Осевой турбомолекулярный вакуумный насос

Осевой турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

. ° .2 ° . 4

Ф..

ОЛ ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (») 5303.12 (61) Доп0лнительное к авт. свид-ву—

2 (51) М. Кл.

7 04 3 19/04

} (22} Заявлено 03.12.73 (21) 1974703/06

l с присоединением заявки М

Государственный комитет

Саввтв тлинистров СССР по делам иеасретений н открытий (23} Приоритет! (43) ОпУбликовано30.09.76.Бюллетень Уе 36 (45) Дата опубликования описания 29.11.76 (53) УДК 621.527.8 (088.8) B. И. Бойцов, Б. В. Иванов, Ю. Э. Кононов, B. Г. Кульпин, В. М. Николаев и Н. П. Юшин (721 Авторы изобретения (71) Заявитель

Московский институт химического машиностроения (54) ОСЕВОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ HACOC

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомолекулярных насосов.

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и установленный в нем на магнитных подшипниках ротор, приводимый во вращение бегущим магнитным полем.

Известный насос имеет сложнуюконструкцию из-за наличия колец Грамма, расположенных на роторе.

Известен также осевой турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и установ IBHHbjH B нем на магнитных подшипниках ротор, снабженный приводом в виде д электродвигателя.

Указанный насос также имеет сложную конструкцию вследствие наличия промежуточнь х элементов, соединяющих ротор с валом электродвигателя. 20

Целью изобретения является упрощение конструкции турбомолекулярного насоса.

Указанная цель достигается тем, что привод выполнен в виде размещенного по

: "1ф ф, |т

Ф : оси полости источника тепла, заключенного в обойму, закрепленную на стенке ротора и имеющую ребра, зачерненные со стороны, обращенной к источнику тепла.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 — сечение по А-A на фиг. 1.

Описываемый насос содержит корпус 1 и установленный в нем на магнитных подшипниках 2 полый ротор 3, снабженный приводом, выполненным в виде размещенного по оси полости ротора 3 источника тепла 4, заключенного в обойму 5, закрепленную на стенке ротора 3 и имеющую ребра 6, зачерненные со стороны, обращенной к источнику тепла 4.

Насос работает следующим образом.

После создания в полости насоса форва2 куумного давления порядка 5 ° 10 тор вклк>чается источник тепла 4, нагревающий ребра 6. При этом вследствие различия степеней черноты сторон ребра 6 последние нагреваются до различных температур, и моле530112 фиг. 2 кулы остаточного газа, соударяясь с ребрами

6, покидают их с различными скоростями, в результате чего ротор 3 приобретает суммарный направленный импульс, благодаря которому осуществляется вращение. б

Таким образом, описанное выполнение турбомолекулярного вакуумного насоса позволяет отказаться от громоздких и сложных приводных устройств в результате размеще- щ ния приводов полости ротора, что значительно упрощает конструкцию насоса.

Формула изобретения

Осевой турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и установленный в нем на магнитных подшипниках полый ротор, снабженный приводом, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции, привод выполнен в виде размещенного по оси полости источника тепла, заключенного в обойму, закрепленную на стенке ротора и имеющую ребра, зачерненные со стороны, обращенной к источнику тепла. г ° жгород, ул. Проектная,4