Способ термохимической обработки корундовых материалов

Способ термохимической обработки корундовых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19,03.74 (21) 2005665/26 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М. Кл.

С 01 Г 7/02

В 01 3 17/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изоорвтений н открытий (43) Опубликовано 15.08,76Бюллетень №30 (53) УДК 548. 55 (068.ц) (45) Дата опубликования описания 16.11.76 (72) Авторы изобретения В. H. Батыгин, В, И. Куликов, С. В. Куликова и В. П. Рыбкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ТЕРМОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ КОРУПДОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ

Изобретение, относится к способам термохимической обработки корундовых материалов и может быть использовано для изготов- ления тонких изделий, вытравливания отверс- тий различного профиля, рельефного травления поверхности и изготовления изделий сложного профиля из корундовых материалов.

Известен способ термохимической обработки корундовых материалов при 1000о

1300 С в потоке продуктов разложения сое-, ip динений фтора. Однако известный способ не обеспечивает достаточной скорости травления.

С целью устранения указанного недостатка в качестве соединения фтора исполь- iS зуют фтористый кадмий.

Пример, Корундовые детали вкладывают в графитовые обоймы, имеюшие прорези необходимой конфигураппи для вытравливания окиси алюминия, Обоймы с образ- 20 цами помешают в сред пою часть графитового контейнера на специальную диафрагму, ! имеюшую прорези для поступления газообразных продуктов разложения Cd Г, В нижней части контейнера помещают навеску 25

Cd 12, Величина навески определяется объе.мом, материала который необходимо вытравить. Перед загрузкой фтористый кадмий брикетируют или используют кусочки монокристаллов Cd F>. Верхняя часть контейнера йредставляет собой фильтр задержания продуктов взаимодействия Сд Г и AI. 0

Загруженный контейнер помешают в вакуумную печь и нагревают таким образом, что нижняя часть контейнера имеет температуо ру разложения СдГ около 920 С при Р=

=1 10 мм.рт. ст, Температура средней

;части контейнера, в которой происходит тер;мохимическое травление, должна составлять 1000-1300 С. Для сублимации паровСИГ и продуктов разложения температура фильтра о не должна превышать 700-1000 С. Скорость травления корундовых материалов в потоке продуктов разложения Cd 1 i npu

1300 С равна 1,25 10 кг/м с (45 мг/

/см ° ч) .

Ф о р м у л а и з о б.р е т е н и я

Способ термохимической обработки коо рундовых материалов при 1000-1300 С в потоке продуктов разложения соединений

524769

Составитель E. Гангардт

Редактор Е. Хорина Те>ред И. Ковач Корректор" Н Золотовская, Заказ 5046/574 Тираж 630 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 фтора, отличаюшийся тем, что, с пелью увеличения скорости травления, в качестве соединения фтора используют фтористый кадмий.