Способ изготовления металлического автоэлектронного катода с локализованной эмиссией
Иллюстрации
Показать всеРеферат
t Ют
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Ф 1 е ъ 1ф. ° ;-.фо й
° ен . ° ° ф
Союз Соввтскик
Свциалистичвски к
Рвснублнк
«ii531423
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Лонолнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 18,1074 (21) 2068711/25 с нрисое)1инением заявки №вЂ” (23) Приоритет (53) M. Ka
Н 01 Д 9/02
H 01,У 1/30
Государственный комитет сссР но делам изобретений н открыти й
Опубликовано 2503,79,Бюллетень №11 (53) УЛКб21.385...032.212 (08Û.8) Дата опубликования описания 250379 (72) Авторы
НЗОбрвтвння В.С.Гейшерик,_#_.И.Дранова,В.Б.Кулько и И.N.Ìèõàéëoâñêèé (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО
АВТОЭЛЕКТРОННОГО КАТОДА О а
И= см, где N- плотность дислокаций; протяженность эмиттирувмаей поверхности катода.
Указанное значение плотности дислокаций соответствует наличию в при-
Изобретение относится к способам изготовления автоэлектронных катодов, применяемых в электронной промышленности в качестве ненакаливаемых источников электронов.
Известен способ изготовления металлических автоэлектронных катодов с локализованной в малом телесном угле эмиссией, заключающийся в нане- О сенин на поверхность вольфрамовой иглы циркониевого покрытия. Данный способ позволяет получить катод с локализованной эмиссией в пределах одной кристаллографической грани, при этом за счет уменьшения эмиттирующей площади эмиссия локализуется в сравнительно большом (12-18 ) телесном угле.
Известен также способ изготовления металлического автоэлектронного катода с локализационной эмиссией, заклю. чающийся в формировании, эмиттируннаей поверхности металлической эаготовки заострением, например,электролитическим травлением,с последующим испаре- . нием в электрическом поле.
Данный способ обеспечивает воэможность изготовления лезвийного катода с эмиссией, локализованной в полосе
Й 4. шириной 10 — 10 А. Недостатком указанного способа является большая ширина эмиттирующей поверхности, а кроме того имеет место неоднородность распределения эмиссии электронов.в полосе, так как основной вклад в эмиссию вносят отдельные выступающие участки и грани с низкой работой выхода.
Цель изобретения — уменьшение ширины эмиттирующей части поверхности катода и повышение однородности эмиссии в ней.
Это достигается тем, что металлическую заготовку подвергают пластической деформации, формируют заострением эмиттирующую поверхность и подвергают ее испарению в электрическом поле до получения радиуса кривизны
10 — 105K, .причем степень деформации Должна обеспечить плотность дислокаций, удовлетворяющую следующему соотношению:
Формула изобретения
Составитель Г.Кудинцева
Техред Э.Чужик КорректорС.Шекмар
Редактор Е.Месропова
Эаказ 1133/1 Тираж 922 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Филиал ППП Патент, r.Óæãîðîä, ул. Проектная, 4
3 5314 поверхностном слое материала катода одной дислокации. Присутствие дислокации в поверхностном слое толщиной
10 см приводит после испарения в электрическом поле к образованию узкой эмиттирующей полосы на поверхности катода с высокой однородностью 5 эмиссии в ней.
Предлагаемый способ изготовления автоэлектронных катодов испытан в лабораторных условиях. В качестве материала катода использовалась воль-10 фрамовая фольга, деформированная прокаткой, со степенью деформации
80%, что обеспечивало плотность дислокаций 10 - 10 см . ЭлектрохимиМО И -2 ческим заострением в растворе едкого l5 натрия изготавливались лезвия с длиной эмиттирующей поверхности 10 10 см и радиусом кривизны 10 бсм.
Лезвийные катоды помещались в вакуумную камеру автоэмиссионного микроско-р» па. Напряжение, подаваемое на лезвие, поднималось до появления изображения на экране микроскопа; при этом наиболее ярко эмиттировали микронеоднородности на поверхности лезвия, над которыми выше напряженность поля. Эатем напряжение поднималось до полного испарения микронеоднородностей .(при скорости испарения
10 слоев за 1 с время испарения до получения атомногладкой поверхности составляет 10-15 с.
При завершении формирования поверхности на автоэлектронном изображе23 4 нии катода наблюдаются полосы с локализованной в угле 1 эмиссией ширина эмйттирующей поверхности находится в интервале 10-100 А, степень однородности эмиссии с автоэлектронного катода, полученного предлагаемым способом, существенно повышается.
Способ изготовления металлического автоэлектронного катода с локализованной эмиссией, включающий формирование эмиттирующей поверхности заострением металлической заготовки с последующим испарением в электрическом поле, отличающийся тем, что, с целью уменьшения ширины эмиттирующей части поверхности катода и повыаения однородности эмиссии
s ней, металлическую заготовку подвергают пластической деформации, формируют заострением эмиттирующую поверхность и подвергают ее испарению в электрическом поле до получения о радиуса кривизны 10 — 109 А, причем степень деформации должна обеспечить плотность дислокаций, удовлетворяющую следующему соотношению:
„ о -а е где М- плотность дислокаций; протяженность эмиттирующей поверхности катода.