Устройство для нанесения покрытий путем пиролиза

Устройство для нанесения покрытий путем пиролиза

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1п 52668I

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ вФЮз оообтoиии оиимиотичииии

Реоиубдии (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 11.01.74 (21) 1986066/24 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.08.76. Бюллетень ¹ 32

Дата опубликования описания 03.12.76 (51) М. Кл С 23С ))i00

Государственный кемнтет

Совете Мнннстров СССР по делен нзобретеннй и открытнй (53) УД К 621.396.6-18). .48 (088.8) (72) Авторы изобретения Г. А. Домрачев, В. А. Коетенков, В. Н. Крашенинников, Г. А:: Скорик

К. К. Фукав и В. В. Щенников / то с)т орла тц@ я (71) Заявитель Дзержинский филиал Научно-исследовательского и к института химического машиностроени (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПУТЕМ

П И РОЛ ИЗА

Изобретение относится к области получения неорганических покрытий осаждением на паровой (газовой) фазе при разложении химических соединений.

Известно устройство для нанесения покрытий путем пиролиза, содержащее корпус с охлаждающей рубашкой и крышку, нагреватели изделий, охватывающие корпус, патрубки для подачи химического соединения и отвода продуктов разложения (1).

Цель изобретения — создание равномерной концентрации паров вдоль поверхности изделия и повышение однородности покрытий по толщине — достигается тем, что устройство снабжено сменным коллектором, размещенным на крышке корпуса, выполненным в виде герметичной камеры с патрубками для подачи и отвода термостатирующей среды и трубой, расположенной коаксиально камере, служащей для ввода химического соединения, причем камера разделена поперечными перегородками на несколько частей таким образом, что форма поверхности камеры, ограниченная зоной нагревателя, соответствуетформе покрываемого изделия, а перегородки выполнены B виде решетки с каналами, служащими для передачи химического соединения из трубы к поверхности изделий.

На фиг. 1 представлено описываемое устройство в разрезе; на фиг. 2 — разрез по А—

А на фиг. 1.

Устройство состоит из корпуса 1, крышки 2, нагревателей 3, охватывающих корпус. Внутри корпуса имеется опорное кольцо 4, на которое установлено обрабатываемое изделие

5. Верхняя и нижняя зоны корпуса охлаждаются до температуры, ниже температуры кипения химического соединения, с помощью охлаждающих рубашек 6 и 7.

В днище 8 корпуса имеется патрубок 9 для отвода неразложившегося химического соединения и патрубок 10 для отвода продуктов разложения. На крышке 2 укреплен сменный коллектор, выполненный в виде герметичной камеры 11 с крышкой 12 и днищем 13, разделенной поперечными перегородками 14 на несколькочастей и снабженной укрепленными в крышке 12 патрубками 15 — 17 для подачи и

20 отвода термостатирующей среды. Труба 18, расположенная коаксиально камере, служит для ввода химического соединения. В поперечных перегородках 14, выполненных в виде решетки, имеются отводные отверстия 19 для

25 циркуляции термостатирующей жидкости и радиальные каналы 20, служащие для передачи химического соединения из трубы к поверхности изделия. Боковая поверхность камеры 11, ограниченная зоной нагревателей 3, 30 соответствует форме покрываемого изделия.

526681 сли8

A-Д

Составитель H. Блинкова

Текред В. Рыбакова Корректор И. Позняковская

Редактор А. Купрякова

Заказ 2527/20 Изд. № 1608 Тираж 1068 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Риг. 1

re

%us.2