Источник ионов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
еи- и„хивн
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Д )1 Q !p f$ ..„
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 24.12.74 (21) 2087277/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (5! ) М. Кл.-
Н 05 Н 1)00
Государственный комитет ссса
Опубликовано 30.03.81. Бюллетень № 12
Дата опубликования описания 31.03.81 (53) УДК 539.9 (088.8) ао делам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения
В. С. Панасюк, С. Г. Панкратов, А. М. Овчаров и Ю. К. Самошенков (7! ) Заявитель (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ
Изобретение относится к газоразрядным приборам, в частности к плазменным источникам ионов.
Известны плазменные источники ионов, содержащие разрядную камеру, образованную анодом и катодом и помещенную в магнитное поле. Получение ионных пучков производится путем подачи ускоряющего напряжения на вытягивающий электрод.
Известен также плазменный источник ионов, содержащий анод, катод и извлекающий электрод, разделенные изолятором и помещенные между полюсами магнита, причем катод и анод выполнены в виде коаксиального диода. Магнит создает магнитное поле, перпендикулярное электрическому, что способствует увеличению траектории электронов и, следовательно, приводит к дополнительной ионизации рабочего газа.
Однако известный источник не позволяет вытягивать значительные ионные токи из-за малого отношения площади сечения выходного отверстия к поверхности плазмы, что заставляет разряд обеспечивать значительной энергией.
Целью изобретения является снижение затрат энергии на образование ионов.
Для этого катод выполнен B виде сетки и расположен между анодом H извлскаюпiи:"I электродом, а размеры полюсов магии);. больше или равны расстоянию между ка:..;— дом и анодом.
На фиг. 1 дана схема конструкции ис ),ника; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. !.
Источник ионов содержит катод 1, выполненный в виде плоской сетки, удерживаемой катодными держателями 2 и расположенной между анодом 3, изоляторами 4, в 5 и извлекающим электродом 6. Систем;: электродов помещена между пол юсным; наконечниками 7 магнита.
Источник работает следующим образ::.;.
По катоду 1 через катодные держатели 2 пропускается электрический ток. которы.. разогревает катод до рабочей температуры.
В зазоре между полюсными наконсчникали 7 создается магнитное поле. На анод 3 подается положительный потенциал относительно катода 1 и катодных держателей 2.
Электроны, эмиттируемые катодом, ускоряются полем анода. В продольном электрическом и поперечном магнитных полях траектории электронов значительно удлиняются, что гриводит к эффективной ионизаци)н ра519066
Формула изобретения фиг 2
Составитель В. Рыжков
Редактор Н. Llàëèíèíà . Техред А. Бойкас Корректор С. 1цомак
Заказ 1395/46 Тираж 889 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и о1крытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 бочего газа и образованию плазмы. На извлекающий электрод 6 подается отрицательный потенциал относительно катода 1 и катодных держателей 2 и пучок ионов извлекается из плазмы через катод в осевом направлении.
Поскольку граница плазмы находится в непосредственной близости от катода, через сетку которого производится отбор ионов, то это приводит к увеличению выходного ионного тока при незначительных затратах энергии на образование ионов.
Источник ионов, содержащий анод, катод и извлекающий электрод, разделенные изолятором и помещенные между полюсами магнита, отличаощийся тем, что, с целью снижения затрат энергии на образование ионов, катод выполнен в виде сетки и расположен между анодом и извлекающим электродом, а размеры полюсов магнита больше или равны расстоянию между катодом и анодом.