Ахроматический объектив микропроектора
Патент 531116
Авторы
Классы МПК
Ахроматический объектив микропроектора
Иллюстрации
Реферат
Q Л К C A Н и Е I(и)53т т16
ЙзОБРееен ня
Союз Советакнх
СОщйалнсткческкх
Республик
1 ! I
/511 М. Кл.е (61) Дополнительное к BBT свид-ву (22) Заявлено 18,06.75 (21) 2146419/10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано05.10,76,Бсоллетень №37 (45) Дата опуоликования описания 17.12.76
G 02 В 21/02
Государственный коматет
Соаата Мкннстраа СССР по делам нзобретеннй н открытей! (5;) УДК 535,824
213 (OBB.B) А. П. Грамматин и Л. П, Фелькина (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) АХРОМАТИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ МИКРОПРОЕКТОР <
Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частно=ти к объективам микроскопов и микропроекторов, предназне ченных для исследования готовых микросхем, выполненных на отдельных кристаллах, путем визуального обнаружения дефектов на поверхности этих микросхем в отраженном свете .
Известны объективы микроскопов, пред- 10 назначенные преимущественно для работы в отраженном свете (2-4), В этих объективах зрачки выхода, совпадающие с задней фокальной плоскостью, расположены на малом удалении от последней поверхности объекти- 15 ва, что создает трудности при размещении осветительной призмы в зрачке выхода, Известен также объектив, содержащий три компонента, первый из которых выполнен в виде одиночной линзы, а третий склеен из 20 двух положительных и размещенной между ними отрицательной линзГ11, Этот объектив обладает большой кривизной изображения и не может быть использован для микропроекции. 25
1Лель изобретения — увеличение расстояния между зрачком выхода и последней поверхностью объектива р- исправление кривизны изображения. Это достигается тем, что второй компонент выполнен в виде алланаиического мениска, обращенного вогнутостью к предмету, причем толщина мениска составляет 0,5-0,7 фокусного расстоещия объекти« ва.
На чертеже приведена оптическая схема ахроматического объектива микропроектора.
Объектив состоит из трех компонентов
1-3, Компонент 1 выполнен в виде одиночной линзы, например двояковыпуклой, Компонент 2 представляет собой толстый апланатический мениск, обращенный вогну-тостыо к предмету, при этом толщина его 0,5-07 фокусного расстояния объектива. Компонент
2 служит компенсатором кривизны изображения, Компонент 3 склеен из двух положительных линз 4-и 5 и размещенной между ними отрицательной линзы 6.
Рассчитанный вариант ахроматического объектива микропроектора имеет фокусное расстояние = 33 мм, апертуру А = 0,25 и задний отрезок 4 = -5,9 мм, При чис
1 ловой апертуре 0,25 объектив дает резкое изображение в пределах наблюдаемого поля предмета порядка 3 мм.
Формула изобретения
Ахроматическич объектив микропроектора для -аботы в отраженном свете, содержаший три компонента, первый из которых выполнен в виде одинокой линзы, а третий склеен из двух положительных v. размещенной между ними отрицательной линз, отличающийся тем,что,с целью увеличения расстояния между зрачком выхода и последней поверхностью объекМ
4 тива и исдравлечия кривизны изображения, второй компонент выполнен в виде апланатического мениска, обращенного вогнутостью к предмету, причем толщина мениска составляет 0,5-0,7 фокусного расстояния объекс
Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе:
1. Скворцов Г, С, и др. Микроскопь изд-во " Машиностроение", М „1962, стр, 194, 2. Авторское свидетельство % 2 >1733
С02 В 21/02, 25.12,67, 3. Авторское свидетельство М 264203, 502 В 11/20, 08.12,68, 4, Авторское свидетельство М 198721, Q02 В 9/60, 20 05 66
Составитель С, КовРина
Редактор О. Филиппова Техред М, Левицкая КорректорА. Гриценко
Заказ 5384/134 Тираж 654 Подписное
ЫНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4