Испаритель

Испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

р

3= ".: ñÈÒI..Î тем

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистическими

Республик (11) 532659

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 2 7.01.72(21) 1741832/01 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.10.76 Бюллетень № 39 (45) Дата опубликования описания 15.12.76 (5I) М. Кл.

С 23 С 13/12

Государственный комнтет

Сеаата Инннстроа СССР оо делам нэооретеннй и открытнй (53) УДК 621.793.14. .002.52 (088.8) (?2) Авторы изобретения

А. И. Плышевский, Е. П. Пономаренко и Ю. К. Белов

Украинский научно-исследовательский институт специальных сталей, сплавов и ферросплавов (?1) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение касается нанесения покры- тий в вакууме,и может использоваться дпя получения тонких пленок методом тер-4 мического,испарения.

Известен испаритепь, содержаший тигеп .нагреватель и загрузочное устройство. Ти- гель установлен неподвижно, Материал иэ, оагрузочного устройства подают в зону на пыпения.

Однако при испарении металла из тверд1тй Ip фазы известный испаритепь не может обеспечить равномерное испарение металлизатора, при усповии непрерывной работы установки;

;так как ввод новых порций холодного ме-;

1 таппа в зону испарения изменяет темпера- т5 туру, а следовательно, и интенсивность uct

I парения. 1епь изобретения — повышение равноме ности покрытий при испарении вешеств из твердой фазы путем загрузки новых порцит 20 в тигель вне эоны испарения при непрерывном процессе.

Это достигается тем, что испаритель ,снабжен дополнцтелытым затрузочным уст1ройством, установленным симметрично oc- 25

2 новному относительно нагревателя тепеж кой, выпогненной с воэможностью цвремешения между загрузочными устройствами, прттчем тигель установпен на тележке, а рас« стояние между загрузочными устройствами) не превышает длину тигля.

На чертеже изображена конструкцияпре лагаемого испаритепя.

Испаритепь имеет тигель 1 с испаряе

1мым металлом, подвижную тележку 2, совершаюшую возвратно-поступательное дви» жение, нагреватель 3 загрузочных устрой- ств 5 и 4, расположенных по обе стороны от нагревателя 3.

Металл 6 испаряется в зоне испарения, за счет нагрева металла от нагревателя 3, которым может быть элемент сопротивлв1ния, электронный луч или другой источник нагрева. В процессе испарения металла мед» ,ленно перемешается тележка 2, на которой неподвижно установлен тигель 1 с испаря емым металлом 6. Скорость движения те-! лежки 2 дпя равно;,;ерного испарения метал.та должна быть величиной постоянной, что;

1 обеспечивает одинаковое количество метал-

532659

3, дет за пределы зоны испарения и попадет под загрузочное устройство. При этом не допускается выход тигля с металлом за пределы эоны испарения. Минимальная величина хода тележки в одну и другую сторону от зоны испарения равна поповине длины тигля, при обшей длине тигля не менее, чем в 2 раза превышающей длину эоны испаре1 ния. Загрузочные устройства 4 и 5 в этоМ

® случае располагаются непосредственно эа зоной испарения. Процессы испарения и загрузки метаппа при движении тигля 1 в одном и другом направлении аналогичны, Составитель Л. Анисимова

Техред М. Левицкая Корректор B. Куприянов

Редактор Л. Лашкова

Заказ 5543/256 . Тираж 1068 Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская, наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ла, вводимого в зону, испарения в единицу ремени. В случае, когда допускаются неоторые отклонения скорости испарения, ижение тележки 2 может осуществляться . переменной скоростью или с остановка, Скорость движения тележки зависит рт мощности нагревателя, протяженности зоны испарения, природы испаряемого ме талла и топщины слоя испаряемого метал ла в тигле. Скорость движения тележки 2 должна быть такой, чтобы после выхода тигля 1 иэ зоны испарения на дне тигпя оставался тонкий слой металлизатора (при- мерно 10% от обшей толщины опоя металпа перед испарением).

1Ь

Загрузка новых порций металла произво»„ дится в ту часть тигпя, которая с остат ком неиспарившегося металла находится под одним из загрузочных устройств 4 ип 5. Начало загрузки определяется моментол4

-,,появпения тигля 1 под загрузочным устрой-, ЯС ством, конец загрузки - моментом измене.4

I ния направления хода тележки ипи ее оста

I новкой. Работа загрузочных устройств 4 и 5 осуществляется автоматически, дпя че-, го они снабжены специальными приспособ 2Ь пениями дпя регулирования количества по1 даваемого в тигель 1 металла в зависимос1 ти от его расхода и датчиками начала и конца (остановки) работы. Изменение на- . !правления;, движения тележки 2 осушествпя- ЗО

1 ется автоматически и происходит после то 4 го, как не менее чем половина тигля выйФормула изобретения

Испаритепь, содержащий тигель, нагре« ватель и загрузочное устройство, о т и ич а ю щ и и с. я тем, что, с целью новы- щения равномерности покрытий нри испаре- нии веществ из твердой фазы путем загруя-. !

I ки новых. порций в тигель вне зоны испаре4.ния при непрерывном процессе, он снабжен дополнительным загрузочным устройством, установленным симметрично основному ;загрузочному устройству относительно нагре 1вателя, тележкой, выполненной с возмож, ностью перемещения между загрузочными устройствами, причем тигель установлен на тележке, а расстояние межд эагрузоч,, ными устройствами не превышает длину тиг -; ля.