Электролит для осаждения покрытий на основе галлия

Электролит для осаждения покрытий на основе галлия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

533680 видимом диапазоне света составляет 50 2o/o.

Зависимость некоторых характеристик покрытия из сплава галлий — фосфор от содержания фосфора в покрытии представлена в

5 табл. 1, Толщина покрытия составляет 10 мкм, удельное сопротивление — 10 ом см, что на два порядка больше, чем у покрытия из чистого галлия.

Величина интегрального коэффициента отражения (зеркального+диффузионного) в

Таблица 1

Микротвердость, кг/мм2

Потенциал анодного растворения в 1 н. растворе хлористого натрия, в

Перенапряжение выделения водорода в

1 н. растворе едкого натра, в

Стационарный потенциал в 0,1 н. растворе едкого патра, в

Коррозионная стойкость, мг.см .час

0,1 н. растворы: серной кислоты едкого патра

49

+0,001

71 — 0,11 — 0,37 — 0,98 — 0,13 — 0,35 — 1,13 — 0,20 — 0,63 — 1,16 — 0,24 — 0,80

0,050

0,075

0,025

0,150

0,050

0,075

0,175

0,220 галлия и гипофосфита, а также плотность тока, что наглядно иллюстрируется данными, приведенными в табл. 2, Существенное влияние на состав сплава и выход по току оказывает концентрация ионов

Т аблица 2

Нижний предел концентрации компонентов

Верхний предел концентрации компонентов

Плотность тока, а/дм

Температура, С

Содер>кание фосфора в сплаве, Выход по току, о

Скорость осаждения, мг/см час

2,5

60 70

10 10

0,9 0,9

0,53 0,43

12,5 10

70 70

3 5

0,5 0,5

0,35 0,25

1,9

0,6

0,56

0,9

0,70

Покрытия из сплава галлий — фосфор, по- 10 ч а ю шийся тем, что, с целью повышелученные из предлагаемого электролита, мо- ния физико-механических свойств покрыгут быть применены в микроэлектронике и тия при осаждении сплавов галлий— полупроводниковой технике, в приборах, раба- фосфор, он дополнительно содержит гипотающих с большой эффективностью в агрес- фосфит аммония, а в качестве комплексивных средах, в условиях высоких темпера- 15 сообразователя и растворителя — соответтур и повышенной радиации. ственно трилон Б и воду при следующем соотношении компонентов, г:

Формула изобретения Галлий хлористый 11,2 — 23,5

Гипофосфит аммония 8,3 — 24,9

Электролит для осаждения покрытий на 20 Лммоний хлористый 46 — 60 основе галлия, содержащий галл ий хлори- Трилон Б 23 — 48 стый, аммоний хлористый, желатин, комп- Желатин 0,3 — 0,5 лексообразователь и растворитель, о т л и- Вода До 1 (л)

Составитель В. Бобок

Редактор Е. Шепелева Техред В. Рыбакова

Корректор И Позняковская

Подписное

Изд. № 1829

Тира>к 1077

Заказ 2693/1

Типография, пр. Сапунова, 2