захарьевский A. И. Инте ф.реестр>;i», Оборонгнз, 1956 г.

2. Техническое описание интерф».. о;;стра

ПК 452.

Редок тт; В. Дибобес

Составитель В. Горшков

Техред А. Богдан корректор И.:,1„,од,, Заказ ). 1 261 Тираж 864 11одпнсное

1 tl ltl)1И Государственного комитета Совета Мииистров СС .P по делам: изобретений и открытий

t .13035, "tocxaa, Ж35, Рауиккаи наб., д. 4/5 1 и:1;1а; ЙПП Патент", r Ужгород, - ул. Проектная, 4