Способ эксплуатации турбомолекулярного вакуумного насоса

Способ эксплуатации турбомолекулярного вакуумного насоса

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП И САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.02.73 (21) 1892800/06 с присоединением заявки № (51) М Кл F 04D 19/04

Совета министров СССР ло делам изобретений и открытий

Опубликовано 15.10.76. Бюллетень № 38

Дата опубликования описания 30.11.76 (53) УДК 621.527.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Кузнецов и Л. Б. Леонов (71) Заявитель,(54) СПОСОБ ЭКСПЛУАТАЦИИ

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА

ГосУдаРстеенный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к эксплуатации турбомолекулярных насосов.

Известен способ эксплуатации турбомолекулярного насоса путем управления работой вентиля-натекателя, связывающего т|роточную часть насоса с источником осушенного газа.

Однако при этом способе эксплуатации повышается давление в форвакуумной полости насоса, вследствие чего происходит прорыв газа с парами масла через проточную часть насоса в высоковакуумную полость, что приводит .к загрязнению откачиваемого объема.

Для предотвращения проникновения паров масла в высоковакуумную полость натекатель открывают перед форвакуумной откачкой, создавая в проточной части насоса вязкостный поток газа, затем производят запуск ротора, а закрывают после набора ротором числа оборотов, обеспечивающего надежный барьер от проникновения паров масла, а затем перед выключением привода ротора повторно открывают вентиль-натекатель и закрывают его после полной остановки ротора, отсечения магистрали форвакуумной откачки и напуска осушенного газа до давления 10 — 760 мм рт. ст.

Для уменьшения времени полного торможения ротора напуск осушенного газа производят форсированно.

Таким образом, осуществление оппсываемого способа позволяет перед запуском или остановкой насоса создать в его проточной части вязкостный поток сухого газа, который увлекает пары масла из форвакуумной полости турбомолекулярного насоса в работающий форвакуумный насос.

Формула изобретения

1. Способ эксплуатации турбомолекулярного

1ð вакуумного насоса путем управления работой вентиля-натекателя, связывающего проточную часть насоса с источником осушенного газа, отличающийся тем, что, с целью предотвращения проникновения паров масла в высо15 ковакуумную полость, вентиль-натекатель открывают перед форвакуумной откачкой, создавая в проточной части насоса вязкостньш поток газа, затем производят запуск ротора, а закрывают после набора ротором числа оборо2р тов, обеспечивающего надежный барьер от проникновения паров масла, а затем перед выключением привода ротора повторно открывают вентиль-натекатель и закрывают его после полной остановки ротора, отсечения магист25 ралп форвакуумной откачки и напуска осушенного газа до давления 10 — 760 мм рт. ст.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем. что, с целью уменьшения времени полного тор можения ротора, напуск осушенного газа проЗр изводят форсированно.