Металлизированный неорганический диэлектрик и способ его изготовления

Металлизированный неорганический диэлектрик и способ его изготовления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е ц) 528292

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТСРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ьаюз Советских

Ьо! из.в!:. !;чсс"кк", Рссо1 б))ик (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 12.06.?2 (21) !796338, 33 (51) М. Кл.з- С 04В 41/14

С 04В 41/06 с присосдиненнем з",H.;êè ¹

1осударственный кс I!ITGT

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.09.76. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 26.08.76 (53) УДК 666.798.2.056 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Тимошенко, О. С. Накарякова и Л. К. Фомин (71) Заявитель (54) МЕТАЛЛИЗИРОВАННЪ|Й НЕОРГАНИЧЕСКИЙ ДИЭЛЕКТРИК

И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Изобретение относится к технике покрытия изделий из неорганических материалов, например, керамики, стекла, ситаллов, методом вакуумного напыления.

Известен металлизированный керамический диэлектрик, в состав металлизационного покрытия которого входят 0,25 — 5 вес. % окисла иттрия и остальное — порошок вольфрама (1).

Известен также способ изготовления метал- 10 лизированного неорганического диэлектрика с двухслойным покрытием из разнородных металлов, нанесенным напылением в вакууме (2).

I(недостаткам указанных диэлектриков сле- 1 дует отнести сравнительно невысокую прочность сцепления покрытия с материалом диэлектрика.

Целью изобретения является повышение прочности сцепления подложки с покрытием. 20

Цель достигается за счет того, что первый слой покрытия выполнен из редкоземельного металла или сплава на его основе, а второй— из металла, обладающего высокой адгезией к материалу первого слоя, например, из меди, 25 серебра.

Способ изготовления данного диэлектрика состоит в том, что его нагревают до 200—

400 С, а затем на него последовательно наносят слои металлов и отжигают при темпера- 3;) туре его взаимодействия с редкоземельным металлом.

Диэлектрик отжигают в среде инертного газа при 700 — 1500 С в течение 10 — 60 мин.

Диэлектрик получают следующим образом.

Изделие, например, керамическое, помещают в камеру вакуумной установки, в которой создают разрежение не менее 10 — 10 — мм рт. ст.

Изделие нагревают до 200 — 400=С и осуществляют конденсацшо паров редкоземельного металла ца него и после этого — слоя металла с высокой адгезнсй к редкоземельному.

По достижении заданной величины покрытия изделие нагревают до температуры взаимодействия редкоземельного металла с материалом изделия. (В случае пспользования в качестве редкоземельного металла, например, церия, температура термообработкн составляет 700 †7 С.

После охлаждения изделия камеру разгерметизируют. В случае использования для второго слоя металла с высокой упругостью пара, например, серебра, термообраоотку изделий осуществляют в атмосфере инертного газа высокой чистоты.

Прочность соединения диэлектрика с металлом в случае нанесения подслоя редкоземельного металла значительно выше, чем без подслоя.

528292

Формула изобретения

Составитель Н. Соболева

Техред А. Камышникова

Корректор О Тюрина

Редактор Э. Шибаева

Заказ 1830/11 Изд. Мв 1558 Тираж 752 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

1. Металлизированный неорганический диэлектрик с двухслойным покрытием, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения прочности сцепления подложки с покрытием, первый слой его выполнен из редкоземельного металла или сплава на его основе, а второй— из металла, обладающего высокой адгезией к материалу первого слоя, например, из меди, серебра.

2. Способ изготовления металлизированного неорганического диэлектрика по п. 1, отл ич а ю шийся тем, что диэлектрик нагревают до температуры 200 — 400 С, а затем на него последовательно наносят слои металлов и отжигают при температуре его взаимодействия с редкоземельным металлом.

3. Способ по п. 2, отлич ающийся тем, что диэлектрик отжигают в среде инертного газа при температуре 700 — 1500 С в течение

10 — 60 минут.

10 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент США Хо 3. 281.931, кл. 29 †4.1, 1966 г.

2. «Am Ceram. Soc.» 1965 г., v, 38, Мв 7, р. 191, 192.