Способ изготовления металлического автоэлектронного катода с локализованной эмиссией

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

t Ют

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Ф 1 е ъ 1ф. ° ;-.фо й

° ен . ° ° ф

Союз Соввтскик

Свциалистичвски к

Рвснублнк

«ii531423

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Лонолнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 18,1074 (21) 2068711/25 с нрисое)1инением заявки №вЂ” (23) Приоритет (53) M. Ka

Н 01 Д 9/02

H 01,У 1/30

Государственный комитет сссР но делам изобретений н открыти й

Опубликовано 2503,79,Бюллетень №11 (53) УЛКб21.385...032.212 (08Û.8) Дата опубликования описания 250379 (72) Авторы

НЗОбрвтвння В.С.Гейшерик,_#_.И.Дранова,В.Б.Кулько и И.N.Ìèõàéëoâñêèé (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО

АВТОЭЛЕКТРОННОГО КАТОДА О а

И= см, где N- плотность дислокаций; протяженность эмиттирувмаей поверхности катода.

Указанное значение плотности дислокаций соответствует наличию в при-

Изобретение относится к способам изготовления автоэлектронных катодов, применяемых в электронной промышленности в качестве ненакаливаемых источников электронов.

Известен способ изготовления металлических автоэлектронных катодов с локализованной в малом телесном угле эмиссией, заключающийся в нане- О сенин на поверхность вольфрамовой иглы циркониевого покрытия. Данный способ позволяет получить катод с локализованной эмиссией в пределах одной кристаллографической грани, при этом за счет уменьшения эмиттирующей площади эмиссия локализуется в сравнительно большом (12-18 ) телесном угле.

Известен также способ изготовления металлического автоэлектронного катода с локализационной эмиссией, заклю. чающийся в формировании, эмиттируннаей поверхности металлической эаготовки заострением, например,электролитическим травлением,с последующим испаре- . нием в электрическом поле.

Данный способ обеспечивает воэможность изготовления лезвийного катода с эмиссией, локализованной в полосе

Й 4. шириной 10 — 10 А. Недостатком указанного способа является большая ширина эмиттирующей поверхности, а кроме того имеет место неоднородность распределения эмиссии электронов.в полосе, так как основной вклад в эмиссию вносят отдельные выступающие участки и грани с низкой работой выхода.

Цель изобретения — уменьшение ширины эмиттирующей части поверхности катода и повышение однородности эмиссии в ней.

Это достигается тем, что металлическую заготовку подвергают пластической деформации, формируют заострением эмиттирующую поверхность и подвергают ее испарению в электрическом поле до получения радиуса кривизны

10 — 105K, .причем степень деформации Должна обеспечить плотность дислокаций, удовлетворяющую следующему соотношению:

Формула изобретения

Составитель Г.Кудинцева

Техред Э.Чужик КорректорС.Шекмар

Редактор Е.Месропова

Эаказ 1133/1 Тираж 922 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, r.Óæãîðîä, ул. Проектная, 4

3 5314 поверхностном слое материала катода одной дислокации. Присутствие дислокации в поверхностном слое толщиной

10 см приводит после испарения в электрическом поле к образованию узкой эмиттирующей полосы на поверхности катода с высокой однородностью 5 эмиссии в ней.

Предлагаемый способ изготовления автоэлектронных катодов испытан в лабораторных условиях. В качестве материала катода использовалась воль-10 фрамовая фольга, деформированная прокаткой, со степенью деформации

80%, что обеспечивало плотность дислокаций 10 - 10 см . ЭлектрохимиМО И -2 ческим заострением в растворе едкого l5 натрия изготавливались лезвия с длиной эмиттирующей поверхности 10 10 см и радиусом кривизны 10 бсм.

Лезвийные катоды помещались в вакуумную камеру автоэмиссионного микроско-р» па. Напряжение, подаваемое на лезвие, поднималось до появления изображения на экране микроскопа; при этом наиболее ярко эмиттировали микронеоднородности на поверхности лезвия, над которыми выше напряженность поля. Эатем напряжение поднималось до полного испарения микронеоднородностей .(при скорости испарения

10 слоев за 1 с время испарения до получения атомногладкой поверхности составляет 10-15 с.

При завершении формирования поверхности на автоэлектронном изображе23 4 нии катода наблюдаются полосы с локализованной в угле 1 эмиссией ширина эмйттирующей поверхности находится в интервале 10-100 А, степень однородности эмиссии с автоэлектронного катода, полученного предлагаемым способом, существенно повышается.

Способ изготовления металлического автоэлектронного катода с локализованной эмиссией, включающий формирование эмиттирующей поверхности заострением металлической заготовки с последующим испарением в электрическом поле, отличающийся тем, что, с целью уменьшения ширины эмиттирующей части поверхности катода и повыаения однородности эмиссии

s ней, металлическую заготовку подвергают пластической деформации, формируют заострением эмиттирующую поверхность и подвергают ее испарению в электрическом поле до получения о радиуса кривизны 10 — 109 А, причем степень деформации должна обеспечить плотность дислокаций, удовлетворяющую следующему соотношению:

„ о -а е где М- плотность дислокаций; протяженность эмиттирующей поверхности катода.